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反応性非平衡RFプラズマの診断

研究課題

研究課題/領域番号 02214103
研究種目

重点領域研究

配分区分補助金
研究機関群馬大学

研究代表者

菅原 実  群馬大学, 工学部, 教授 (50008504)

研究分担者 石川 稜威男  山梨大学, 工学部, 助手 (00020446)
松沢 秀典  山梨大学, 工学部, 教授 (40006234)
菅ノ又 伸治  山梨大学, 工学部, 教授 (50020425)
大内 幹夫  東京電機大学, 工学部, 助教授 (90057258)
小林 祥男  群馬工業高等専門学校, 教授 (10042582)
研究期間 (年度) 1990
研究課題ステータス 完了 (1990年度)
配分額 *注記
10,000千円 (直接経費: 10,000千円)
1990年度: 10,000千円 (直接経費: 10,000千円)
キーワード探針法 / ダブルプロ-ブ法 / シランプラズマの診断 / 高周波放電 / RF放電 / 負イオン / オプトガルバノ効果 / フォトカウンティング法
研究概要

この研究は、最も共通性のある平行平板電極構造を持つ容量性RF放電リアクタ-を用い、アルゴンガスおよび反応性ガス(SiH4,SF6)中で、放電の電気的、光学的な構造を、時間・空間分解しながら診断することを目的としている。今年度の成果を以下に述べる。
1)RF反応性ガス放電プラズマ中におけるシングルプロ-ブ法
探針測定へのRF電位変動の影響を補う方法として、プロ-ブの回路系に、外部からRF電位を加え、シ-スにはRF電位変動が加わらない方式を考案した。また、RF電位補償の達成の度合いをチェックする方法を考案し、RF電位変動を打ち消した状態でのプロ-ブ法を可能にした。
2)RF放電イオンシ-ス構造とその動的振る舞い
RF放電の構造をDC放電と対比しながら、その電気的(電位分布、電荷分布)と光学的構造(負グロ-、陽光柱)をしらべている。今年は、f=400KHz,13.56MHzの場合で、負グロ-出現のタイミングとその時間・空間的進展過程をフォトカウンティング法により測定した。
3)直列の2容量型の等価回路モデルを用い、RF放電のシミュレ-ションを行ない、DCシ-ス電圧とVrfの関係を導いた。
4)平行平板型電極配置で、一方の電極上にSiウェ-ハ-を浮遊状態で載せた場合の発光分布は、非対称になった。これは、ウェ-ハ-前面での電界の歪みによるものと思われる。
5)質量分析の測定から、F,SF3などの解離によるフラグメントは、30KHzより1MHzの方が有効に生成されていることがわかった。

報告書

(1件)
  • 1990 実績報告書
  • 研究成果

    (4件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (4件)

  • [文献書誌] T.Okada and M.Sugawara: "A Modified Technique of the Selfーabsorption Method applicable to Natural Mercury Afterglows" Physics Letters A.150. 385-390 (1990)

    • 関連する報告書
      1990 実績報告書
  • [文献書誌] T.Ohte and M.Sugawara: "Mechanism of controlling the Selfーbias Voltage in a Flatbed Reactor." Materials Science and Engineering A.

    • 関連する報告書
      1990 実績報告書
  • [文献書誌] I.Ishikawa,K.Koike,T.Akitu,S.Suganomata and H.Matuzawa: "Detection Technique of Negative Ions by Photodetachment in SF_6 Lowーfrequency Discharge." Japan.J.Appl.Phys.29. 767-768 (1990)

    • 関連する報告書
      1990 実績報告書
  • [文献書誌] S.Suganomata,I.Ishikawa J.Tanaka and H.Ozaki: "Asymmetrical Emission Profiles from Lowーfrequency Discharges in SF_6 and in N_2 Gases in a Planar Diode with a Siー〓afer." Japan.J.Appl.Phys.30. 180-181 (1991)

    • 関連する報告書
      1990 実績報告書

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公開日: 1990-04-01   更新日: 2016-04-21  

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