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高速イオンの固体内における荷電状態の研究

研究課題

研究課題/領域番号 03452051
研究種目

一般研究(B)

配分区分補助金
研究分野 物理学一般
研究機関筑波大学

研究代表者

工藤 博  筑波大学, 物理工学系, 助教授 (40111364)

研究分担者 石原 豊之  筑波大学, 物理学系(加速器センター), 助教授 (10013385)
島 邦博  筑波大学, 物理工学系(加速器センター), 講師 (70087964)
研究期間 (年度) 1991 – 1992
研究課題ステータス 完了 (1992年度)
配分額 *注記
2,900千円 (直接経費: 2,900千円)
1992年度: 600千円 (直接経費: 600千円)
1991年度: 2,300千円 (直接経費: 2,300千円)
キーワードイオンビーム固体相互作用 / イオン励起電子分光 / イオンチャネリング / イオンビ-ム固体相互作用 / チャネリング効果
研究概要

高速イオンの固体内における相互作用を電子状態レベルで理解するためには運動中のイオンの固体内における荷電状態についての知見が必要であるが、従来はX線測定あるいは薄膜透過後の荷電測定による2、3の間接的なアプローチしか行われていなかった。このような状況にあって、本研究はイオンの固体内荷電状態を測定するための新しい手段を確立することを目的として始められた。
実験装置の関しては、真空排気系の強化により排気速度の向上を図り、加速器のマシンタイムの増加(本研究開始前の約300%)に対応することができた。さらに2次電子分析器内部のウィンドウ幅を遠隔操作化することによって加速器のビームを中断しない連続測定が可能になったので、ビームの不安定性に起因する実験誤差を避けることができた。またビームスリット系の遠隔操作によってビームの開き角0に対する測定値を求める方法を確立した。これらの実験技術の改良が本研究の発展に直接つながったことは特筆すべきである。
イオンが内殻へ電子を捕獲していればその電気的なスクリーニング効果によってイオン原子間ポテンシャルは減少し、その結果イオンビームの結晶内シャドーイング効果が弱められることが期待される。本研究ではこの効果を2体衡突過程で発生する高速(keV)2次電子測定によって検出し、原子列に沿って走るイオンの荷電状態を決定することができた。例えば、2.5MeV/uのイオンがSi単結晶内に入射して表面から20nmの深さに達するまでの荷電状態について、(i)非平衡荷電状態であること、(ii)B,C,O等の軽イオンがほぼ入射時の荷電状態を保っていること、(iii)Si,S等の重イオンは数個以上の電子捕獲を行っていること、等が見いだされた。今後、固体内イオンの荷電状態の全貌を明らかにするためには系統的なデータの蓄積が必要であろう。

報告書

(3件)
  • 1992 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 1991 実績報告書
  • 研究成果

    (18件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (18件)

  • [文献書誌] Hiroshi Kudo et al.: "Secondary electrons induced by fast ions under channeling conditions.I.Production and emission of secondary electrons." Physical Review. B43. 12729-12735 (1191)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1992 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Hiroshi Kudo et al.: "Secondary electrons induced by fast ions under channeling conditions.II.Screening of fast heavy ions in solids." Physical Review. B43. 12736-12743 (1991)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1992 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Hiroshi Kudo et al.: "Binary encounter electron spectroscopy under channeling incidence conditions." Radiation Effect and Defects in Solids. 117. 85-89 (1991)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1992 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Hiroshi Kudo et al.: "Shadowing pattern imaging with High-Energy Secondary Electrons Induced by fast Ions." Japanese Journal of Applied Physics. 31. L1284-L1286 (1992)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1992 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Hiroshi Kudo et al.: "Secondary electrons induced by fast ions under channeling conditions.III.Unshadowed electrons in target crystals." Physical Review. B47. 27-34 (1993)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1992 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Hiroshi Kudo et al.: "Surface Layer Analysis of Sputter-Etched Si Using Secondary Electrons Induced by Fast Ions." Japanese Journal of Applied Physics. 32. (1993)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1992 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 工藤 博(共著): "分析化学ハンドブック(pp.486-490「イオンビーム分析法」)" 朝倉書店, (1992)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1992 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Hiroshi Kudo et al.: "Secondary electrons induced by fast ions under channeling conditions. I. Production and emission of secondary electrons." Phys. Rev.B43. 12729-12735 (1991)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1992 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Hiroshi Kudo et al.: "Secondary electrons induced by fast ions under channeling conditions. II. Screening of fast heavy ions in solids." Phys. Rev.B43. 12736-12743 (1991)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1992 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Hiroshi Kudo et al.: "Binary encounter electron spectroscopy under channeling incidence conditions." Radiati. Eff. & Defects in Solids. 117. 85-89 (1991)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1992 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Hiroshi Kudo et al.: "Shadowing Pattern Imaging with High-Energy Secondary Electrons Induced by fast Ions." Jpn.J.Appl.Phys.31. L1284-L1286 (1992)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1992 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Hiroshi Kudo et al.: "Secondary electrons induced by fast ions under channeling conditions. III. Unshadowed electrons in target crystals." Phys. Rev.B47. 27-34 (1993)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1992 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Hiroshi Kudo et al.: "Surface Layer Analysis of Sputter-Etched Si Using Secondary Electrons Induced by Fast Ions." Jpn.J.Appl.Phys.32,5A. (1993)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1992 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Hiroshi KUDO et al: "Shadowing Pattern Imaging with High-Energy Secondary Electrons Induced by fast Ions" Japanese Journal of Applied Physics. 31. L1284-L1286 (1992)

    • 関連する報告書
      1992 実績報告書
  • [文献書誌] Hiroshi KUDO et al: "Secondary Electrons Induced by Fast Ions under Channeling Conditions III.Unshadowed Electrons in Target Crystals" Physical Review. B47. 27-34 (1993)

    • 関連する報告書
      1992 実績報告書
  • [文献書誌] H.Kudo: "Binary Encounter Electron Spectroscopy under Channeling Incidence Conditions." Radiat.Eff.Defects in Solids. 117. 85-89 (1991)

    • 関連する報告書
      1991 実績報告書
  • [文献書誌] H.Kudo: "Secondary electrons induced by fast ions under channeling conditions.I.Production and emission of secondary electrons" Phys.Rev.B43. 12729-12735 (1991)

    • 関連する報告書
      1991 実績報告書
  • [文献書誌] H.Kudo: "Secondary electrons induced by fast ions under channeling conditions.II.Screening of fast heavy ions in solids" Phys.Rev.B43. 12736-12743 (1991)

    • 関連する報告書
      1991 実績報告書

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公開日: 1991-04-01   更新日: 2016-04-21  

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