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半導体製造における液体有機材料の生体影響に関する基礎的研究

研究課題

研究課題/領域番号 02404035
研究種目

一般研究(A)

配分区分補助金
研究分野 衛生学
研究機関慶応義塾大学

研究代表者

桜井 治彦  慶應義塾大学, 医学部, 教授 (70051357)

研究分担者 酒井 徹  慶応義塾大学, 医学部, 助手 (50153846)
大前 和幸  慶応義塾大学, 医学部, 助教授 (60118924)
研究期間 (年度) 1990 – 1992
研究課題ステータス 完了 (1992年度)
配分額 *注記
28,100千円 (直接経費: 28,100千円)
1992年度: 1,700千円 (直接経費: 1,700千円)
1991年度: 12,100千円 (直接経費: 12,100千円)
1990年度: 14,300千円 (直接経費: 14,300千円)
キーワード半導体 / 毒性 / 有機液体珪素化合物 / テトラエトキシシラン / 動物実験
研究概要

年間消費量が最も多く、毒性に関する情報も少ないテトラエトキシシラン(TEOS,Si(OC_2H_5)_4)の雄性ICRマウスに対する毒性について検討した。
TEOS腹腔内投与実験では、LD50は500mg/kg程度、標的臓器は、腎尿細管であり、病理組織学的に急性尿細管壊死、尿細管間質性腎炎が観察された。
TEOS1000ppmを、1、2、4、8時間曝露した急性曝露実験では、4時間のLC50値は1000ppm以上、標的臓器は腎尿細管および鼻腔粘膜であった。200、100、50ppmのTEOSを、6時間/日、5日間/週、2週間または4週間曝露した亜急性曝露実験では、50ppm曝露群で腎尿細管への影響は見られなかったが、鼻腔粘膜の炎症像は観察された。これらの実験結果から、職業性曝露においては、現在の許容濃度である10ppm以下に厳しくコントロールする必要があり、TEOS曝露作業者の腎機能について長期的観察をする必要があることが、明らかになった。
TEOS腹腔内投与による腎への影響を病理組織学的・経時的に追跡した実験では、投与後12時間以内に腎尿細管の障害が発生し、3日後には尿細管の修復過程が観察され、2週間後には尿細管間質腎炎となった。

報告書

(4件)
  • 1992 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 1991 実績報告書
  • 1990 実績報告書
  • 研究成果

    (25件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (25件)

  • [文献書誌] 酒井 徹、大前 和幸、桜井 治彦、等。: "Tetraethoxysilane(TEOS)腹腔内科与後のマウス臓器の病理組織学的検討。" 産業医学. 33. 256-257 (1991)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1992 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 大前 和幸: "半導体特殊材料の毒性評価" 慶応医学. 68. 729-735 (1991)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1992 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Omae K.: "Toxicity of silicon compounds used in semiconductor manufacturing processes." Proceeding of 15th workshop on ULSI ultra clean technology. 101-110 (1991)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1992 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Omae K,Sakurai H,et al.: "Acute renal injury by tetraethyl orthosilicate in mice:ultrastructure,histochemistry and X-ray microanalysis." J Submicrosc Cytol Pathol. 24. 257-268 (1992)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1992 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Omae K,Sakai T,Sakurai H,et al.: "Acute and subacute inhalation toxicity of silane 1,000ppm in mice." Arch Texicol. 66. 750-753 (1992)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1992 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 大前 和幸、等。: "特殊材料ガスの毒性" 安全工学(J Jap Society Safety Engineering). 31. 336-342 (1992)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1992 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Nakashima H, Sadai T, Yamazaki K, Omae K,Sakurai H: "A histopathological study of tetraethoxysilane (TEOS) intra-peritoneally administrated to ICR mice." Jap J Ind Health. 33. 256-257 (1991)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1992 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Omae K: "Evaluation of toxicity of fine chemicals used in semiconductor manufacturing industries" Keio Igaku. 68. 729-735 (1991)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1992 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Omae K: "Toxicity of silicon compounds used in semiconductor manufacturing processes" Proceedings of 15th workshop on ULSI ultra clean technology. 101-110 (1991)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1992 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Yamazaki K,Nakashima H,Eyden BP, Omae K: "Sakurai H, Acute renal injury by tetraethyl orthosilicate in mice: ultrastructure, histochemistry, and microanalysis." J Submicrosc Cytol Pathol. 24. 257-268 (1992)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1992 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Omae K,Sakai T,Sakurai H, et al: "Acute and subacute inhalation toxicity of silane 1000 ppm in mice" Arch Toxicol. 66. 750-753 (1992)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1992 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Omae K, Ishizuka C, Nakashima H, Takabayashi T: "Toxicity of specialty gases for IC manufacturing." J Jap Soc Safety Engineering. 31. 336-342 (1992)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1992 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 酒井 徹,大前 和幸,桜井 治彦,等。: "Tetraethoxyslane(TEOS)腹腔内投与後のマウス臓器の病理組織学的検討。" 産業医学. 33. 256-257 (1991)

    • 関連する報告書
      1992 実績報告書
  • [文献書誌] 大前 和幸: "半導体特殊材料の毒性評価" 慶応医学. 68. 729-735 (1991)

    • 関連する報告書
      1992 実績報告書
  • [文献書誌] Omae K.: "Toxecety of silicon compiunds used in semiconductor manufacturing pricesses." Proceeding of 15th workshop on ULSI ultra clean technology. 101-110 (1991)

    • 関連する報告書
      1992 実績報告書
  • [文献書誌] Omae k,Sakurai H,etal.: "Acute renal injury by tetraethyl orthosilicate in mice:ultrastructure,histochemistry and X-ray microanalysis." J Submicrosc Cytol Pathol. 24. 257-268 (1992)

    • 関連する報告書
      1992 実績報告書
  • [文献書誌] Omae K,Sakai T,Sakurae H,etal.: "Acute and subacute inhalation toxicity of silane 1,000ppm in mice." Arch Toxecol. 66. 750-753 (1992)

    • 関連する報告書
      1992 実績報告書
  • [文献書誌] 大前 和幸,等。: "特殊材料ガスの毒性" 安全工学(J Jap Society Safety Engineering). 31. 336-342 (1992)

    • 関連する報告書
      1992 実績報告書
  • [文献書誌] 中島 宏,酒井 徹,山崎 一人,大前 和幸,桜井 治彦: "Tetraethoxysilane(TEOS)腹腔内投与後のマウス臓器の病理組織学的検討" 産業医学. 33. 256-257 (1991)

    • 関連する報告書
      1991 実績報告書
  • [文献書誌] 大前 和幸: "半導体特殊材料の毒性評価" 慶応医学. 68. 729-735 (1991)

    • 関連する報告書
      1991 実績報告書
  • [文献書誌] 大前 和幸,酒井 徹: "モノシラン、TEOSに続き半導体用ガス毒性の見直しが必要" 日経マイクロデバイス. 2. 99-103 (1991)

    • 関連する報告書
      1991 実績報告書
  • [文献書誌] 中島 宏、酒井 徹、山崎 一人、大前 和幸、桜井 治彦: "Tetraetoxysilane(TEOS)腹腔内投与後のマウス臓器の病理組織学的検討" 産業医学. 33. (1991)

    • 関連する報告書
      1990 実績報告書
  • [文献書誌] 中島 宏、大前 和幸、酒井 徹、桜井 治彦、山崎 一人: "テトラエトキシシラン(TEOS)の生体毒性Iーマウス腹腔内投与実験ー" 日本衛生学雑誌. 46. (1991)

    • 関連する報告書
      1990 実績報告書
  • [文献書誌] 酒井 徹、大前 和幸、中島 宏、桜井 治彦、山崎 一人: "テトラエトキシシラン(TEOS)の生体毒性IIーマウス吸入曝露実験ー" 日本衛生学雑誌. 46. (1991)

    • 関連する報告書
      1990 実績報告書
  • [文献書誌] 大前 和幸、酒井 徹、中島 宏、桜井 治彦、山崎 一人: "ケイ酸エステル類の毒性ーマウス腹腔内投与実験ー" 日本衛生学雑誌. 46. (1991)

    • 関連する報告書
      1990 実績報告書

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公開日: 1990-04-01   更新日: 2016-04-21  

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