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イオウ化合物によって汚染されたアルミナ表面のトンネル分光法による状態分析の研究

研究課題

研究課題/領域番号 02650545
研究種目

一般研究(C)

配分区分補助金
研究分野 工業分析化学
研究機関鹿児島大学

研究代表者

鎌田 薩男  鹿児島大学, 工学部, 教授 (20041527)

研究期間 (年度) 1990 – 1991
研究課題ステータス 完了 (1991年度)
配分額 *注記
1,900千円 (直接経費: 1,900千円)
1991年度: 500千円 (直接経費: 500千円)
1990年度: 1,400千円 (直接経費: 1,400千円)
キーワード非弾性電子トンネル分光 / 振動スペクトル / 表面分析 / アルミナ表面 / 有機イオウ化合物 / 鉄表面 / 有機リン化合物 / カルボン酸エステル / 金属酸化物 / アルミナ
研究概要

非弾性電子トンネル分光法によりアルミナ表面の状態分析を行った。トンネルスペクトルはアルミナ表面をスルホン酸、チオ尿素およびチオアミドなどの有機イオウ化合物および各エステル化合物の溶液で処理し、Al/Al_2O_3(試料または膜)/Pbのトンネル接合を作製して測定した。振動スペクトルの解析結果、次のことを明らかにした。(1)アルミナ表面は清浄でも、フリ-または水素結合した多くの水酸基で覆われ、一部アルミニウムイオンすなわちルイス酸点が存在する。(2)メタンスルホン酸およびべンゼンスルホン酸はアルミナ表面の水酸基との脱水反応により、スルホン酸イオンの形で吸着される。また、チオ尿素およびチオアミドはルイス酸点(Al+)と分子中の窒素原子の孤立電子対との相互作用により、アルミナ表面に分子状に吸着されることがわかった。(3)アルキルベンゼンスルホネ-トまたはアルキルホスファイトのエルテル化合物は、表面水酸基との反応により分解され、アルミナ表面にアルキルスルホン酸またはアルキルリン酸イオンとして垂直に吸着される。これに対し、アルキルカルボン酸エステル2通りの分解反応を示すことが分かった。1つは、エステルのアリル基と酸素との結合の切断によるもので、アルコキシイオンがアルミナ表面のルイス酸点上に吸着されること、もう1つは、アルキル基と酸素との結合を切断し、生成したカルボン酸イオンが表面に吸着さるものである。(4)アルミナ上の蒸着シリコン薄膜には、多くのSiH_xが形成されること、また銅および鉄薄膜のトンネルスペクトルには、銅および鉄に基づく信号は観測されず、フラットなスペクトルを示した。これらは興味ある現象として、金属薄膜表面の状態解析が可能であり、今後の検討が期待される。

報告書

(3件)
  • 1991 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 1990 実績報告書
  • 研究成果

    (10件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (10件)

  • [文献書誌] 肥後 盛秀: "Surface Reaction of Dialkyl Phosphite on Alumina and Magnesia Studied by Inelastic Electron Tunneling Spectroscopy" The Journal of Physical Physical Chemistry. 94. 8709-8714 (1990)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1991 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 肥田 淳: "Surface Reaction of Methyl Sulfonates on Alumina Studied by Inelastic Electron Tunneling Spectroscopy" Chemistry Letters. 837-840 (1991)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1991 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 肥後 盛秀: "Characterization of evaporated silicon tunneling spectroscopy" Applied Surface Science. 51. 61-69 (1991)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1991 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M. HIGO and S. Kamata: ""Surface reaction of Dialkyl Phosphite on Alumina and Magnesia Studied by Inelastic Electron Tunneling Spectroscopy"" The Journal of Physical Chemistry. 94. 8709-8714 (1990)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1991 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] A. Hida, M. Higo and S. Kamata: ""Surface Reaction of Methyl Sulfonates on Alumina Studied by Inelastic Electron Tunneling Spectroscopy"" Chemistry Letters. 1991. 837-840 (1991)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1991 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M. Higo, K. Nishino and S. Kamata: ""Characterization of evaporated silicon films by inelastic electron tunneling spectroscopy"" Applied Surface Science. 51. 61-69 (1991)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1991 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 肥後 盛秀: "Surface Reaction of Dialkyl Phosphite on Alumina and Magnesia Studied by Inelastic Electron Tunneling Spectroscopy" The Journal of Physical Chemistry. 94. 8709-8714 (1990)

    • 関連する報告書
      1991 実績報告書
  • [文献書誌] 肥田 淳: "Surface Reaction of Methyl Sulfonates on Alumina Studied by Inelastic Electron Tunneling Spectroscopy" Chemistry Letters. 837-840 (1991)

    • 関連する報告書
      1991 実績報告書
  • [文献書誌] 肥後 盛秀: "Characterization of evaporated silicon films by inelastic electron tunneling spectroscopy" Applied Surface Science. 51. 61-69 (1991)

    • 関連する報告書
      1991 実績報告書
  • [文献書誌] 肥田 淳: "Surface Reaction of Methyl Sulfonates on Alumina Studies by Inelastic Electron Tunneling Spectroscopy" Chemistry Letters. (1991)

    • 関連する報告書
      1990 実績報告書

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公開日: 1990-04-01   更新日: 2016-04-21  

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