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化学気相析出(CVD)法による酸化物高温超伝導体の線材化

研究課題

研究課題/領域番号 02555146
研究種目

試験研究(B)

配分区分補助金
研究分野 金属材料
研究機関東北大学

研究代表者

平井 敏雄  東北大学, 金属材料研究所, 教授 (50005865)

研究分担者 大森 守  東北大学, 金属材料研究所, 助手 (30005954)
増本 博  東北大学, 金属材料研究所, 助手 (50209459)
佐々木 眞  東北大学, 金属材料研究所, 助手 (70187128)
山根 久典  東北大学, 金属材料研究所, 助手 (20191364)
研究期間 (年度) 1990 – 1991
研究課題ステータス 完了 (1991年度)
配分額 *注記
12,200千円 (直接経費: 12,200千円)
1991年度: 4,600千円 (直接経費: 4,600千円)
1990年度: 7,600千円 (直接経費: 7,600千円)
キーワード酸化物高温超伝導体 / 化学気相析出法 / 金属基体 / 超伝導転移温度 / 臨界電流密度 / 磁場依在性 / 結晶配向 / 低温成膜 / 磁場依存性 / 線材化 / 多結晶基板
研究概要

酸化物超伝導膜を線材として利用するには長尺化が不可欠であり、長尺基体の作製が容易なセラミックや金属の上への成膜が期待されている。本研究では、CVD法により酸化物高温超伝導線材を開発するための基磯的研究として、まず、セラミック多結晶焼結体(Y_2O_3安定化ZrO_2、(YSZ)、Al_2O_3、MgO)を基体に用い超伝導膜の合成を行った。次に金属基体(ハステロイ)上への成膜を試みた。また、基体と膜の間の化学反応を防ぐための中間(バッファ-)層(YSZ層)の効果を調べた。さらに基体との反応を軽減するために析出温度の低温化を試みた。
1.セラミックス多結晶基体上への合成 各多結晶基体上の膜ともYBa_2Cu_3O_<7ーx>の(001)回析ピ-クが強くみられ、c軸が基体面に垂直に配向していることがわかった。YSZとMgO多結晶基体上に作製した膜において超伝導転移がみられ、それぞれ89Kと85Kで低抗がゼロ(Tc(R=0))となった。YSZ多結晶基体上に作製した膜では、77.3K、0 Tで4.4×4×10^3A/cm^2の臨界電流密度(Jc)が測定された。
2.金属基板上への成膜 ハスラロイ金属基板上に直接成膜したところ、膜と基体との反応が認められ、超伝導特性は得られなかった。Y_2O_3安定化ZrO_2(YSZ)を中間層に用いた場合、析出した膜はc軸配向の顕著なYBa_2Cu_3O_xであった。オ-ジェ分析の結果、膜と基体との反応は中間層により抑制されていることが明かになった。析出温度850゚Cで得られた膜は、Tc(R=0)が87Kで、77.3K、0 TでのJcが6.4×10^3A/cm^2であった。
3.析出温度の低温化 結晶性のよい高Tcで高JcのYBCO膜の析出温度が成膜時の酸素分圧に大きく依存していることが明らかになった。P(O_2)=3.6Torrでは850゚付近で、0.036Torrでは700゚C付近で、Tc(R=0)=90-92K、Jc(77.3K,0 T)〉10^6A/cm^2の膜が作製された。

報告書

(3件)
  • 1991 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 1990 実績報告書
  • 研究成果

    (50件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (50件)

  • [文献書誌] H.Yamane: "Y-Ba-Cu-O superconducting Films Prepared on SrTiO_3(100) by CVD and their High Jc in Magnetic Field" Proceedings of the 11th International Conference on Chemical Vapor Deposition (CVD-XI),October 14-19,1990,Seattle,edited by K. E. Spear and G. W. Cullen,The Electrochemical Society,INC,Pennington. 222-228 (1991)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
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      1991 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 山根 久典: "CVDー酸化物高温超伝導膜の最近の研究" 日本金属学会会報. 29(9). 744-748 (1990)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
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      1991 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Hirai: "MOCVD Superconducting Oxide Films" j.Crystal Growth. 107(1-4). 683-691 (1991)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
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      1991 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Yamane: "Preparation of a-Axis and c-Axis Oriented Y-Ba-Cu-O Superconducting Oxide Films by CVD" Advances in Superconductivity III,edited by K.Kajimura and H.Hayakawa,Springer-Verlag,Tokyo. 973-976 (1991)

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      1991 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Yamane: "Prepartion of a High-Jc Y-Ba-Cu-O film at 700゚C by Thermal Chemical Vapor Deposition" J.Appl. Phys.69. 7948-7950 (1991)

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      1991 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Yamane: "Low Temperature Deposition of Y-Ba-Cu-O Superconducting Films by Thermal CVD" Jpn.J.Appl.Phys.30. L1003-L1005 (1991)

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      1991 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Yamane: "Chemical Vapor Deposition of High-Tc Superconducting Oxide Thin Films" High-Tc Superconductor Thin Films,Pric.International Confernce on Advanced Materials (ICAM 91),May 27-31,1991,Strasbourg,edited by L.Correra,Elsevier science Publishers,Amsterdam.301-311 (1992)

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      1991 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Yamane: "Effect of Oxygen Partial Presure on the Chemical Vapor Deposition of Y-Ba-Cu-O Superconducting Films" High Tc Superconductor Thin Films,Proc.International Conference on Advanced Materials (ICAM 91),May 27-31,1991,Strasbourg,edited by L.Correra,Elsevier Science Publishers,Amsterdam.319-324 (1992)

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      1991 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Yamane: "Low-Temperature Formation of Y-Ba-Cu-O Superconducting Films by Thermal CVD and their Jc in High Magnetic Fields" Physica C. 190. 79-80 (1991)

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      1991 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.kurosawa: "Preparation of Y-Ba-Cu-O Superconducting Films on Polycrystal Oxide Substrates by Chemical Vapor Deposition" Supercond.Sci.Technol.4. 192-198 (1991)

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  • [文献書誌] 黒沢 秀行: "CVD法によるハステロイ金属基板上へのYーBaーCuーO超伝導膜の合成と性質"

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      1991 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 黒沢 秀行: "CVD酸化物超伝導薄膜の応用 高温超伝導の応用" 丸善, 271 (1990)

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  • [文献書誌] K.Watanebe: "CVD Route for High Jc Superconductors Studies of High Temperature Superconductors,edited by A.Narlikar,Nova Science Pub."

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      1991 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H. Yamane: "Y-Ba-Cu-O Superconducting Films Prepared on SrTiO_3(100) by CVD and their High J_c in Magnetic Field" Proceedings of the 11th international Conference on Chemical Vapor Deposition (CVD-XI) edited by K. E. Spear and G. W. Cullen, (The Electrochemical Society, INC, Pennington, 1991, p. 222-228.). October 14-19. (1990)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
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      1991 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H. Yamane: "Recent Investigation of CVD-Superconducting Oxide Films" Bull. Jpn. Inst. of Metals. 29[9]. 744-748 (1990)

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      1991 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T. Hirai: "MOCVD Superconducting Oxide Films" J. Crystal Growth. 107[1-4]. 683-691 (1991)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
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      1991 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H. Yamane: "Preparation of a-Axis and c-Axis Oriented Y-Ba-Cu-O Superconducting Oxide Films by CVD" Advances in Superconductivity III, edited by K. Kajimura and H. Hayakawa, Springer-Verlag, Tokyo. 973-976 (1991)

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      1991 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H. Yamane: "Preparation of a High-J_c Y-Ba-Cu-O film at 700゚C by Thermal Chemical Vapor Deposition" J. Appl. Phys.69. 7948-7950 (1991)

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      1991 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H. Yamane: "Low Temperature Deposition of Y-Ba-Cu-O Superconducting Films by Thermal CVD" Jpn. J. Appl. Phys.30. L1003-L-1005 (1991)

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      1991 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H. Yamane: "Chemical Vapor Deposition of High-T_c Superconducting Oxide Thin Films" High-T_c Superconductor Thin films, Proc. International Conference on AdvancedMaterials, (ICAM 91) edited by L. Correra, Elsevier Science Publishers, Amsterdam. May 27-31. 301-311 (1992)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
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      1991 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H. Yamane: "Effect of Oxygen Partial Pressure on the chemical Vapor Deposition of Y-Ba-Cu-O Superconducting films" Hign T_c Superconductor Thin Films, Proc. International Conference on Advanced materials (ICAM 91) edited by L. Correra, Elsevier Science Publishers, Amsterdam.May 27-31, 1991. 319-324 (1992)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
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      1991 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H. Yamane: "Low-Temperature Formation of Y-Ba-Cu-O Superconducting Films by Thermal CVD and their J_c in High magnetic Fields" Physica C. 190. 79-80 (1991)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
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      1991 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H. Kurosawa: "Preparation of Y-Ba-Cu-O superconducting Films on Polycrystal Oxide Substrates by Chemical Vapor Deposition" Supercond. Sci. Technol.4. 192-198 (1991)

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      1991 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H. Kurosawa: "Preparation of Y-Ba-Cu-O superconducting Films on Hastelloy Metal Substrates and their Properties by Chemical Vapor Deposition"

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      1991 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Yamane: "Y-Ba-Cu-O Superconducting Films Prepared on SrTiO_3 (100) by CVD and their High Jc in Magnetic Field" Proceedings of the 11th International Conference on Chemical Vapor Deposition (CVD-XI),October 14-19,1990,Seattle,edited by K.E.Spear and G.W.Cullen,The Electrochemical Society,INC,Pennington. 222-228 (1991)

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      1991 実績報告書
  • [文献書誌] 山根 久典: "CVD-酸化物高温超伝導膜の最近の研究" 日本金属学会会報. 29(9). 744-748 (1990)

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      1991 実績報告書
  • [文献書誌] T.Hirai: "MOCVD Superconducting Oxide Films" J.Crystal Growth. 107[1-4]. 683-691 (1991)

    • 関連する報告書
      1991 実績報告書
  • [文献書誌] H.Yamane: "Preparation of a-Axis and c-Axis Oriented Y-Ba-Cu-O Superconducting Oxide Films by CVD" Advances in Superconductivity III,edited by K.Kajimura and H.Hayakawa,Springer-Verlag,Tokyo. 973-976 (1991)

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      1991 実績報告書
  • [文献書誌] H.Yamane: "Preparation of a High-Jc Y-Ba-Cu-O film at 700℃ by Thermal Chemical Vapor Deposition" J.Appl.Phys.69. 7948-7950 (1991)

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      1991 実績報告書
  • [文献書誌] H.Yamane: "Low Temperature Deposition of Y-Ba-Cu-O Superconducting Films by Thermal CVD" Jpn.J.Appl.Phys.30. L1003-L1005 (1991)

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      1991 実績報告書
  • [文献書誌] H.Yamane: "Chemical Vapor Deposition of High-Tc Superconducting Oxide Thin Films" High-Tc Superconductor Thin Films,Proc.International Conference on Advanced Materials (ICAM91),May 27-31,1991,Strasbourg,edited by L.Correra,Elsevier Science Publishers,Amsterdam,. 301-311 (1992)

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      1991 実績報告書
  • [文献書誌] H.Yamane: "Effect of Oxygen Partial Pressure on the Chemical Vapor Deposition of Y-Ba-Cu-O Superconducting Films" High Tc Superconductor Thin Films,Proc.International Conference on Advanced Materials (ICAM91),May 27-31,1991,Strasbourg,edited by L.Correra,Elsevier Science Publishers,Amsterdam,. 319-324 (1992)

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      1991 実績報告書
  • [文献書誌] H.Yamane: "Low-Temperature Formation of Y-Ba-Cu-O Superconducting Films by Thermal CVD and their Jc in High Magnetic Fields" Physica C. 190. 79-80 (1991)

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      1991 実績報告書
  • [文献書誌] H.Kurosawa: "Preparation of Y-Ba-Cu-O Superconducting Films on Polycrystal Oxide Substrates by Chemical Vapor Deposition" Supercond.Sci.Technol.4. 192-198 (1991)

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      1991 実績報告書
  • [文献書誌] 黒沢 秀行: "CVD法によるハステロイ金属基板上へのY-Ba-Cu-O超伝導膜の合成と性質"

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      1991 実績報告書
  • [文献書誌] 黒沢 秀行: "CVD酸化物超伝導薄膜の応用高温超伝導の応用" 丸善, 271 (1990)

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  • [文献書誌] K.Watanebe: "CVD Route for High Jc Superconductors Studies of High Temperature Superconductors,edited by A.Narlikar,Nova Science Pub.,"

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      1991 実績報告書
  • [文献書誌] 山根 久典,平井 敏雄: "CVDー酸化物高温超伝導膜の研究" 日本金属学会会報. 29. 744-748 (1990)

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      1990 実績報告書
  • [文献書誌] K.Watanabe,H.Yamane,H.Kurosawa,T.Hirai,Y.Kobayashi,H.Kawabe and Y.Muto: "Route to HighーJc for YBaCuO Films" Proceedings of the Second ISTEC Workshop on Superconductivity,May 28ー30,1990 Kagoshima,. 60-63 (1990)

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      1990 実績報告書
  • [文献書誌] T.Hirai and H.Yamane: "MOCVD Superconducting Oxide Films" J.Crystal Growth,. 107. 683-691 (1991)

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      1990 実績報告書
  • [文献書誌] N.Kobayashi,K.Miyoshi,H.Kawabe,K.Watanabe,H.Yamane,H.Kurosawa,T.Hirai and Y.Muto: "Correlation between Magnetic Relaxation and Jc of YBa_2Cu_3O_7 Films" Physica B. 165ー166. 1133-1134 (1990)

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      1990 実績報告書
  • [文献書誌] N.Kobayashi,H.Kawabe,K.Watanabe,S.Awaji,H.Yamane,H.Kurosawa,T.Hirai and Y.Muto: "Angular Dependence of Critical Current Density of YBa_2Cu_3O_7ー^δ Films in Fields" Supercond.Sci.Technol.4. S328-330 (1991)

    • 関連する報告書
      1990 実績報告書
  • [文献書誌] H.Yamane,H.Kurosawa,T.Hirai,K.Watanabe,N.Kobayashi and Y.Muto: "YーBaーCuーO Superconducting Films Prepared on SrTiO_3(100) by CVD and their High Jc in Magnetic Field." Proceedings of the eleventh International Conference on ChemicalVapor Deposition 1990 (CVDーXI) edited by K.E.Spear andG.W.Cullen,Octorber 14ー19,(1990) Seatle,. 222-228 (1990)

    • 関連する報告書
      1990 実績報告書
  • [文献書誌] Y.Muto,K.Watanabe,N.Kobayashi,H.Yamane and T.Hirai: "Critical Current in High Magnetic Field of YーBaーCu Oxide Films Prepared by CVD Method" Proceedings of the Conference on the Science and Technology of Thin Film Superconductors April 30ーMay 4,1990 Denver,Colorado,.

    • 関連する報告書
      1990 実績報告書
  • [文献書誌] K.Watanabe,N.Kobayashi,H.Yamane,T.Hirai,Y.Muto,H.Kawabe and H.Kurosawa: "Critical Current and Flux Pinning in Y_1Ba_2Cu_3O_7ーδ Films Preparedby Chemical Vapor Deposition" Proceedings of ICMC'90 Topical Conference,HighーTemperature SuperconuctorsーMaterials Aspects May 9ー11,1990 GarmischーPartenkirchen,.

    • 関連する報告書
      1990 実績報告書
  • [文献書誌] H.Yamane,M.Hasei,T.Hirai,K.Watanabe,N.Kobayashi,H.Kurosawa and Y.Muto: "Preparation of aーAxis and cーAxis Oriented YーBaーCuーO Superconducting Oxide Films by CVD" Proceedings of Third International Symposium on Superconductivity November 6ー9,1990,Sendai,Miyagi Prefecture,.

    • 関連する報告書
      1990 実績報告書
  • [文献書誌] K.Watanabe,S.Awaji,N.Kobayahi,H.Yamane,T.Hirai and Y.Muto: "Flux Pinning in CVD Processed YBaCuO Film" Proceedings of Third International Symposium on Superconductivity,November 6ー9,1990,Sendai,Miyagi Prefecture,.

    • 関連する報告書
      1990 実績報告書
  • [文献書誌] H.Yamane,T.Hirai,K.Watanabe,N.Kobayashi,Y.Muto,M.Hasei and H.Kurosawa: "Preparation of a HighーJc YーBaーCuーO film at 700℃ by Themal Chemical Vapor Deposition" J.Phys.Lett.,.

    • 関連する報告書
      1990 実績報告書
  • [文献書誌] H.Suzuki,H.Kurosawa,K.Miyagawa,Y.Hirotsu,M Era,T.Yamashita,H.Yamane and T.Hirai: "Thin Film Stucture of YBa_2Cu_3O_7ーδ on (001) MgO substrate Studied by TEM" Jpn.J.Appl.Phys.,. 29. L1648-1651 (1990)

    • 関連する報告書
      1990 実績報告書
  • [文献書誌] 黒沢 秀行,平井 敏雄,山下 努,新技術事業団監修: "高温超電導の応用 16章 CVD酸化物超電薄膜の応用" 丸善株式会社, 240-253 (1990)

    • 関連する報告書
      1990 実績報告書

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公開日: 1990-04-01   更新日: 2016-04-21  

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