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シリコン表面における試料通電効果の反射電子顕微鏡法による研究

研究課題

研究課題/領域番号 03452077
研究種目

一般研究(B)

配分区分補助金
研究分野 応用物性
研究機関東京工業大学

研究代表者

八木 克道  東京工業大学, 理学部, 教授 (90016072)

研究分担者 箕田 弘喜  東京工業大学, 理学部, 助手 (20240757)
谷城 康眞  東京工業大学, 理学部, 助手 (40143648)
研究期間 (年度) 1991 – 1992
研究課題ステータス 完了 (1992年度)
配分額 *注記
6,600千円 (直接経費: 6,600千円)
1992年度: 2,300千円 (直接経費: 2,300千円)
1991年度: 4,300千円 (直接経費: 4,300千円)
キーワードエレクトロマイグレーション / 表面電流効果 / シリコン表面 / Si(111)相転移 / Si(111)表面相転移 / エレクトロマイグレ-ション / ステップ構造 / 通電効果
研究概要

2年間の成果を大別すると2つに分けられる。(1)Si表面上での金属原子の表面エレクトロマイグレーション(SuEMと略記)の観察結果と、(2)清浄Si表面における通電効果の研究である。
(1)については、Geの電流方向へのSuEM、Agの表面ステップに影響されたSuEM、Au-Cu2次元合金吸着構造の通電による相分離などの観察の他に、修飾表面でのSuEMを観察した。Ge修飾Si(111)表面では、清浄表面と構造および電子状態(金属的)が類似しているため、Ag,InいずれのSuEMも清浄な面の上と定性的に変わらず、マイグレーションの早さだけが、前者で10倍ほど、後者で数倍早くなった。一方、半導体的電子構造を持つSi(111)√<3>x√<3>-Ag構造表面でのInは全く移動せず、Si(111)3x1-Ag表面では僅かに移動が見られた。この様に、電流効果は下地電子構造によって大変異なることが明らかにされた。一方、光電子顕微鏡を用いた観察では、蒸着による光電子量の変化とSuEMの方向とによい相関があり、SuEMの駆動力が電界であることを示唆する結果を得た。
(2)Si(111)7x7-1x1相転移点直上では、step-up電流でステップは等間隔に配列する面(R面)、step-down電流でステップバンチング表面(B面)を作るが、相転移が始まり、ステップの上段側に僅かでも7x7構造が現れると、同じ電流方向でもB面とR面が入れ替わるのが観察された。さらに7倍構造がテラスの40-50%を占有すると、再び入れ替わり、70-80%でもう一度入れ替わった。この過程はテラス幅とステップの性格に依存し、ステップの形状揺動もステップの性格と電流方向に依存することがわかった。

報告書

(3件)
  • 1992 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 1991 実績報告書
  • 研究成果

    (24件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (24件)

  • [文献書誌] A.Yamanaka,Y.Tanishiro and K.Yagi: "Surface Electroniqration of An or Si(111) Studied by RBM" Oroering at Surfaces and Iuterfaces. 17. 215-226 (1992)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
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      1992 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Yamaguchi,Y.tanishiro and K.Yagi: "REM Sridy of Surface Slectrowigration of Ge,An-Cn and Ag on Si(111) Surfaces" Appl.Surfece Sci.60/61. 79-84 (1992)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
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      1992 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Yagi,H.Minoda,M.Shima,H.Yamaguchi: "REM Study of Surface Dy nauric Processes:Thin Filu.Growith and Surface Electroniqration" Proc.S H APEM. 48-51 (1992)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
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      1992 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Yagi,A Yamanaka and H.Yamaguchi: "Surface Slectronrigration of wetals on Si Surlaces Studicd by FEM" Surface Sci. (1993)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
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      1992 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Yamaguchi and K.Yagi: "Cuvrent Effects on Si(111) Surfaces at the Plare Tvansitian between the 7X7 and 1X1 Structures" Surface Sci. (1993)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
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      1992 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Yamaguchi,T.Ohkawa and K.Yogi: "Surface Electronrigration of Motrl Afans an Modified Si(111) Surfaces Studied by REM" Ultvauriciosropy. (1993)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
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      1992 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 八木 直道(分担.編集): "国体表面の物理" 美術出版センター, 297-308 (1992)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
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      1992 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Yagi(分担): "Electron Diffraction Technique" Oxford University Press, (1993)

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      1992 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] A. Yamanaka, Y. Tanishiro and K. Yagi: "Surface electromigration of Au on Si(III) Studied by REM" Ordering at Surfaces and interfaces. 215-226 (1992)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
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      1992 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] A. Yamanaka, Y. Tanishiro and K. Yagi: "REM Study of Surface electromigration of Ge, Au-Cu and Ag on Si(III) Surfaces" Appl. Surface Sci. 60/61. 79-84 (1992)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
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      1992 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K. Yagi, H. Minoda, M. Shima, H. Yamaguchi: "REM Study of Surface Dynamic Processes; Thin Film Growth and Surface Electro-migration" Proc. 5th APEM. 48-51 (1992)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
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      1992 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K. Yagi, A. Yamanaka and H. Yamaguchi: "Surface Electromigration of Metals on Si Surfaces Studied by REM" Surface Sci.(1993)

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      1992 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H. Yamaguchi and K. Yagi: "Current Effects on Si(III) Surfaces at the Phase Transition between the 7x7 and 1x1 Structures" Surface Sci.(1993)

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      1992 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H. Yamaguchi, T. Ohkawa and K. Yagi: "Surface Electromigration of Metal Atoms on Modified Si(III) Surfaces Studied by REM" Ultramicroscopy. (1993)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
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      1992 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] A Yamanaka,Y.Tanishiro and K.Yagi: "Surface Electro migration of An m Si(111)Studicd by REM." Ordering at Susfaces and Jutertaces(Springen). 17. 215-226 (1992)

    • 関連する報告書
      1992 実績報告書
  • [文献書誌] H.Yamaguchi,Y.Tanishiro and K.Yagi: "REM Study of Surface Electromigration of Ge,An・Cu and Agrn Si(111)Surfaces" Appl.Surlace.Sui. 60/61. 79-84 (1992)

    • 関連する報告書
      1992 実績報告書
  • [文献書誌] K.Yagi,H.Minoda,H.Shina,H.Yamaguchi: "REM Study of Surface Dynamic Processos Thin Film Growlh and Suface Slectrouigrotion" Proc.Sit.APEM. 48-51 (1992)

    • 関連する報告書
      1992 実績報告書
  • [文献書誌] K Yagi.A Yananoha and H.Yamaguchi: "Surfaes Slectrowizratim of mefcls or Si Sunfaes Studied by REM" Swface Sci. (1993)

    • 関連する報告書
      1992 実績報告書
  • [文献書誌] M.Yamahuchi and K.Yagi: "Current Effectsm Si(111)Sufaces of cho Phall Transition between to 7x7 and 1x1 Structwes" Sufase Sci. (1993)

    • 関連する報告書
      1992 実績報告書
  • [文献書誌] Hiroi Yamaguchi 他: "REM Study of Suスface Electromigration of Ge,AuーCu and Ag on Si(111)Surfaces" Appl.Surface Sci.(1992)

    • 関連する報告書
      1991 実績報告書
  • [文献書誌] Akira Yamanaka 他: "Current Effect on Clean Si(111)and(001)Surfaces." Structure of Surfaces(Springer). III. 502-504 (1991)

    • 関連する報告書
      1991 実績報告書
  • [文献書誌] Akira Yamanaka 他: "Surface Electromigration of In and Cu on Si(111)Surfaces Studied by REM" Surface Science. 242. 181-190 (1991)

    • 関連する報告書
      1991 実績報告書
  • [文献書誌] Katsumichi Yagi 他: "UHVーTEMーREM Studies of Si(111)Surfaces" Prog.Theo.Phys.(1992)

    • 関連する報告書
      1991 実績報告書
  • [文献書誌] Masashi Shima 他: "UHVーREM Studies of Homoepitaxial Growth of Si" J.Cryst.Growth. (1991)

    • 関連する報告書
      1991 実績報告書

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公開日: 1991-04-01   更新日: 2016-04-21  

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