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プラズマプロセッシングにおける非平衡希薄気体流れ

研究課題

研究課題/領域番号 01J06107
研究種目

特別研究員奨励費

配分区分補助金
応募区分国内
研究分野 流体工学
研究機関東京大学

研究代表者

山口 浩樹  東京大学, 大学院・工学系研究科, 特別研究員(DC1)

研究期間 (年度) 2001 – 2003
研究課題ステータス 完了 (2003年度)
配分額 *注記
3,000千円 (直接経費: 3,000千円)
2003年度: 1,000千円 (直接経費: 1,000千円)
2002年度: 1,000千円 (直接経費: 1,000千円)
2001年度: 1,000千円 (直接経費: 1,000千円)
キーワード表面反応 / 分子線散乱実験 / 量子分子動力学法
研究概要

気体-固体界面における分子・原子の挙動を分子線散乱実験及び量子分子動力学数値計算により解析することを目的として研究を行った.
まず,超高真空下で行われる分子線散乱実験において,時間測定精度の向上のため,分子線源周りの時間測定部の改良を行った.これにより,時間測定による誤差が定量的に評価できるようになった.また,二原子分子気体である窒素の散乱分布の計測を,入射分子の速度ベクトルと表面の法線ベクトルが作る平面内のIn-planeのみならずそれ以外の面内であるOut-of-planeに対しても行った.そして,ヘリウムでシードすることにより流速が上がることの効果や表面温度の影響,入射角による影響を解析した.その結果,理論から予測される流速がほぼ得られており,測定の信頼性の向上が確認できた.
数値計算に関しては,まず,量子分子動力学法による解析結果をマクロスケールの流動解析に用いることを考え,気体分子間の振動緩和/励起衝突断面積に対するモデル化を行った.その結果モデルが非常に良く量子分子動力学法による解析結果を再現することが確認でき,マクロスケールの解析において,計算負荷をかけることなく,詳細な物理に基づいた解析をできるようになった.更に,気体-固体界面における分子・原子の挙動を解析するために,固体分子を古典的に取り扱い,気体分子の振動運動のみを量子力学により解析する二原子分子の量子分子動力学法の手法を確立した.そして,その手法の検証及び計算条件などの検討を行い,マクロスケールの流動解析に適用可能なモデルの構築に対する準備を行った.

報告書

(2件)
  • 2003 実績報告書
  • 2002 実績報告書
  • 研究成果

    (3件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (3件)

  • [文献書誌] Tsuboi, Yamaguchi, Matsumoto: "Three-Dimensional DSMC Simulation of Hypersonic Rarefied Gas Flow around a Sharp Flat Plate"Journal of Spacecraft and Rockets. (印刷中). (2004)

    • 関連する報告書
      2003 実績報告書
  • [文献書誌] Yamaguchi, Takagi, Matsumoto: "Vibrational Relaxation of Diatomic Molecules in Rarefied Gas Flows"Rarefied Gas Dynamics : 23^<rd> International Symposium. (2003)

    • 関連する報告書
      2002 実績報告書
  • [文献書誌] 坪井伸幸, 山口浩樹, 松本洋一郎: "希薄領域における極超音速非平衡流中の衝撃波と境界層の干渉 (第2報,並進/回転エネルギー分布状態の比較)"日本機械学会論文集(B編). 68・670. 1653 (2002)

    • 関連する報告書
      2002 実績報告書

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公開日: 2001-04-01   更新日: 2024-03-26  

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