• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 前のページに戻る

X線顕微鏡光学

研究課題

研究課題/領域番号 03217104
研究種目

重点領域研究

配分区分補助金
研究機関筑波大学

研究代表者

青木 貞雄  筑波大学, 物理工学系, 助教授 (50016804)

研究分担者 中山 則昭  京都大学, 理学部, 助教授 (00164369)
田中 和夫  大阪大学, 工学部, 助教授 (70171741)
山中 正宣  大阪大学, レーザー核融合研究センター, 助教授 (10029118)
有留 宏明  大阪大学, 極限物質研究センター, 助教授 (70029552)
研究期間 (年度) 1991
研究課題ステータス 完了 (1991年度)
配分額 *注記
34,600千円 (直接経費: 34,600千円)
1991年度: 34,600千円 (直接経費: 34,600千円)
キーワード斜入射X線顕微鏡 / ゾ-ンプレ-トX線顕微鏡 / 多層膜ミラ- / ウォルタ-型ミラ- / レ-ザ-プラズマX線源 / シュバルツシストX線顕微鏡 / エピタキシャル成長 / 2次元CCD
研究概要

結像型のX線顕微鏡システムを新しいX線光学素子を用いて設計,製作し,その結像特性評価を行った。光学素子として,全反射斜入射ミラ-,ゾ-ンプレ-トおよび多層膜ミラ-を採用した。
全反射斜入射X線顕微鏡光学では,照明ミラ-と対物ミラ-からなる光学系を組み立てた。対物ミラ-としてウォルタ-型ミラ-を採用し,軟X線源としてはレ-ザ-プラズマX線を採用した。倍率20倍の光学系で約600A^^°の分解能を得,実験室系の光学系では世界最高の性能を記録した。
ゾ-ンプレ-トX線顕微鏡光学では,コンデンサ-ゾ-ンプレ-トとマイクロゾ-ンプレ-トを組み合せ,レ-ザ-プラズマの40A^^°の単色X線を用い,金属メッシュ像の拡大像の撮影に成功した。
多層膜X線顕微鏡光学では,シュバルツシストミラ-を対物ミラ-とした。70A^^°の波長を用い,生体試料の撮影と金コロイドの撮影を行った。あわせて,X線ズ-ミング管の性能評価も行い,1μm以上の空間分解能が得られた。
多層膜形成の基礎過程の研究では,エピタキシャル成長するAuとNiの組み合せについて,周期長20A^^°以下の多層膜を製作し,熱的安定性と内部構造の評価を行った。また,CrN/CおよびN,N/C多層膜の構造評価を行い,X線顕微鏡用に最適な物質の組み合せについて検討した。
X線画像計測では,背面照明型CCDの特性評価を行った。軟X線領域でも充分な感度があることを示した。

報告書

(1件)
  • 1991 実績報告書
  • 研究成果

    (6件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (6件)

  • [文献書誌] K.Ninomiya,Y.Hirai,A.Momose,S.Aoki and K.Suzuki: "Microscopic x-ray photoelectron spectroscopy using a focused soft x-ray beam" J.Vac.Sci.Technol.A9. 1244-1247 (1991)

    • 関連する報告書
      1991 実績報告書
  • [文献書誌] S.Hayakawa,Y.Gohshi,A.Iida,S.Aoki and K.Sato: "Fluorescence x-ray absorption fine structure measurements using a synchrotron radiation x-ray microprobe" Rev.Sci.Instrum.62. 2545-2549 (1991)

    • 関連する報告書
      1991 実績報告書
  • [文献書誌] S.Aoki,T.Ogata,S.Sudo and T.Onuki: "Sub 100mm resolution grazing incidence soft x-ray microscope with a laser produce plasma source" To be submitted to Jpn.J.Appl.Phys.(1992)

    • 関連する報告書
      1991 実績報告書
  • [文献書誌] S.Nakai,Y.Kato,M.Yamanaka,H.Daido,et al.: "Soft X-ray Laser Experiments with GEKKO XII-Amplification,Collimation and Coherence" Bull.Am.Phys.Soc.36. 2431 (1991)

    • 関連する報告書
      1991 実績報告書
  • [文献書誌] K.a.Tanaka: "Design,Fabrication and test of Schwarzschild Soft X-ray Microscope" OSA Annual Meeting. (1991)

    • 関連する報告書
      1991 実績報告書
  • [文献書誌] N.Nakayama: "Structural Characterization of Au/Ni Multilayered Films"

    • 関連する報告書
      1991 実績報告書

URL: 

公開日: 1991-04-01   更新日: 2016-04-21  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi