研究課題/領域番号 |
01470077
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研究種目 |
一般研究(B)
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配分区分 | 補助金 |
研究分野 |
工業物理化学・複合材料
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研究機関 | 東京大学 |
研究代表者 |
幸田 清一郎 東京大学, 工学部, 教授 (10011107)
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研究期間 (年度) |
1989 – 1990
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研究課題ステータス |
完了 (1990年度)
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配分額 *注記 |
6,700千円 (直接経費: 6,700千円)
1990年度: 1,800千円 (直接経費: 1,800千円)
1989年度: 4,900千円 (直接経費: 4,900千円)
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キーワード | レ-ザ-蒸発 / レ-ザ-アブレ-ション / シ-ドジェット / 炭素クラスタ- / ケイ素クラスタ- / 光イオン化質量分析法 / シ-ドジェット法 / 炭素・ケイ素ラジカル / ケイ素ラジカル |
研究概要 |
炭素、ケイ素ロッドを用い、Nd:YAGレ-ザ-(532 nm)を用いる固体表面からのレ-ザ-蒸発を各種の気体共存下で行い、真空槽へのパルスジェットに乗せる装置を試作した。これに組み合わせてArF エキシマ-レ-ザ-(193 nm)による光イオン化飛行時間型質量分析、およびレ-ザ-誘起加熱実験を試みた。 特にケイ素ロッドにエタンなどの炭化水素気体共存下でレ-ザ-蒸発することにより、光イオン化質量分析によりケイ素、炭素およびケイ素ー炭素の混合クラスタ-が生成できることを明らかにした。これらクラスタ-類の蒸発用レ-ザ-の光強度や共存炭化水素気体の混合分圧の効果を検討した。さらにレ-ザ-加熱実験により炭素微粒子が生成していることを示した。 このようにして本研究の於て開発した上記の装置が、少なくとも炭素、ケイ素につき、低分子量のクラスタ-およびラジカル類を発生させることができること、かつこれらの反応や微粒子へ至るまでの過程の速度論的な研究が可能となることを示した。 実験装置としては、さらに高真空にでき、また排気速度を大きくすること等の工夫により、広い実験条件範囲を選択でき、多くのラジカル、クラスタ-類の生成に役立つものが可能となろう。
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