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高温超電導体ヘテロエピタキシの表面・界面評価と光電応用

研究課題

研究課題/領域番号 01644005
研究種目

重点領域研究

配分区分補助金
研究機関大阪大学

研究代表者

小林 猛  大阪大学, 基礎工学部, 教授 (80153617)

研究分担者 喜多 定  託間電波高専電子制御, 教授 (10029449)
高橋 信一  慶応義塾大学, 理工学部, 講師 (10146722)
杉山 耕一  三重大学, 工学部, 教授 (20179170)
藤原 康文  大阪大学基礎工学部, 助手 (10181421)
研究期間 (年度) 1989
研究課題ステータス 完了 (1989年度)
配分額 *注記
17,000千円 (直接経費: 17,000千円)
1989年度: 17,000千円 (直接経費: 17,000千円)
キーワード高温超電導体 / エピタキシャル成長 / ヘテロエピタキシャル / 界面 / TEM
研究概要

酸化物高温超伝導体のエレクトロニクス応用に向けて、最も基礎になるエピタキシャル薄膜の表面・界面の微視的評価をおこなった。対象にあげた高温超伝導体はエピタキシャル成長の得られ易いYBaCuO系である。高周波マグネトロンスパッタリングにより、YBaCuO/MgO/YBaCuOダブルヘテロ・エピタキシャル成長をおこなった。
まず、YBCO結晶構造の特異性を生かしたヘテロ構造の作製を試みた。(110)YBCO/(100)MgO/(110)、(001)YBCO/(100)MgO/(100)YBCO,(001)YBCO/(100)MgO/(001)YBCOなどの対称、非対称ヘテロ構造の実現である。この研究は世界的に見ても初めてのものであった。RHEED観察により、それぞれの構造実現が確認された。
次に、ヘテロ界面の評価である。微視的評価にはXRDやRHEEDは無力である。そこで透過電子顕微鏡TEMによる超高分解結晶格子像の直接観察を行った。ダブルヘテロ構造ウエファの断面TEM観察により、YBCO薄膜結晶の成長メカニズム、YBOC上のMgO超薄膜の成長の様子に関する知見を多く得ることができ、今後のSIS形トンネルジョセフソン接合の全エピタキシャル化に向けて有益な指針を得た。

報告書

(1件)
  • 1989 実績報告書
  • 研究成果

    (7件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (7件)

  • [文献書誌] Y.Nishimori,Y.Fujiwara,T.Kobayashi: "AsーGrown BSCCO Thin Film Formation by Electron Cyclotron Resonance Microwave Plasma Sputtering" Jpn.J.Appl.Phys. 28. L1220-L1222 (1989)

    • 関連する報告書
      1989 実績報告書
  • [文献書誌] 小林猛、井寄将博: "高温超伝導薄膜エピタキシャル成長の基板依存性" 表面科学. 10. 265-270 (1989)

    • 関連する報告書
      1989 実績報告書
  • [文献書誌] 小林猛: "高温超伝導体の応用" 応用物理. 58. 727-733 (1989)

    • 関連する報告書
      1989 実績報告書
  • [文献書誌] 藤原康文、小林猛: "高温超伝導体のルミネセンス評価" 応用物理. 58. 52-58 (1989)

    • 関連する報告書
      1989 実績報告書
  • [文献書誌] U.Kabasawa.K.Asano,T.Kobayashi: "Elestric Field Effect on AlーMgOーYBa_2Cu_3O_y Structure" Jpn.J.Appl.Phys. 29. L86-L88 (1990)

    • 関連する報告書
      1989 実績報告書
  • [文献書誌] 小林猛(編者): "高温超伝導材料プロセスと応用技術" IPC出版社, 400 (1989)

    • 関連する報告書
      1989 実績報告書
  • [文献書誌] T.Kobayashi,U.Kabasawa: "Studies of High Temperature Superconductors" Nova Science Publishers,Inc(N.Y), 382 (1989)

    • 関連する報告書
      1989 実績報告書

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公開日: 1989-04-01   更新日: 2016-04-21  

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