| 研究課題/領域番号 |
03452093
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| 研究種目 |
一般研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
応用物理学一般
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| 研究機関 | 大阪大学 |
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研究代表者 |
志水 隆一 大阪大学, 工学部, 教授 (40029046)
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| 研究分担者 |
生田 孝 大阪電子通信大学, 工学部, 教授 (20103343)
高井 義造 大阪大学, 工学部, 助教授 (30236179)
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| 研究期間 (年度) |
1991 – 1992
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| 研究課題ステータス |
完了 (1992年度)
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| 配分額 *注記 |
7,000千円 (直接経費: 7,000千円)
1992年度: 1,100千円 (直接経費: 1,100千円)
1991年度: 5,900千円 (直接経費: 5,900千円)
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| キーワード | 高圧変調方式 / 能動型画像処理 / 焦点ヅレ像 / 原子レベル像 / 無収差像観察 / 表面緩和 / 球面収差補正 / 超解像度 / 吹過型電子顕微鏡 |
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| 研究概要 |
高圧変動方式による新しい能動型超解像電子顕微鏡法の開発を行った高分解能電子顕微鏡-2000CJEMの高圧に150V-0Vの変調電圧を定量させて256ステップ毎の高圧変調を100Hzでドライブさせることに成功した。
とくにこの方式の優れている点は(1)高圧中心軸調整が出来るので変調をかけているときの試料像の位置づれが防げること、(2)高速変調が可能なので実〓問処理が実現出来る、ということである。
実〓への〓問として 次の2点を中心に原子レベルの像観察を行った。
(1)〓微粒子の原子レベル像観察
約60Aﾟ〓の〓の微粒子の無収差像観察に成功した。 能動型正像処理により・位相像と〓中像を分〓して観察した。 とくに位相像は表面の原子像の正確な観察が可能になった結果、第1層(200面)が約10%緩和していることを見出した。 これに対て(111)面は緩和が殆んで見られているという意味ある結果を得た。
(2)高圧変調による高分解能像観察
JEM-200Cを用いて高圧変調方式能動型正像処理を行うことにより、〓〓収差除去高分解能像が得られることを確認した。 とくに高速変調が可能なことより、実〓問処理の実現に見直しが得られることは大きな成果である。
現在、傾斜照明法をとり入れた色収差除去について検討を進めておりS/Nの低下の欠点があるものの原理的に無収差像観察が出来ることを確かめており,球面収差と色収差の両面の除去が実現出来る見直しを得ている。ようやく1Aﾟの壁を破る〓〓る一歩をふみ出したと確信している。
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