| 研究概要 |
初年度(平成2年度)は平滑な修正キャリヤ(加工中に摩耗しない)によるラップ定盤の摩耗特性に関して理論的及び実験的検討を行った.2年度(平成3年度)においては,加工中に修正キャリアとラップ定盤が共に摩耗する場合について検討し,摩耗したラップ定盤の各種修正キャリヤによる面精度回復技術に関して理論的及び実験的検討をすると共にラップ定盤の摩耗形態を問わず修正加工のできるキャリヤの形状についても検討した.2年間に渡る研究の結果,以下の事柄が明らかとなった.
1.ラップ定盤及び修正キャリヤの摩耗特性について,摩擦距離並び加工圧力を考慮した理論的解析による計算結果と実験結果がほぼ一致した.
2.ラップ定盤の摩耗状態に応じて加工圧力は加工時間の経過と共に変化し,加工圧力を補正することによって,ラップ定盤の摩耗特性を計算により推測できることを明らかとした.
3.ラップ定盤の摩耗状態に応じて加工圧力が変化するため,ラップ定盤がある程度摩耗した時点でラップ定盤のプロファイルがほぼ決定され,それ以降は,その形状を維持しながら摩耗量のみが増加することが明らかとなった.
4.本実験で用いたような小型のラップ定盤では,ラップ定盤上に加工された溝がラップ定盤の摩耗特性に及ぼす影響はほとんど無く,本研究で示した理論的解析が十分適用できることが明らかとなった.
5.本研究の理論解析の結果,ラップ定盤の摩耗状態に応じた最適修正条件を推測することがわかった.
6.矩形修正キャリヤを用いることによって,平坦なラップ定盤の面を維持しながら摩耗させることがわかった.
7.矩形修正キャリヤを用いることによって,ラップ定盤の摩耗状態に依存せず,修正加工できることがわかった.
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