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炭酸ガスレ-ザによるシリコン同位体分離の実用化

研究課題

研究課題/領域番号 01850183
研究種目

試験研究

配分区分補助金
研究分野 工業物理化学・複合材料
研究機関京都工芸繊維大学

研究代表者

荒井 重義  京都工芸繊維大学, 工芸学部, 教授 (10087538)

研究分担者 小林 邦昭  レオニクス株式会社, 常務取締役
鈴木 敏夫  日清紡績株式会社, 取締役研究所長
石川 洋一  京都工芸繊維大学, 工芸学部, 助教授 (00167248)
研究期間 (年度) 1989 – 1991
研究課題ステータス 完了 (1991年度)
配分額 *注記
13,200千円 (直接経費: 13,200千円)
1991年度: 1,200千円 (直接経費: 1,200千円)
1990年度: 1,600千円 (直接経費: 1,600千円)
1989年度: 10,400千円 (直接経費: 10,400千円)
キーワードレ-ザ-同位体分離 / 赤外多光子分解による同位体分離 / シリコン同位体の分離 / ヘキサフルオロジシラン / ヘキサフルオロジシランの光外多光子分解 / ヘキサフルオロジシランの赤外多光子分解 / 炭素13の分離 / ジフルオロブロモクロロメタンの赤外多光子分解 / フレオン化合物の赤外多光子分解 / 炭酸ガスレ-ザ-による赤外多光子分解
研究概要

天然のシリコンの同位体組成比は ^<28>Si:^<29>Si:^<30>Si=92.2%:4.7%:3.1%である。ヘキサフルオロジシランSi_2F_6に炭酸ガスレ-ザ-の高いフルエンスのパルス光を照射すると、赤外多光子分解を起こし、気体のSiF_4と白色の粉末を生成するが、適切な実験条件では、この赤外多光子分解は極めて同位体選択的で、未反応のSi_2F_6中には ^<28>Siが、一方、生成物SiF_4中には ^<29>Siあるいは ^<30>Siが濃縮される。本研究の主目的は高出力の炭酸ガスレ-ザ-(最大パルスエネルギ-8J、最大繰り返し数10Hz)を用い、実用的な規模でのシリコン同位体の分離を試みることであった。最初に分離に適切な実験条件を追求した。次に流通法を採用し、長さ4m、内容積13.7litersの照射容器を設計し、レ-ザ-光を焦点距離3mのレンズで絞ってSi_2F_6に照射した。この際容器の窓には常にアルゴンを吹き付け、白色粉末が付着することを防いだ。未反応のSi_2F_6および生成物SiF_4は反応容器から流出後、液体窒素で冷却したトラップに集め、続いて低温蒸留で分離した。以上の実験装置と実験操作により、954.55cm^<ー1>の波数のレ-ザ-光を用い、純度99.7%の ^<28>Siを1時間当り3g、同じく954.55cm^<ー1>の波数のレ-ザ-光を用い、純度12%の ^<29>Siを1時間当り1g、さらに951.19cm^<ー1>の波数のレ-ザ-光を用い、純度33%の ^<30>Siを1時間当り1gの割合で分離することに成功した。この結果は十分に実用化可能といえる段階に到達している。Si_2F_6にHIを添加すると、白色の粉末の生成が抑制されることも見いだした。したがってこの場合は窓にアルゴンを吹き付ける必要がなくなる。この外、Si_2F_6の赤外多光子分解に関する理論的な考察を試み、単分子分解速度の理論計算、レ-ザ-光の吸収過程およびレ-ザ-光による誘導放出過程に対するモンテカルロ計算に基づき、赤外多光子分解を計算器によってシミュレ-ションできることを示した。

報告書

(4件)
  • 1991 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 1990 実績報告書
  • 1989 実績報告書
  • 研究成果

    (14件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (14件)

  • [文献書誌] 恩田 健: "Mechanism of the Hydrogenation of Ethylene via PhotoーProduced Unsaturated Iron Carbonyl in GasーPhase" J.Phys.Chem.95. 758-761 (1991)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1991 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 荒井 重義: "Practical Separation of Silicon lsotopes by IRMPD of Si_2F_6" Appl.Phys.B53. 199-202 (1991)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1991 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 森 朋生: "Formation of Highly Excited Oxygen Atoms O(2p^33p,^5P)and O(2p^33s,^5S)in Electron Irradiation of Mixturcs of Rare gasos and O_2" J.Chem.Phys.(1992)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1991 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] S. Arai, H. Kaetsu, and S. Isomura: "Practical Separation of Silicon Isotopes by IRMPD of Si_2F_6" Appl. Phys. B 53. 199-202 (1991)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1991 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K. Onda, M. Takahashi, Y. Ishikawa, K. Tanaka, S. Arai, D. M. Rayner, and P. A. Hackett: "Mechanism of Hydrogenation of Ethylene via Photoproduced Unsaturaed Iron Carbonyl in the Gas Phase" J. Phys. Chem.95. 758-761 (1991)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1991 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T. Mori, K. Kanou, Y. Ishikawa, and S. Arai: "Formation of Highly Excited Oxygen Atoms O(2p^33p, ^5p) and O(2p^32s, ^5S) in Electron Irradiation of Mixtures of Rare Gases and O_2" J. Chem. Phys.

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1991 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 恩田 健: "Mechanism of the Hydrogenation of Ethylene via Photo-Produced Unsaturated Iron Carbonyl in Gas-Phase" J.Phys.Chem.95. 758-761 (1991)

    • 関連する報告書
      1991 実績報告書
  • [文献書誌] 荒井 重義: "Practical Separation of Silicon Isotopes by IRMPD of Si_2F_6" Appl.Phys.B53. 199-202 (1991)

    • 関連する報告書
      1991 実績報告書
  • [文献書誌] 森 朋生: "Formation of Highly Excited Oxygen Atoms O(2p^33p, ^5P)and O(2p^33s, ^5S)in Electron Irradiation of Mixtures of Rare gases and O_2" J.Chem.Phys.(1992)

    • 関連する報告書
      1991 実績報告書
  • [文献書誌] 真嶋 哲郎: "The IR Photochemistry of Organic Compounds.IV.The Infrared MultipleーPhoton Decomposition of Cyclic Ethers Induced by a TEA CO_2 Laser" Bull.Chem.Soc.Jpn.63. 728-740 (1990)

    • 関連する報告書
      1990 実績報告書
  • [文献書誌] 馬 培華: "Production of Highly Concentrated ^<13>C by TwoーStage Selective IRMPD" Chinese Science Bulletin. 35. 1337-1341 (1990)

    • 関連する報告書
      1990 実績報告書
  • [文献書誌] 杉田 恭子: "Enrichment of ^<13>C by IRMPD of CBr_2F_2" Applied Physics. B52. (1991)

    • 関連する報告書
      1990 実績報告書
  • [文献書誌] 馬培華: "^<13>C-Selective Two-Stage IRMPD of Mixtures of CHClF_2 and HI" Applied Physics. (1990)

    • 関連する報告書
      1989 実績報告書
  • [文献書誌] 馬培華: "^<13>CーSelective IRMPD of CBr_2F_2/Cl_2 and CCl_2F_2/Br_2 Systems" Applied Physics. (1990)

    • 関連する報告書
      1989 実績報告書

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公開日: 1989-04-01   更新日: 2019-02-15  

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