| 研究課題/領域番号 |
02452084
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| 研究種目 |
一般研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
物理計測・光学
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| 研究機関 | 東京工業大学 |
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研究代表者 |
大津 元一 東京工業大学, 大学院総合理工学研究科, 助教授 (70114858)
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| 研究分担者 |
寺町 康昌 職業訓練大学校, 情報工学科, 教授
中川 賢一 東京工業大学, 大学院総合理工学研究科, 助手 (90217670)
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| 研究期間 (年度) |
1990
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| 研究課題ステータス |
完了 (1990年度)
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| 配分額 *注記 |
7,000千円 (直接経費: 7,000千円)
1990年度: 7,000千円 (直接経費: 7,000千円)
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| キーワード | 波動光学 / ファイバ / 共振器 / 半導体レ-ザ / 分解能 |
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| 研究概要 |
近視野での波動光学の解析を行った結果、測定感度、及び横、縦分解能が互いに、相関を持ち、ショット雑音限界では横分解能は10nm、縦分解能は1nmという優れた値が得られることが判明した。これにより近視野電磁場解析の基礎を確立することが出来た。
ファイバ・ピックアップの先鋭化をフッ酸溶液により行う方法を見いだし、先端曲率半径80nm以下のものをつくることが出来た。また、電子ビ-ム蒸着法によりクロム、金薄膜を先端に均一蒸着することができた。微小開口は放電法、衝突法で作成することができ、開口径20nm以下のファイバ・ピックアップの作成法を確立した。
光源としての半導体レ-ザの高コヒ-レント化に成功し、スペクトル線幅7Hz、を得た。また、参照用の共振器の共振周波数を掃引することによりこのレ-ザの波長を精密に5nmの範囲にわたり掃引した。
光走査トンネル顕微鏡のシステムを製作した。分解能を評価するために厚さ15nmのSiO_2薄膜、さらに複眼光メモリ-の表面形状を測定した結果、横分解能20nm以内、縦分解能1nmが得られた。これは有機超薄膜中の微小開口、リン脂質、などの形状測定には十分な性能であり、有機超薄膜評価用の優れたシステムであることを確認した。
さらに高分解能の光走査トンネル顕微鏡を新たに提案した。これは端面に微小開口を持ったファブリ・ペロ-共振器をプロ-ブとし、その共振周波数の微小シフト量を測定する方法を採用している。つまり、これは反射共振型と呼ぶべきものである。これによる横、縦分解能のショット雑音限界はそれぞれ1nm,0.1nm以内であることが判明した。
また、これらのプロ-ブを用い、原子の動きの操作、さらに単原子の結晶成長の可能性を提案した。
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