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走査型X線トポグラフによる金属人工格子の構造評価に関する研究

研究課題

研究課題/領域番号 02254201
研究種目

重点領域研究

配分区分補助金
研究機関北海道大学

研究代表者

本堂 武夫  北海道大学, 工学部, 助教授 (60109494)

研究分担者 後藤 明  北海道大学, 工学部, 助手 (20205587)
高間 俊彦  北海道大学, 工学部, 助教授 (40001309)
研究期間 (年度) 1990
研究課題ステータス 完了 (1990年度)
配分額 *注記
1,600千円 (直接経費: 1,600千円)
1990年度: 1,600千円 (直接経費: 1,600千円)
キーワード金属人工格子 / 結晶配向性 / 垂直磁気異方性 / X線回折 / X線トポグラフィ
研究概要

本研究の目的は,X線回折法を用いて,金属人工格子の構造不均一性の評価方法を検討開発することであり,以下のような検討と装置開発を行った。
(1)Co/Pd人工格子の構造評価法の検討:Co系多層膜はその垂直磁気異方性に特徴があり,この発現と結晶性の関係を明らかにすることが重要な課題になっている。金属多層膜がかなり乱れた構造を持っていることを考慮して,まずその結晶配向性をX線振動写真法および極点図形解析法によって調べた。その結果,垂直磁気異方性を示す膜が(110)配向を示す(他の膜は(111)配向を持つ)ことが初めて明らかになった。さらに,この配向性の膜面内不均一性をマッピングすることの重要性が明らかになった。
(2)四軸解析計用試料面走査機構の設計・製作:上記(1)のような膜特性の面内分布を測定するために,四軸回析計ゴニオ上で試料をXーZ走査する自動ステ-ジを設計・製作した。回折曲線測定あるいは振動写真撮影と試料走査・デ-タ収集をコンピュ-タ制御の下で自動的に行うことができる。
(3)回折曲線・写真撮影方法および画像表示方法の検討:金属多層膜を特徴づけるパラメ-タは多岐にわたるので,目的に応じてパラメ-タを選択する必要がある。本研究では,上記(1)の理由で結晶配向性に注目して検討を進めた。その結果,(111),(200),(110)反射強度の面内分布を測定表示することが最適との結論に達し,上記(1)の成果を得た。現在までのところ,面内分布に特に大きな不均一性は認められないが,試料の製作条件等によってはその相達があるものと期待され,本研究で開発した装置と手法は大いに有用である。

報告書

(1件)
  • 1990 実績報告書
  • 研究成果

    (4件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (4件)

  • [文献書誌] T.Hondoh,R.Hoshi,A.Goto,H.Yamagami: "A now method using synchrotronーradiation topography for determining pointーdefect diffusirity under hydrostatic pressure" Philosophical Magazine Letters. 63. 1-5 (1991)

    • 関連する報告書
      1990 実績報告書
  • [文献書誌] T.Takama: "Measurements of Xーray Pendello^^″sung beats from heatーtreated silicon stngle crystabs" Acta cryst.A46. C42-C42 (1990)

    • 関連する報告書
      1990 実績報告書
  • [文献書誌] 本堂 武夫・高間 俊彦・後藤 明・篠崎 忠明: "X線散乱ラジオグラフィによる金属人工格子の構造評価法" 金属人工格子第1回研究会資料. 92-93 (1990)

    • 関連する報告書
      1990 実績報告書
  • [文献書誌] T.Hondoh,T.Takama,T.Shinozaki,A.Takahashi,A.Yamaguchi,R.Yamamoto: "Preffered orientation of Co/Pol Artificial Superlattices"

    • 関連する報告書
      1990 実績報告書

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公開日: 1990-04-01   更新日: 2016-04-21  

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