| 研究概要 |
本研究は,固体表面における化学反応過程の微視的機構を理解する基礎として,吸着分子や反応中間体の結合と配向状態及びそれら吸着種と表面との相互作用を明らかにする新しい実験手法を開拓することを目的としている。その実現のために,全く新しい原理に基づく超高検出効率分析器(飛行時間フ-リエ変換型質量分析計)を考案し,これを用いた時間分解電子刺激脱離法の確立を目指した。電子刺激脱離法は,電子刺激により表面から脱離する化学種の角度分布,エネルギ-分布を測定するもので,分子線エピタキシ-のような動的成長過程の追跡に威力を発揮すると期待されている手法である。
本研究では,上記の目的を達成するために,まず既存の超高真空槽を改造,整備して,電子刺激脱離装置を設置しうるようにした。また,飛行時間フ-リエ変換型質量分析計のイオン化室,静電シャッタ-,超高真空内2軸精密回転機構等の構成部分の設計,製作をおこなった。さらに,これらと並行して,低速電子解析/オ-ジェ電子分光装置,昇温脱離測定システム,仕事関数精密測定装置などの補助的表面分析機器,試料マニピュレ-タ,試料清浄化システム,試料温度制御機構等の開発,製作をも行なった。現在,飛行時間フ-リエ変換型質量分析計を超高真空槽内に組込み,調整を行なっている。今後は,固体結晶表面上での吸着種の配向状態の研究を進める予定である。
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