| 研究課題/領域番号 |
01550094
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| 研究種目 |
一般研究(C)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
機械工作
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| 研究機関 | 名古屋大学 |
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研究代表者 |
森 敏彦 名古屋大学, 工学部, 助教授 (90023340)
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| 研究分担者 |
林 伸和 名古屋大学, 工学部, 助手 (30135305)
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| 研究期間 (年度) |
1989
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| 研究課題ステータス |
完了 (1989年度)
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| 配分額 *注記 |
2,000千円 (直接経費: 2,000千円)
1989年度: 2,000千円 (直接経費: 2,000千円)
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| キーワード | レ-ザ計測 / コンピュ-タ制御 / 超音波加工 / メカノケミカルポリシング / 超精密加工 / シリコンウエハ |
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| 研究概要 |
1.実験装置
本実験で使用した実験装置は次の5つの部分に大別できる。
(1)加工部(超音波仕上げ装置):周波数・22kHz、出力・30Wmax、PZT電歪振動子、最大振幅・30μm
(2)表面形状検出部(レ-ザ変位測定器):設備備品として購入。最大粗さ<0.01μm、測定範囲・160μm
(3)加工圧負荷部(荷重負荷装置):釣合天秤方式、リニアモ-タ(PCに接続)で重り位置を移動
(4)XY走査部(精密位置決めテ-ブル):ストロ-ク長さ(XYとも)・120mm、精度・3μm
(5)制御部(パ-ソナルコンピュ-タ):設備備品として購入・PC-9801RX2、CPU(80286)・16bit(1)〜(4)を(5)で統括制御、制御及びデ-タ収録用プログラム(メインル-チン+26・サブル-チン)を開発。
2.実験条件
被加工剤・Si、ポリシング液・シリカ(SiO2)+NaOH(pH10)、ポリシャ・ナイロン、PTFE
〔変更した条件〕超音波出力(振幅、μm):5.4、12.4、20.5、25.7、負荷時間(分):0.5、1、3、30
負荷荷重(gr):50、100、200、ポリシング液のアルカリ度:pH9、10、13
3.実験結果
(1)超音波振幅及び負荷荷重はある程度までは有効に働くが、大きすぎる負荷はかえって超音波振幅を抑える。
(2)負荷時間及びポリシング液のアルカリ度を増すと、加工量は増加する。
(3)ポリシャとしては、PTFEの方がナイロンに比べ、加工能率が高い。
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