| 研究課題/領域番号 |
03555007
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| 研究種目 |
試験研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
物理計測・光学
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| 研究機関 | 大阪大学 |
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研究代表者 |
河田 聡 大阪大学, 工学部, 教授 (30144439)
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| 研究分担者 |
有本 理恵子 (株)ニコン, 光機設計部, (研究員)
伊藤 良延 (株)ニコン, 光機設計部, マネジャー(研究員)
南 慶一郎 大阪大学, 工学部, 助手 (00221606)
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| 研究期間 (年度) |
1991 – 1993
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| 研究課題ステータス |
完了 (1993年度)
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| 配分額 *注記 |
7,300千円 (直接経費: 7,300千円)
1993年度: 500千円 (直接経費: 500千円)
1992年度: 3,400千円 (直接経費: 3,400千円)
1991年度: 3,400千円 (直接経費: 3,400千円)
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| キーワード | アキシコン / 0次ベッセルビーム / 収差 / 光リソグラフィ / ゾーンプレート / 回折格子 / アキシコン・プリズム / リソグラフィー / ベッセルビーム / フォトレジスト / レーザー走査光学システム / 光リングラフィ / J_0ビ-ム / 非回折性ビ-ム / レ-ザ走査顕微鏡 / 超長焦点深度スポット |
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| 研究概要 |
1)アキシコン・プリズムについての基礎的実験
頂角160度、直径10mmのアキシコン・プリズムを試作した。これにコリメートしたレーザー光を垂直入射させると、面内に4μmの半値全幅を保ったまま、光軸方向に50mmもの焦点深度をもつレーザービームスポット(0次ベッセルビーム)が生成されること確認した。次に、アキシコン・プリズムの走査光学系への応用を考え、アキシコン・プリズムに対して、レーザー光が斜めに入射した場合のスポットの強度変化を調べた。アキシコン・プリズムに対する、レーザー光の入射角を大きくするにつれて、0次ベッセルビームの同心円状スポットは、垂直、水平方向の4点に強度ピークを持つスポットになった。この収差について理論解析ならびにコンピュータシミュレーションを行ない、この収差がレンズの収差における偶数次の収差であること、また奇数次の収差は存在せず、それだけレンズに比べて収差に強いことがわかった。
2)アキシコン・プリズムを用いた光リソグラフィシステムの試作
アキシコン・プリズムを用いた走査光学系として、0次ベッセルビームの長焦点深度を活かした光リソグラフィシステムを試作した。実験では、フォトレジストを塗布した厚さ500μmのガラス基盤を4枚重ね、全ての基盤に同じようにパターンが記録できることを確かめた。この実験により、幅1ミクロンで、ガラス基盤3枚分、約1.5mmの深さを持つ溝を刻めることを確認した。
3)アキシコン・ゾーンプレートの試作
アキシコン・プリズムと同等の機能を持つブレ-ズド格子であるアキシコン・ゾーンプレートを試作した。試作したアキシコン・ゾーンプレートは、レジストに電子ビーム描画法を用いて製作した。格子間隔は4.79μm、ブレ-ズ角7.3度、厚み0.7μm、直径4mmである。このアキシコン・ゾーンプレートにコリメートしたレーザー光を入射させ、0次ベッセルビームが生成可能であることを確認した。
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