| 研究課題/領域番号 |
01850008
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| 研究種目 |
試験研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
応用物性
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| 研究機関 | 京都工芸繊維大学 |
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研究代表者 |
遠藤 久満 京都工芸繊維大学, 工芸学部, 助教授 (20027907)
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| 研究分担者 |
原田 嘉晏 日本電子(株), EO技術本部, 本部長
大野 恭秀 新日鉄(株), 第一技術研究所, 主任研究員
坪川 純之 大阪大学, 工学部, 教務員 (40175469)
志水 隆一 大阪大学, 工学部, 教授 (40029046)
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| 研究期間 (年度) |
1989 – 1990
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| 研究課題ステータス |
完了 (1990年度)
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| 配分額 *注記 |
4,300千円 (直接経費: 4,300千円)
1990年度: 500千円 (直接経費: 500千円)
1989年度: 3,800千円 (直接経費: 3,800千円)
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| キーワード | 電子線ホログラフィ- / 白金線 / 白金極細線 / 電子線バイプリズム / 原子直視電子顕微鏡 / ホログラフィ-電子顕微鏡 / オンライン画像処理 / 原子直視ホログラフィ-顕微鏡 / 白金極細フィラメント / 加熱清浄型電子線バイプリズム / 原子直視分析電子顕微鏡 / 原子直視ホログラフィ顕微鏡 |
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| 研究概要 |
本研究は0.1μm極細線電子バイプリズムの試作を行い、解像度が高く干渉領域の広い原子直視電子線ホログラフィ-顕微鏡を実現することをその目的として平成元年度と2年度の2年間にわたって実施され、以下の成果が得られた。
(1)線引き法により直径0.3μmの白金極細線を直接製作することができた。(2)イオン・シニング法により0.3μm以下の太さまで白金を細線化することができた。特に集束さたGaイオンビ-ムを照射することにより厚さ0.1μmのPt極細線を作ることができた。この方法は、研麿中の白金線の像を二次電子像として観察できるため、細線化に最も適した方法である。(3)高解像度、広干渉領域の原子直視電子線ホログラフィ-顕微鏡を実現するためには、照射ビ-ムの開き角を小さくすることが最重要であることを理論的に明らかにした。(4)加速電圧200kV LaB_6電子銃を備えた通常の高分解能電子顕微鏡においても電子ビ-ム照射角度を調整することにより有効な電子線ホログラフィ-実験が可能であることを示した。(5)加速電圧400kVの原子直視電子顕微鏡においては、200kVの時と比べて電子線の輝度が高くなるため電子線ホログムの観察に適しているが、蛍光塗料のコントラストは低下する。これを補償するため、TVカメラを電子線ホログラフィ-顕微鏡につなぎ電子線ホログラム像の高感度・高解像度観察が行なえるようにした。(6)さらにこのTVカメラシステムをミニコンにつなぎ、電子線ホログラムのオンライン再生処理も行なえるようにした。
以上より、電子線バイプリズム用の直径0.1ー0.3μm白金極細線の試作に成功し、これを用いた高解像度高感度の電子線ホログラフィ-顕微鏡実現の方法が明らかになり、当研究の目的は達成された。
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