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クラスタ-イオンビ-ムと固体との相互作用に関する研究

研究課題

研究課題/領域番号 01550254
研究種目

一般研究(C)

配分区分補助金
研究分野 電子材料工学
研究機関岡山理科大学

研究代表者

山村 泰道  岡山理科大学, 理学部, 教授 (10068900)

研究期間 (年度) 1989 – 1990
研究課題ステータス 完了 (1990年度)
配分額 *注記
2,000千円 (直接経費: 2,000千円)
1990年度: 1,000千円 (直接経費: 1,000千円)
1989年度: 1,000千円 (直接経費: 1,000千円)
キーワードモンテカルロ・シミュレ-ション / 二体間衝突近似 / クラスタ-イオン / クラスタ-イオン蒸着 / クラスタ-衝撃核融合 / 時間発展的シミュレ-ション / 多体効果 / エネルギ-分布 / モンテカルロシミュレ-ション / 計算機シミュレ-ション / クラスタ-イオンビ-ム蒸着
研究概要

固体内原子衝突あるいは荷電粒子と固体との相互作用をシミュレ-トするコ-ドは多くの研究者により開発され、多大の成果を得ている。しかしながら、クラスタ-イオンと固体との相互作用をシミュレイトできるコ-ドは、現在、分子動力学的手法と著者の開発したDYACATコ-ドのみである。クラスタ-イオン照射を分子動力学的手法で計算しようとすると膨大な計算時間を要し、現在、原子あたり数にeV以上になるとクラスタ-サイズはせいぜい数十個のオ-ダ-である。しかしながらこの科研責補助により、著者によって開発されたDYACATコ-ドは千個のオ-ダ-のクラスタ-サイズでも計算可能である。このコ-ドの開発により種々の成果をおさめた。
クラスタ-イオンの照射を単原子イオン照射との根本的な相異点クラスタ-を構成する原子同志の衝突や下部の原子と標的原子との衝突に起因する相乗効果である。計算の結果、低エネルギ-(原子あたり数eV)の場合は多体効果のため、表面近傍に密度の濃い層が形成され加速電圧が効率よく表面移動エネルギ-に変換される事が判った。一方、高エネルギ-(原子あたり数百eV以上)の場合には、露払い効果と加速効果という2つの重要な効果がある事が判明した。露払い効果は、クラスタ-を構成する原子の質量(M_1)が標的原子の質量(M_2)より大きい場合に顕著で、加速効果はその逆の場合に重要となる。加速効果を検証するため、1keV/原子の(Al)500を金のタ-ゲットに照射した計算を行った結果、0.1psec後には、2〜3keV5エネルギ-をもつAl原子が存在し、巾の広いエネルギ-分布を持つ事が判明した。この事は、クラスタ-衝撃核融合に関する重要な知見を得たとして評価できる。

報告書

(3件)
  • 1990 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 1989 実績報告書
  • 研究成果

    (26件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (26件)

  • [文献書誌] Y.Yamamura: "TimeーDependent Angular Distributions of Sputtered Particles from Amorphous Tarpets" Nucl. Instr. Methods. B45. 582-585 (1990)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1990 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Y.Yamamura: "Computer Simulation of Ioni2ed Clusten Beam Bombardment on Carbon Substrates" Nucl. Instr. Methods. B45. 707-713 (1990)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1990 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Y.Yamamura: "Dynamical Simulation of Cascade Danrages in Au,Ag and Cu metals." Nucl. Instr. Methods. B51. 407-416 (1990)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1990 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Y.Yamamura(ed. T.Takagi): "Computer Studies of Interactions of Ioniyedt clusten Beam with Solids" Proc. 13th Symp. Ion. Sources and IonーAssisted Technal.27-32 (1990)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1990 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Y.Yamamura, T.Takiguchi and M.Ishida: "Energy and Angular Distributions of Sputtered Atoms at Normal Incidence" Rediat Eff. Defects in Salids.

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1990 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Y.Yamamura: "Energy Speclrum of Constituent Atoms in ClusterーBeam Bombarded onto Solids" Nucl. Iustr. Methods.

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1990 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Y.Yamamura and N.Itoh: "ION BEAM ASSITED FILM GROWTH" Elsevier, 59-100 (1989)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1990 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Y. Yamamura, I. Yamada and T. Takagi: "Computer Studies of Ionized Cluster Beam Deposition" Nucl. Instr. Meth.B37/38. 902-905 (1989)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1990 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Y. Yamamura and I. Yamada: "Computer Studies of Ionized Ag Cluster Beam deposition Amorphous Carbon" Proc. 12th Symp. Ion Source and Ion-Assisted Technol. (ed. T. Takagi, 1989). 287-296

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1990 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Y. Yamamura: "Time-Dependent Angular Distributions of Sputtered Particles from Amorphous Targets" Nucl. Instr. Meth.B45. 582-585 (1990)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1990 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Y. Yamamura: "Computer Simulation of Cascade Damage in Metals" Nucl. Instr. Meth.

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1990 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Y. Yamamura: "Dynamical Simulation of Cascade Damages in Cu, Ag and Au Metals" Nucl. Instr. Meth.B51. 407-416 (1990)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1990 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Y. Yamamura: "Computer Simulation of Ionized Beam Bombardment on Carbon Substrate" Nucl. Instr. Meth.B37/38. 707-714 (1990)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1990 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Y. Yamamura: "Energy Spectrum of Constituent Atoms in Cluster Bombarded onto Solids" Nucl. Instr. Meth.

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1990 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Y.Yamamura: "TimeーDependent Angular Distributions of Sputtered Particles from Amorphous Targets" Nucl.Instr.Meth.B45. 582-585 (1990)

    • 関連する報告書
      1990 実績報告書
  • [文献書誌] Y.Yamamura: "Computer Simulation of lonized Cluster Beam Bombardment on Carbon Substrate" Nucl.Instr.Meth.B45. 707-713 (1990)

    • 関連する報告書
      1990 実績報告書
  • [文献書誌] Y.Yamamura: "Dynamical Simulation of Cascade Damages in Cu,Ag and Au Metals" Nucl.lnstr.Meth.B51. 407-416 (1990)

    • 関連する報告書
      1990 実績報告書
  • [文献書誌] Y.Yamamura: "Computer Studies of Interactions of lonized Cluster Beam with Solids" Proc.13th Symp.Ion Sources and lonーAssisted Technol.ed.T.Takagi. 27-32 (1990)

    • 関連する報告書
      1990 実績報告書
  • [文献書誌] Y.Yamamura: "Energy and Angular Distributions of Sputtered Atoms at Normal Incidence" Radiat.Eff.and Deffects in Solids.

    • 関連する報告書
      1990 実績報告書
  • [文献書誌] Y.Yamamura: "Energy Spectrum of Constituent Atoms in Cluster Bombarded onto Solids" Nucl.lnstr.Meth.

    • 関連する報告書
      1990 実績報告書
  • [文献書誌] Y.YAMAMURA,K.MURAOKA: "Over-Cosine Distributions of sputtered Atoms at Normal Incidence" Nucl.Iustr.Methods. B42. 175-181 (1989)

    • 関連する報告書
      1989 実績報告書
  • [文献書誌] Y.YAMAMURA: "Compuler Simulations of Cascade Damage in Metals" Nucl.Instr.Methods.

    • 関連する報告書
      1989 実績報告書
  • [文献書誌] Y.Yamamura,T.Takiguch,H.Tawara: "Data Compilation of Augular Distributions of Sputtered Atoms" NIFS-BSTA-1. 1-218 (1990)

    • 関連する報告書
      1989 実績報告書
  • [文献書誌] Y.YAMAMURA N.MATSUNAMI K.KITOH: "A COMPOTER STUDY OF THE ENERGY LOSS SPECTRUM OF 100 μev H'AT A W(III)SURFACE" Nucl.Instr.Methods. B45. 403-407 (1990)

    • 関連する報告書
      1989 実績報告書
  • [文献書誌] Y.YAMAMURA: "TIME-DEPENDENT ANGULAR DISTRIBUTlON OF SPUTTERED PARTICLES FROM AMORPHOUS TARGETS" Nucl.Instr.Methods. B45. 582-585 (1990)

    • 関連する報告書
      1989 実績報告書
  • [文献書誌] Y.YAMAMURA: "COMPUTER SIMULATION OF IONIZED CLUSTER BEAM BOMBARDMENT ON CARBON SUBSTRATE" Nucl.Instr.Methods. B45. 707-713 (1990)

    • 関連する報告書
      1989 実績報告書

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公開日: 1989-04-01   更新日: 2016-04-21  

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