| 研究概要 |
石英ガラス表面にボロンイオンを次の様な条件で注入した。
イオンエネルギ- 注入量
1.40keV 1×10^<15>個/cm^2
2.40keV 1×10^<16>個/cm^2
3.40keV 1×10^<17>個/cm^2
4.30keV 1×10^<15>個/cm^2
5.30keV 1×10^<16>個/cm^2
ボロンを注入した石英ガラスの分光特性,表面粗さ,レ-ザ-耐力を測定した。ボロンイオン注入の石英ガラスは,波長360nm以下ではボロンによる吸収がみられた。また,表面粗さは基板と殆んで同じであり,3〜6Årmsであった。レ-ザ-耐力については,1.と2.のサンプルではレ-ザ-耐力が40%程度低下した。
このボロンイオンを注入した石英ガラスを,Na_2HSO_4,Al^<3+>,Siの混合液で表面処理し,ボロンイオンを除去し,多孔性石英ガラスの製作を試みたが,ボロンイオンをうまく除去できなかった。今後は,さらにボロンイオンを除去できる薬品を捜す必要がある。
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