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イオン注入によるセラミックス表層の改質に関する研究

研究課題

研究課題/領域番号 01550540
研究種目

一般研究(C)

配分区分補助金
研究分野 金属材料
研究機関北海道大学

研究代表者

大貫 惣明  北海道大学, 工学部, 助教授 (10142697)

研究分担者 木下 博嗣  北海道大学, 工学部, 助手 (40177895)
研究期間 (年度) 1989 – 1990
研究課題ステータス 完了 (1990年度)
配分額 *注記
2,600千円 (直接経費: 2,600千円)
1990年度: 900千円 (直接経費: 900千円)
1989年度: 1,700千円 (直接経費: 1,700千円)
キーワードイオン注入 / セラミックス / 表面改質 / 非晶質化 / 欠陥クラスター / 表面軟化 / 表面硬化 / 結合性 / 欠陥クラスタ- / 電子線照射 / 非晶質 / 結晶化
研究概要

3種の代表的セラミックスのイオン注入による表面特性の変化について、【.encircled1.】表面硬度の変化、【.encircled2.】損傷微細組織、【.encircled3.】非晶質形成の関連から検討した。
セラミックス材料として代表的なアルミナ(Al_2O_3)単結晶の場合、表面硬度は注入初期には増加するが、注入量の増加とともに軟化し、そののち一定となる。微細組織観察の結果、初期の硬化は注入による欠陥クラスターの形成によって生じ、軟化は表面層が非晶質化することによることが分った。この硬度特性には結晶粒界の効果が認められ、純度の異る多結晶の場合、単結晶に比べて硬化量は大きく軟化量は少ない。またこの場合の非晶質の形成は結晶粒界からはじまる。これは助結材であるSiO_2の非晶質化が極めて早く起るためである。
典型的な共有結合性材料である窒化硅素(Si_3N_4)の場合、イオン注入による硬度の挙動はアルミナと同様であるが、非晶質化に要する注入量ははるかに少ないため、極めて早く軟化する。
イオン結合性の強いジルコニア(ZrO_2)の場合、注入によって硬化のみで軟化は生じない。これは欠陥クラスターの形成のみが起り、非晶質化には経らないことに原因がある。
このようにセラミックスの表面改質は、内部歪の増加という従来の機構に対して、照射欠陥の集積による非晶質の形成が最大の原因であることを明らかにすることができた。

報告書

(3件)
  • 1990 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 1989 実績報告書
  • 研究成果

    (8件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (8件)

  • [文献書誌] S.Ohnuki,H.Takahashi,T.Kanamura,H.Kinoshita: "Crystallization of Amorphous Ceramics during Electron Irradiation in HVEM" Procodings of 12th International Congress for Electron Microscopy(1990). 3. 548-549 (1990)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1990 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 大貫惣明、中岡達行、木下博嗣、高橋平七郎: "イオン注入によるセラミックスの非晶質化および表面特性" 日本金〓学会会誌. (投稿中). (1992)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1990 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 大貫惣明、金村龍一、木下博嗣、高橋平七郎: "アルミナ非晶質の電子線照射による結晶化" 日本金〓学会会誌. (投稿中). (1992)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1990 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] S.Ohnuki,H.Takahashi,T.Kanamura,H.Kinoshita: "Crystallization of Amorphous Ceramies during Electron Irradiation in HVEM" Procedings of 12th International Corgress for Electron Microscopy(1990). 3. 548-549 (1990)

    • 関連する報告書
      1990 実績報告書
  • [文献書誌] 大貫 惣明,中岡 達行,木下 博嗣,高橋 平七郎: "イオン注入によるセラミックスの非晶質化および表面特性" 日本金属学会会誌.

    • 関連する報告書
      1990 実績報告書
  • [文献書誌] 大貫 惣明,中岡 達行,木下 博嗣,高橋 平七郎: "アルミナ非晶質の電子線照射による結晶化" 日本金属学会会誌.

    • 関連する報告書
      1990 実績報告書
  • [文献書誌] S.Ohnuki: "Crystallization of Amorphous Ceramics during Electron Inadiation in High Voltate Microscope" Proceeding of 12th International Congress for Electron Microscopy(San Francisco Press).

    • 関連する報告書
      1989 実績報告書
  • [文献書誌] 大貫惣明: "イオン注入により形成したAl_2O_3の非晶質の電子線照射誘起結晶化" 日本金属学会誌.

    • 関連する報告書
      1989 実績報告書

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公開日: 1989-04-01   更新日: 2016-04-21  

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