| 研究課題/領域番号 |
02214222
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| 研究種目 |
重点領域研究
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究機関 | 九州大学 |
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研究代表者 |
田中 武彦 九州大学, 理学部, 教授 (00011586)
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| 研究分担者 |
田中 桂一 九州大学, 理学部, 助教授 (50037280)
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| 研究期間 (年度) |
1990
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| 研究課題ステータス |
完了 (1990年度)
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| 配分額 *注記 |
1,800千円 (直接経費: 1,800千円)
1990年度: 1,800千円 (直接経費: 1,800千円)
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| キーワード | プラズマ / ダイオ-ドレ-ザ-吸収法 / 高分解能赤外分光 / ラジカル計測法 / GeHラジカル |
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| 研究概要 |
本研究まプラズマ中の分子種の計測法として、赤外半導体レ-ザ-吸収法を応用する手法の開発をめざし、プラズマ中に生成する分子種、特にラジカルの高分解能スペクトルを赤外半導体レ-ザ-分光法によって検出・測定・解析し、これらの分光学的定数を求めると共に、スペクトル線の同定を確実にし、計測のための基礎固めを行うものである。本年度は、GeH_4プラズマ中に生成するラジカルを主目標として研究を進め、GeHラジカルの赤外ダイオ-ドレ-ザ-スペクトルを初めて同定し、精確な分光学的定数を求めることができた。吸収セルは、長さ約1mのパイレックスガラス管の内部に1対のステンレス製の円筒型電極を配置したものを調用した。電極に高圧の交流を供給して放電を起こさせ、放電のオンオフに同期してロックイン検出した(放電変調)。放電セルにはホワイト型の多重反射光学系を組込み、約15mの有効光路長を得た。GeHラジカルは、GeH_4(10mTorr)、He(1Torr)、H_2(1Torr)の混合物の放電により吸収セル中に直接生成した。H_2の添加によりGeHの信号強度は約3倍になった。最適放電電流は約350mA(pーp)であった。1659〜1897cm^<ー1>の領域において、総数94本の吸収線を、Geの質売数70,72,73,74ないし76に対応するGeHのものと確認し、 ^2П_<1/2>スピン状態の遷移に帰属した。0.0005cm^<ー1>程度の確度で各吸収線の波数を測定しこれらを最小二乗解析して、 ^2П_<1/2>スピン状態の分光定数を決定した。5つの同位体種のデ-タは、定数の間に換算質量によるスケ-リング則を仮定して、一括して解析した。
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