| 研究課題/領域番号 |
01850175
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| 研究種目 |
試験研究
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
無機工業化学・無機材料工学
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| 研究機関 | 東北大学 |
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研究代表者 |
内田 勇 東北大学, 工学部, 教授 (50005302)
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| 研究分担者 |
赤星 晴夫 日立製作所, 日立研究所, 主担研究員
仁科 辰夫 東北大学, 工学部, 助手 (60172673)
大澤 雅俊 (大沢 雅俊) 東北大学, 工学部, 助教授 (00108466)
末永 智一 東北大学, 工学部, 助教授 (70173797)
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| 研究期間 (年度) |
1989 – 1990
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| 研究課題ステータス |
完了 (1991年度)
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| 配分額 *注記 |
13,100千円 (直接経費: 13,100千円)
1990年度: 1,200千円 (直接経費: 1,200千円)
1989年度: 11,900千円 (直接経費: 11,900千円)
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| キーワード | 湿式微細加工 / ウルトラマイクロ電極 / マイクロアレ-電極 / 表面増強ラマン散乱 / inーsite赤外分光法 / inーsituX線回析 / メッキ皮膜 / 酵素スイッチ / inーsitu 薄膜X線回析 / マイクロ電極 / インビボボルタムメトリ- / 電気化学的その場測定 / レ-ザ-強調ラマン / 無電解メッキ / 超微小電極 |
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| 研究概要 |
1、レ-ザ-強調効果と湿式微細加工技術の研究
(1)レ-ザ-光照射による選択メッキをマイクロパタ-ニングに応用する技術確立のために、レ-ザ-光を照射した微小領域における電析反応を検討した。電析反応への熱的効果は顕著であるが、析出物の形状及び膜特性は著しく不良で生産技術への展開はむずかしいと判断した。むしろエッチング技術への応用に有用であると結論している。(2)電解及び無電解メッキ浴中への吸着性添加剤の界面吸着挙動を界面インピ-ダンスと表面増強ラマンスペクトル測定により検討し有効な研究成果を得たまた、inーsitu薄膜X線解析法による電析の初期過程を解析し、添加剤効果と析出結晶粒径との相関について興味ある結果を得た。これらの成果はプリント基板の微細加工技術の開発に有力な手段を提供するものである。(3)赤外吸収スペクトルを用いて、電析初期過程における単原子層以下の金属の配列構造とその表面特性を解析した。また、Ag,Au,Cuなどの超微粒子表面に吸着した分子の赤外吸収が著しく増大することを見い出し、そのメカニズムを解明した。
2、マイクロ化電極の作製と分子素子への応用
(1)電解質溶液中で安定に動作するAu,PtあるいはITOのマイクロアレ-電極(電極幅とギャップ幅;4ー20μm)およびサブミクロン径のウルトラマイクロディスク電極を作製する技術を開発した。それらを用いた微小領域(例えば細胞内)のアンペロメトリックな電気化学測定に成功し、またアレ-電極間を導電性高分子薄膜で接合する手法を開発しこれを新規な機能を有する電気化学デバイスへと応用した。これは従来にない新しい機能場形成の技術である。(2)電気化学デジタルデバイスの1つとして、各種酵素をマイクロアレ-電極上に固定して、酵素反応によりOnーOffできる酵素スイッチの開発を行った。
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