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種々のガス雰囲気中でのレ-ザ-照射による金属表面の非平衡的変成に関する研究

研究課題

研究課題/領域番号 01460222
研究種目

一般研究(B)

配分区分補助金
研究分野 金属材料
研究機関京都大学

研究代表者

山口 正治  京都大学, 工学部, 教授 (90029108)

研究分担者 西谷 滋人  京都大学, 工学部, 助手 (50192688)
白井 泰治  京都大学, 工学部, 助教授 (20154354)
研究期間 (年度) 1989 – 1990
研究課題ステータス 完了 (1990年度)
配分額 *注記
7,800千円 (直接経費: 7,800千円)
1990年度: 1,300千円 (直接経費: 1,300千円)
1989年度: 6,500千円 (直接経費: 6,500千円)
キーワード窒化物 / レ-ザ-照射 / 酸化物 / 表面変成 / 表面改質 / 薄膜作成 / 窒化物膜 / 酸化物膜
研究概要

Al,Fe,Nb,Ni,Ti,WおよびZrに大気,窒素およびアルゴン・アンモニヤ混合ガス中でレ-ザ-光を照射し(パワ-密度:3×10^9W/cm^2),表面生成物を主としてX線回折により同定,表勤の変成状況を研究した。得られた成果は以下の通りである。
(1)W:雰囲気ガスの種類にかかわらず,窒化物,酸化物 共に形成されなかった。
(2)ZrおよびNb:窒化物のピ-クが観察されたが,低入射角X線回折によっても酸化物のピ-クは観察されなかった。表面に形成された窒化物として,Zrの場合ZrN,Nbの場合にはピ-ク強度は小さいものであったがNb_2Nが検出された。
(3)TiおよびAl:Tiの場合全ての雰囲気のもとでTiNの生成が明瞭に認められた。大気中の照射では,ピ-ク強度は小さいもののTiO_2の生成が検出された。但し,TiOの生成を確認することはできなかった。TiOとTiNの回折ピ-ク位置が重なるためであるが,窒素ガス中および大気中照射に対するTiNピ-クの強度に変化がないことからTiOの生成はないと考えられる。
(4)FeおよびNi:窒素ガス中照射では窒化物,酸化物 共に形成されない。大気中照射では,Niの場合NiOが検出されたが,Fe,Al表面では酸化物は検出されなかった。但し,これら金属表面には激しい損傷が生じた。
(5)窒化物の形成について,以下のような一般的傾向が認められた。すなわち,Nb,Zr,Tiのように本照射条件における表面到達温度(約3500K)より高い沸点を持つ金属の表面には,大気,窒素ガス中照射の場合共に窒化物が形成され,それより低い沸点を持つFe,Niには窒化物の形成が認められなかった。このことは,下地金属の表面に液相が存在するか否かにより,レ-ザ-照射下における金属表面の変成機構が大きく異なることを示唆している。

報告書

(3件)
  • 1990 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 1989 実績報告書
  • 研究成果

    (19件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (19件)

  • [文献書誌] S.R.Nishitani: "Nitride and oxide deposition by laser irradiation" Japanese J.Applied Physics. 29. 2477-2480 (1990)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
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      1990 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] S.R.Nishitani: "Nitride and oxide deposition by laser irradiation" Japanese J.Applied Physics.

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      1990 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] S.R.Nishitani: "Fine nitride and oxide particle formation by laser irradiation" Japanese J.Applied Physics.

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  • [文献書誌] 西谷 滋人: "パルスレ-ザ-照射による金属窒化物・酸化物薄膜の生成" 日本金属学会春期大会講演概要. 472 (1991)

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      1990 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 西谷 滋人: "レ-ザ-照射による薄膜生成相に対する雰囲気ガスの影響" 日本金属学会秋期大会講演概要. 625 (1990)

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      1990 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 吉村 真一: "高出力パルスレ-ザ-照射により生成した薄膜のキャラクタリゼ-ションーRBS測定ー" 日本金属学会秋期大会講演概要. 629 (1990)

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  • [文献書誌] S. R. Nishitani: "Nitride and oxide deposition by laser irradiation" Japanese J. Applied Physics. 29. 2477-2480 (1990)

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      1990 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] S. R. Nishitani: "Nitride and oxide deposition by laser irradiation" Japanese J. Applied Physics.

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
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      1990 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] S. R. Nishitani: "Fine nitride and oxide particle formation by laser irradiation" Japanese J. Applied physics.

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1990 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] S. R. Nishitani: "Thin film formation of metal nitrides and oxides by pulse laser irradiations" Collected Abstracts of the 1991 Spring Meeting of Japan Inst. Metals. 472 (1991)

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      1990 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] S. R. Nishitani: "Effects of ambient gases on thin films produced by laser irradiations" Collected Abstracts of the 1990 Fall Meeting of Japan Inst. Metals. 625 (1990)

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    • 関連する報告書
      1990 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] S. Yoshimura: "Characterization of thin films produced by high-powered pulse laser irradiation through RBS measurements" Collected Abstracts of the 1990 Fall Meeting of Japan Inst. Metals. 629 (1990)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1990 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] S.R.Nishitani: "Nitride and oxide deposition by laser irradiation" Japanese J.Applied Physics. 29. 2477-2480 (1990)

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      1990 実績報告書
  • [文献書誌] S.R.Nishitani: "Nitride and oxide deposition by laser irradiation" Japanese J.Applied Physics.

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      1990 実績報告書
  • [文献書誌] S.R.Nishitani: "Fine nitride and oxide particle formation by laser irradiation" Japanese J.Applied Physics.

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      1990 実績報告書
  • [文献書誌] 西谷 滋人: "パルスレ-ザ-照射による金属窒化物・酸化物薄膜の生成" 日本金属学会春期大会講演概要. 472 (1991)

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      1990 実績報告書
  • [文献書誌] 西谷 滋人: "レ-ザ-照射による薄膜生成相に対する雰囲気ガスの影響" 日本金属学会秋期大会講演概要. 625 (1990)

    • 関連する報告書
      1990 実績報告書
  • [文献書誌] 吉村 真一: "高出力パルスレ-ザ-照射により生成した薄膜のキャラクタリゼ-ションーRBS測定ー" 日本金属学会秋期大会講演概要. 629 (1990)

    • 関連する報告書
      1990 実績報告書
  • [文献書誌] S.R.Nishitani,et al.: "Thin nitride and oxide films produced on Ti,Zr,Nb,Fe,Ni and Al by laser irradiation" J.Mater.Sci.

    • 関連する報告書
      1989 実績報告書

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公開日: 1989-04-01   更新日: 2016-04-21  

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