| 研究課題/領域番号 |
02559011
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| 研究種目 |
試験研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
広領域
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| 研究機関 | 広島大学 |
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研究代表者 |
下村 義治 広島大学, 工学部, 教授 (40033831)
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| 研究分担者 |
新井 善博 日本電子株式会社, 電子工学機器技術本部研究開発部, 課長
向田 一郎 広島大学, 工学部, 助手 (70209980)
福島 博 広島大学, 工学部, 助手 (70156769)
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| 研究期間 (年度) |
1990 – 1991
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| 研究課題ステータス |
完了 (1991年度)
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| 配分額 *注記 |
5,400千円 (直接経費: 5,400千円)
1991年度: 1,000千円 (直接経費: 1,000千円)
1990年度: 4,400千円 (直接経費: 4,400千円)
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| キーワード | イオン照射損傷 / ガン・ダメ-ジ / 電子顕微鏡 / 照射系 / 変位カスケ-ド損傷 / 照射損傷 / 中性子照射損傷 |
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| 研究概要 |
電子顕微鏡電子銃部に発生する負イオンは加速されて集束レンズ部を通過して電子顕微鏡金属試料に一様なイオン束として降り注ぐ。これらイオンにより変位カスケ-ド損傷が形成してイオン・中性子照射損傷による変位カスケ-ド損傷研究の妨げとなる事を本研究者等は見つけた。このイオンを除去する目的で平成2年度に二つの装置を試作した。第一は電子顕微鏡の電子銃下部に設置して電子線の経路を最大1mm程度平行シフトさす装置であり、質量の大きいイオンは電子線と同じように曲がらない性質を利用してイオンをブロック・アウトするものである。第二は試料室内にて、電子線をくの字型に曲げてその直線経路中心部にイオンのストッパ-板を挿入する方式によるものである。これら二つの装置を広島大学・工学部に現有するJEMー2000ES型電子顕微鏡に設置して性能テストを行った。第一の装置については、電子銃のフイラメント及びグリッド部を電子線経路に直角な方向に平行シフトしてフイラメントより発生する電子線を偏向コイル部にて曲げてイオンを除去した。この方式でガンより飛来するイオン・ブロック効果は完全である。ガン・ダメ-ジの除去のみでなく電子顕微鏡観察中に試料表面に堆積するコンタミネ-ションが極度に減少する。本方式が現在マックスプランク研究所に納入のための製作中の電子顕微鏡で採用されていると聞いている。我々の方式ではガン部をシフト中に0ーring部で真空低下が起きるのでこれの克服が今後の課題である。第二の方式でも結果は非常に良好であった。ガン・ダメ-ジの除去と試料表面に堆積するコンタミネ-ション量の極度の減少が観察された。本研究で開発した装置は今後の電子顕微鏡では常設される様になる事は確実である。ポ-ルピ-ス等の交換及び高分解能の達成などを考慮すると第一方法の電子銃部での電子線経路の湾曲によるガン・イオンの除去方式を超高圧電子顕微鏡へ設置してのガン・ダメ-ジを除去しての電子線による照射損傷研究が可能な段階にきた。
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