| 研究課題/領域番号 |
02650104
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| 研究種目 |
一般研究(C)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
機械工作
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| 研究機関 | 中部大学 |
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研究代表者 |
難波 義治 中部大学, 工学部, 教授 (40029129)
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| 研究期間 (年度) |
1990
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| 研究課題ステータス |
完了 (1990年度)
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| 配分額 *注記 |
2,000千円 (直接経費: 2,000千円)
1990年度: 2,000千円 (直接経費: 2,000千円)
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| キーワード | 超精密研削 / フロ-ト・ポリシング / 紫外レ-ザ / レ-ザ耐力 / 表面粗さ / 走査型トンネル顕微鏡 / レ-ザ核融合 / エキシマレ-ザ |
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| 研究概要 |
日本の工業技術を先導している半導体産業において、VLSIをより高集積化する努力が精力的になされ、リソグラフィ-用光源として紫外光であるエキシマレ-ザが注目され、レ-ザの開発並びにその応用の研究が鋭意進められている。また、レ-ザ核融合研究においても、燃料ペレットへの効率的なレ-ザ源として非線型光学結晶で高調波に変換した紫外レ-ザが注目されている。いずれにしても、紫外光を扱うため、光学材料が従来のものと異なり、かつ波長が短かいため従来よりも形状精度が高く、表面粗さが小さい面が必要となり、エネルギ-が高いためレ-ザ損傷が問題となっている。このような要求を満たす平面光学素子を提供するため、以下のような研究を行なった。
1)超精密加工および超精密表面粗さ測定のための恒温・恒湿のクリ-ンル-ムを構築し、各装置に対しては防振基礎を設置した。 2)ノマルスキ-式微分干渉顕微鏡搭載の走査型トンネル顕微鏡(STM)に写真撮影装置を設置し、より明瞭な表面観察を可能とした。STMによる測定の較正を回折格子を使用して行ない、より正確な表面粗さ測定を可能とした。MnーZnフェライトについては、無コ-ティングでSTM像を得ることに成功した。 3)各種光学ガラスを超精密平面研削盤によりワンパス研削し、従来の光学部品よりも滑かな面に仕上げることに成功した。また、レ-ザガラスに対しては、超精密研削により従来の光学研磨面に比べレ-ザ耐力の高い面が得られることを明らかにした。レ-ザ耐力は表面粗さの関数であると共に、コンタミネ-ションに強く依存することを明らかにした。 4)上記レ-ザガラス研削面にフロ-ト・ポリシングを施すことにより、30J/cm^2のレ-ザ耐力が得られ、従来の光学研磨面の2倍のレ-ザ耐力を示した。
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