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ストリング・プラズマの基礎的・応用的研究

研究課題

研究課題/領域番号 01460251
研究種目

一般研究(B)

配分区分補助金
研究分野 プラズマ理工学
研究機関東海大学

研究代表者

谷川 隆夫  東海大学, 開発技術研究所, 助教授 (70207174)

研究分担者 砂子 克彦  東海大学, 理学部, 教授 (50056016)
矢部 栄二  東海大学, 開発技術研究所, 教授 (70056018)
南里 憲三  東海大学, 開発技術研究所, 教授 (20056211)
篠原 元雄  東海大学, 開発技術研究所, 教授 (60162616)
高山 一男  東海大学, 開発技術研究所, 教授 (20023690)
研究期間 (年度) 1989 – 1990
研究課題ステータス 完了 (1990年度)
配分額 *注記
1,000千円 (直接経費: 1,000千円)
1990年度: 1,000千円 (直接経費: 1,000千円)
キーワードストリング・プラズマ / TPーD型放電 / プラズマ・シ-ス / イオン・サイクロトロン共鳴 / 質量分離法 / 低エネルギ-・イオンビ-ム / プラズマ反磁性効果 / 定常高ベ-タ・プラズマ / 定常着βプラズマ / 高純度プラズマ / 非中性プラズマ / 計算機シミュレ-ション / 高ベ-タ・プラズマ / プラズマ空間電位の制御 / コンピュ-タ・シミュレ-ション
研究概要

全研究期間(平成元年度〜2年度)にわたっての研究成果の概要を以下に述べる。
1.細い紐状の新しいタイプの磁化プラズマ(ストリング・プラズマ)を定常的に生成する方法をTPーD型放電を応用する事で確立した。ストリング・プラズマ中では大多数のイオンのガイディング・センタ-がプラズマ柱中心近傍に集中しているが、これを実現させるために、(1)内径の極めて細い浮動電極群内に発生する径方向電界を用いる方法、(2)ポイント・カスプ磁場を用いる方法、の二つの方法を考案した。
2.詳細な計測により明らかになったストリング・プラズマの主な性質は、(1)プラズマ柱の半径が、イオンのラ-マ-半径又はそれ以下の言わば“シ-ス"状プラズマである。(2)大多数のイオンのガイディング・センタ-がプラズマ柱中心近傍に集中しており、プラズマが全体として反磁性的に回転しているように見える。(3)径方向に急峻に変化する空間電位分布を持ち、中心部を向く強い径方向電界が存在する。(4)以上の性質にも拘らず、全体としては電気的に中性なプラズマである。
3.上述のストリング・プラズマの特殊性を利用した幾つかの応用を提案しており、その内の幾つかについては実験およびコンピュ-タ・シミュレ-ションにより実現の可能性をテスト中である。主な応用例は、(1)イオン・サイクロトロン共鳴現象を用いた質量分離法を応用した不純物の無い低エネルギ-なイオンビ-ムやプラズマ流の生成、(2)効率の良い反磁性効果を利用した高ベ-タ・プラズマの定常生成、などである。

報告書

(3件)
  • 1990 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 1989 実績報告書
  • 研究成果

    (22件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (22件)

  • [文献書誌] T.Tanikawa: "“Application of StringーPlasma for Materials Science"" Proceedings of the 16th JapanーUSSR Electronics Symposium on New Materials and Fabrication Processes for Electronic Devices (Tokyo,Japan,1989). 61-71 (1989)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1990 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Tanikawa: "“Particle Dynamics in a Stringーplasma"" Proceedings of 1989 International Conference on Plasma Physics (New Delhi,India,1989). Vol.III. 1157-1160 (1989)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1990 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Watanabe: "“RF Plasma Production Using a Helical Antenna"" Proceedings of the 7th Symposium on Plasma Processing (Tokyo,Japan,1990). 301-304 (1990)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1990 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Noguchi: "“Production of StringーPlasma"" Journal of Advanced Science. Vol.2 No.3. 189-193 (1990)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1990 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] S.Harakawa: "“A Concept of Plasma Source for Producing an ImpurityーFree, LowーEnergy Ion Beam by Using a StringーPlasma"" Journal of Advanced Science. Vol.2 No.3. 194-197 (1990)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1990 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Noguchi: "“Production of ImpurityーFree Plasma Stream Using StringーPlasma"" Proceedings of 8th Symposium on Plasma Processing (Nagoya,Japan,1991). 97-100 (1991)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1990 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 編集委員長:明石 和夫: "プラズマ材料科学ハンドブック" オ-ム社, 700 (1991)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1990 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 1. T. Tanikawa, T. Noguchi, and K. Takayama: ""Application of String-Plasma for Material Science"" Proceedings of the 16th Japan-USSR Electronics Symposium on New Materials and Fabrication Processer for Electronic Devices(Tokyo, Japan, 1989). 61-72

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1990 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 2. T. Tanikawa, T. Noguchi, S. Harakawa, H. Watanabe, K. Yamauchi, K. Sunako, K. Nanri, and K. Takayama: ""Particle Dynamics in a String-plasma"" Proceedings of 1989 International Conference on Plasma Physics(New Delhi, India, 1989). Vol. 111. 1157-1160

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1990 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 3. H. Watanabe, S. Harakawa, T. Tanikawa, and K. Takayama: ""RF Plasma Production Using a Helical Antenna"" Proceedings of the 7th Symposium on Plasma Processing (Tokyo, Japan, 1990). 301-304

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1990 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 4. T. Noguchi, S. Harakawa, T. Tanisawa, and K. Takayama: ""Production of String-Plasma"" Journal of Advanced Science. Vol. 2 No. 3. 189-193 (1990)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1990 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 5. S. Harakawa, T. Noguchi, T. Tanikawa, and K. Takayama: ""A Concept of Plasma Source for Producing an Impurity-Free, Low-Energy Ion Beam by Using a string-Plasma"" Journal of Advanced Science. Vol. 2 No. 3. 194-197 (1990)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1990 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 6. T. Noguchi, S. Harakawa, T. Tanikawa, and K. Takayama: ""Production of Impurity-Free Plasma Stream Using String-Plasma"" Proceedings of the 8th Symposium on Plasma Processing (Nagoya, Japan, 1991). 97-100

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1990 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Noguchi: "Production of StringーPlasma" Journal of Advanced Science. Vol.2 No.3. 189-193 (1990)

    • 関連する報告書
      1990 実績報告書
  • [文献書誌] S.Harakawa: "A Concept of Plasma Source for Producing an ImpurityーFree.LowーEnergy Ion Beam by Using a StringーPlasma" Journal of Advanced Science. Vol.2 No.3. 194-197 (1990)

    • 関連する報告書
      1990 実績報告書
  • [文献書誌] T.Noguchi: "Production of ImpurityーFree Plasma Stream Using StringーPlasma" Proceedings of the 8th Symposium on Plasma Processing (Nagoya,Japan,1991). 97-100 (1991)

    • 関連する報告書
      1990 実績報告書
  • [文献書誌] T.Tanikawa: "Particle Dynamics in a String-Plasma" Proceedings of 1989 International Conference on Plasma Physics. III. 1157-1160 (1989)

    • 関連する報告書
      1989 実績報告書
  • [文献書誌] T.Tanikawa: "Application of String-Plasma for Materials Science" Proceedings of the 16th Japan-USSR Electronics Symposium on New Materials and Fabrication Processes for Electronic Devices. 61-72 (1989)

    • 関連する報告書
      1989 実績報告書
  • [文献書誌] T.Noguchi: "A Concept for Isotope Separation in a Sheet Plasma by Using Ion Cyclotron Resonance Heating" Nuclear Instruments and Methods in Physical Research B. 37/38. 632-635 (1989)

    • 関連する報告書
      1989 実績報告書
  • [文献書誌] 野口武史: "ストリング・プラズマについて" プレ-ティングとコ-ティング. 8. 326-329 (1988)

    • 関連する報告書
      1989 実績報告書
  • [文献書誌] 野口武史: "ストリング・プラズマの特性" 電気学会研究会資料プラズマ研究会. EPー88ー84. 93-102 (1988)

    • 関連する報告書
      1989 実績報告書
  • [文献書誌] 編集委員長,明石和夫: "プラズマ材料科学ハンドブック" オ-ム社, 700 (1990)

    • 関連する報告書
      1989 実績報告書

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公開日: 1990-04-01   更新日: 2016-04-21  

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