| 研究課題/領域番号 |
01651003
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| 研究種目 |
重点領域研究
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究機関 | 筑波大学 |
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研究代表者 |
青木 貞雄 筑波大学, 物理工学系, 助教授 (50016804)
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| 研究分担者 |
中山 則昭 京都大学, 化学研究所, 助教授 (00164369)
田中 和夫 大阪大学, 工学部, 講師 (70171741)
山中 正宣 大阪大学, レーザー核融合研究センター, 助教授 (10029118)
有留 宏明 大阪大学, 極限物質研究センター, 助教授 (70029552)
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| 研究期間 (年度) |
1989
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| 研究課題ステータス |
完了 (1989年度)
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| 配分額 *注記 |
30,700千円 (直接経費: 30,700千円)
1989年度: 30,700千円 (直接経費: 30,700千円)
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| キーワード | 全反射斜入射X線顕微鏡 / ゾーンプレートX線顕微鏡 / 多層膜ミラー / ウォルター型ミラー / レーザープラズマX線源 / シュバルツミルト型軟X線顕微鏡 / エピタキシャル成長 / 2次元CCD |
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| 研究概要 |
結像型のX線顕微鏡システムを新しいX線光学素子を用いて検討し、その最適設計および試作を行なった。光学素子として、全反射斜入射ミラー、ゾーンプレートおよび多層膜ミラーを採用した。
全反射斜入射X線顕微鏡光学では、二段の高倍率光学系を提案し、その設計および一部試作を行なった。X線光学素子は、回転軸対称のウォルター型ミラーを採用し、波長45Åの軟X線に対し、拡大率20倍の素子を試作した。解像力は5000Å以上を示した。この素子をもとにして、高倍率反射X線顕微鏡光学系を設計し、一段目の拡大光学系を製作した。
ゾーンプレートX線顕微鏡光学では、レーザープラズマX線源を光源とした場合の数値シミュレーションを行なった。光学系は、単色・集光用のコンデンサーおよび拡大用の対物ゾーンプレートを仮定し、波長40Å、拡大率100倍のシステムが可能であることを示した。さらに、回析効率向上のための位相ゾーンプレートはニッケルが最適な点も示した。
多層膜X線顕微鏡は、光線追跡プログラムを開発し、直入射シュバルツシルト型軟X線顕微鏡の設計・試作を行なった。多層膜は、ニッケルと炭素の組み合せで製作し、70Åの波長に対して15倍の拡大率を得た。レーザープラズマX線を光源として5000Åの解像力を得た。
多層膜形成の基礎過程の研究では、エピタキシャル成長による金とニッケルの短周期(20Å)多層膜を作成し、X線回析と断面透過電子顕微鏡像観察によって、界面粗さが7Å前後であることを確認した。
画像計測用X線センサーとしては、2次元CCDを検討した。電極部のSiO_2膜を0.5μm厚にし、軟X線受光効率を向上させる素子を開発した。
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