| 研究課題/領域番号 |
01550015
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| 研究種目 |
一般研究(C)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
応用物性
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| 研究機関 | 京都工芸繊維大学 |
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研究代表者 |
山田 正良 京都工芸繊維大学, 工芸学部, 助教授 (70029320)
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| 研究期間 (年度) |
1989 – 1990
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| 研究課題ステータス |
完了 (1990年度)
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| 配分額 *注記 |
1,900千円 (直接経費: 1,900千円)
1990年度: 400千円 (直接経費: 400千円)
1989年度: 1,500千円 (直接経費: 1,500千円)
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| キーワード | レ-ザ結晶化 / レ-ザアニ-ル / シリコン / 熱解析 / SOI / 溶解 / 溶融 / 三次元集積回路 |
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| 研究概要 |
1、半無限多層構造物質で導出したグリ-ン関数解と反復法を用いる非線形数値計算を行うことで、熱伝導率と熱拡散定数の温度依存性、さらに、溶融するときの潜熱を考慮に入れた非線形熱解析手法を確立した。
2、複雑な構造をした物質にも容易に適用できる境界要素法の開発を試み、二次元領域での離散化と異種物質の領域接続の手法を確立した。かど点での計算精度を向上させるため、近接二接点法、二重接点法、0ー1次混合要素法、および、中間接点法を試み、領域分割とプログラミングの容易さと計算精度の比較から、中間接点法が最良であると結論づけた。
3、レ-ザビ-ムの発振モ-ドを変化させて固液間相転移時の熱幅射像を測定し、レ-ザビ-ムの強度分布の相違による核結晶の発生や固液界面の動きなどの結晶成長過程を可視化した。レ-ザパワ-を増加すると、まず最初に、固液共存領域が現れ、その後、固液共存領域の中に完全に溶融した領域が生じた。完全溶融領域の形状は、レ-ザ発振モ-ドがTEM_<00>モ-ドでは楕円形、TEM_<10>+TEM_<01>モ-ドでは繭形、TEM_<02>モ-ドでは三個の楕円形となった。固液混合領域の形状は、レ-ザの発振モ-ドやパワ-の変化により、極めて複雑なふるまいを示した。TEM_<10>+TEM_<01>モ-ドが、他のモ-ドより、再結晶化に適したレ-ザ強度分布を持っていることが明らかになった。
4、ガルバノミラ-を用いて、レ-ザビ-ムを高速描画するシステムを構築した。これも持ちいて、擬似線状レ-ザビ-ムを発生することが可能となった。計算機シミュレ-ションの結果、擬似線状波形として台形波が適していることが判った。
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