• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 前のページに戻る

エレクトロマイグレ-ションによる半導体界面の形成

研究課題

研究課題/領域番号 02232213
研究種目

重点領域研究

配分区分補助金
研究機関電気通信大学

研究代表者

安永 均  電気通信大学, 電気通信学部, 教授 (40017330)

研究分担者 奥山 直樹  電気通信大学, 電気通信学部, 助手 (50017406)
名取 晃子  電気通信大学, 電気通信学部, 助教授 (50143368)
研究期間 (年度) 1990
研究課題ステータス 完了 (1990年度)
配分額 *注記
2,000千円 (直接経費: 2,000千円)
1990年度: 2,000千円 (直接経費: 2,000千円)
キーワードエレクトロマイグレ-ション / 表面拡散 / 表面質量輸送 / ゲルマニウム表面 / ひ化ガリウム表面 / シリコン表面ステップ / 計算機シミュレ-ション
研究概要

金属ー半導体界面の構造制御に「半導体表面におけるエレクトロマイグレ-ション」を利用することを提案し,実際にそれを試みる。本年度は半導体界面形成に関連するエレクトロマイグレ-ションの基本的特性を解明することに重点をおいて研究を進め,以下の成果を得た。
1)Ge(111)およびGaAs(100)上のAgがエレクトロマイグレ-ションすることを見出した。とくに,GaAs上のAgは島状成長するが,このような系に対する電気力による質量輸送ははじめての観察であり,従来にはない輸送形態を示すことを見出した。
2)エレクトロマイグレ-ションの駆動力をSi(111)上のAgに対して調べ,電界に比例する力がはたらいていることを明らかにした。
3)Si(111)微傾斜面のステップ構造と熱処理の関係を低速電子線回析法で明らかにし,その表面上でのエレクトロマイグレ-ションおよび拡散を調べた。その結果,質量輸送はステップエッヂに平行な方向と垂直な方向で著しく異なり,Agは平行な方向へ輸率が高まり垂直方向では平坦面上とほとんど変わらなかった。これに対し,Inは,平行方向は変らず,垂直方向が著しく減少した。
4)格子ガスモデルに基づき,表面に沿った一様力の存在のもとで,金属固有層上の金属原子輸送過程と超薄膜パッチ構造緩和との相関を,計算機シミュレ-ションによって調べた。異なる振舞示すAg/Si(111)とIn/Si(111)の実験結果を,定性的ではあるが,統一的に説明することができた。

報告書

(1件)
  • 1990 実績報告書
  • 研究成果

    (7件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (7件)

  • [文献書誌] A.Natori: "MonteーCarlo Simulation of Heterogeneous Thin Film Growth" J.Crystal Growth. 99. 112 (1990)

    • 関連する報告書
      1990 実績報告書
  • [文献書誌] H.Yasunaga: "Electromigration and Diffusion of Au on Si(111)7×7" Surface Science. 231. 263 (1990)

    • 関連する報告書
      1990 実績報告書
  • [文献書誌] 安永 均: "半導体表面におけるエレクトロマイグレ-ション" 日本物理学会誌. 45. 476 (1990)

    • 関連する報告書
      1990 実績報告書
  • [文献書誌] A.Natori: "MicroーClustor Kinetics on Surfase:A MonteーCorlo Simulation with Waiting Time" Surface Science. 233. 392 (1990)

    • 関連する報告書
      1990 実績報告書
  • [文献書誌] H.Yasunaga: "HeteroーElectromigration on Semiconductor Surfaces" to be published in Surfce Science.

    • 関連する報告書
      1990 実績報告書
  • [文献書誌] N.J.Wu: "Mass Transport of Ag Thin Film on Stepped Si(111)Surface" to be published in Surface Science.

    • 関連する報告書
      1990 実績報告書
  • [文献書誌] 安永 均: "半導体工学" 近代科学社, 269 (1991)

    • 関連する報告書
      1990 実績報告書

URL: 

公開日: 1990-04-01   更新日: 2016-04-21  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi