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超高周波帯用薄膜透磁率計の試作

研究課題

研究課題/領域番号 03555059
研究種目

試験研究(B)

配分区分補助金
研究分野 電子材料工学
研究機関名古屋大学

研究代表者

内山 晋  名古屋大学, 工学部, 教授 (40023022)

研究分担者 神保 睦子  大同工業大学, 材料科学技術研究所, 講師 (00115677)
綱島 滋  名古屋大学, 工学部, 教授 (80023323)
研究期間 (年度) 1991 – 1993
研究課題ステータス 完了 (1993年度)
配分額 *注記
5,200千円 (直接経費: 5,200千円)
1993年度: 400千円 (直接経費: 400千円)
1992年度: 1,000千円 (直接経費: 1,000千円)
1991年度: 3,800千円 (直接経費: 3,800千円)
キーワード超高周波帯 / 磁性薄膜 / 透磁率 / ストリップライン
研究概要

RFインピーダンスアナライザと平板コイルを用いて、薄膜の透磁率を決める要因である自然共鳴と渦電流損の影響の現れる周波数(数百MHz)を超えて透磁率を測定することを試みた。即ち、1〜1000MHzの周波数領域で、コイルに膜を入れる前と入れた後のインダクタンスの変化から透磁率の実数部を、抵抗の変化から虚数部を評価することを試みた。その結果、ストリップラインによる透磁率の測定値は10〜200MHzの領域の2〜5ターンのコイルを用いた結果とほぼ一致し、またこれまで報告されたことのない200MHz以上での透磁率についても、膜の飽和磁界と異方性磁界の大きさから見積もられる自然共鳴周波数を超えると急激に低下しており、この測定方法が妥当なものであることを明らかにした。さらに、非磁性層と磁性層を積層した膜の透磁率の高周波特性は、同程度の磁性層厚を持つ単層膜と比較して改善されていることを明らかにした。また、単層膜では、数十MHz以下に磁壁移動によると思われる損失が見られ、100MHz以上の高い周波数領域では損失分がブロードなピークを持ち、自然共鳴周波数の分散が著しいことがわかった。
さらに、一般に広く用いられている8の字コイル法で透磁率を測定し、RFインピーダンスメータと平板コイルとを用いて測定した透磁率と比較した。その結果、両者の測定結果はほぼ一致し、RFインピーダンスメータと平板コイルを用いた透磁率の測定法は、超高周波帯の実効透磁率の測定法として有効であることを確認した。

報告書

(4件)
  • 1993 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 1992 実績報告書
  • 1991 実績報告書
  • 研究成果

    (19件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (19件)

  • [文献書誌] M.Jimbo: "Structure and Soft Magnetic Properties of Fe/CoZr Multilayers Films" Jpn.J.Appl.Phys.30. 2756-2760 (1991)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1993 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Jimbo: "Measurement of the High Frequency Permeability Of Soft Magnetic Single- and Multilayer Films" Proc.of Internat.Colloquim on Magnetic Films and Surfaces. 56-57 (1991)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1993 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 神保睦子: "Fe/CoZr積層膜の軟磁気特性の熱安定性" 日本応用磁気学会誌. 16. 285-290 (1992)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1993 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 中町隆弘: "FeCo/Zr多層膜における軟磁気特性" 日本応用磁気学会誌. 17. 385-390 (1993)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1993 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Jimbo: "Soft Magnetic and Structural Properties of FeCo/Zr Multilayers" J.Magn.& Magn.Mater.126. 337-339 (1993)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1993 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 森島岳男: "Fe/FeCoZr多層膜の軟磁気特性" 電気学会 基礎・材料・共通部門誌(発表予定). (1994)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1993 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Jimbo, E.Sobue, S.Tsunashima and S.Uchiyama: "Structure and Soft Magnetic Properties of Fe/CoZr Multilayrs Films" Jpn.J.Appl.Phys.30. 2756-2760 (1991)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1993 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Jimbo, S.Tsunashima, M.Kumazawa and S.Uchiyama: "Measurement of the High Frequency Pemeability of Soft Magnetic Single-and Multilayr Films" Proc.of Internat.Colloquim or Magnetic Films and Surfaces. 56-57 (1991)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1993 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Jimbo, E.Sobue, S.Tsunashima, S.Uchiyama and T.Kato: "Thermal Stability of Soft Magnetic Properties of Fe/CoZr Multilayrs Films" J.Magn.Soc.Jpn.16. 285-290 (1992)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1993 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Nakamachi, M.Jimbo, S.Tsunashima, S.Uchiyama and T.Kato: "Soft Magnetic Properties of FeCo/Zr Multilayrs" J.Magn.Soc.Jpn.17. 385-390 (1993)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1993 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Jimbo, T.Nakamachi, S.Tsunashima and S.Uchiyama: "Soft Magnetic and Structural Properties of FeCo/Zr Multilayrs" J.Magn.& Magn.Mater.126. 337-339 (1993)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1993 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Morishima, M.Jimbo, S.Tsunashima and S.Uchiyama: "Soft Magnetic Properties of Fe/FeCoZr Multilayrs" The Trans.of The Inst.of Electrical Engineers of Japan submitted to A Publication of Fundamentals and Materials Society.

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1993 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 中町隆弘: "FeCo/Zr多層膜における軟磁気特性" 日本応用磁気学会誌. 17. 385-390 (1993)

    • 関連する報告書
      1993 実績報告書
  • [文献書誌] M.Jimbo: "Soft Magnetic and Structural Properties of FeCo/Zr Multilayers" J.Magn.& Magn.Mater.126. 337-339 (1993)

    • 関連する報告書
      1993 実績報告書
  • [文献書誌] 森島岳男: "Fe/FeCoZr多層膜の軟磁気特性" 電気学会基礎・材料・共通部門誌. (発表予定). (1994)

    • 関連する報告書
      1993 実績報告書
  • [文献書誌] 中町 隆弘: "FeCo/Zr多層膜における軟磁気特性" 日本応用磁気学会誌. 17. (1993)

    • 関連する報告書
      1992 実績報告書
  • [文献書誌] M.Jimbo: "Soft magnetic and structural properties of FeCo/Zr multilayers" Journal of Magnetism and Magnetic Materials. (1993)

    • 関連する報告書
      1992 実績報告書
  • [文献書誌] 神保 睦子: "Fe/CoZr積層膜の軟磁気特性の熱安定性" 日本応用磁気学会誌. 16. (1992)

    • 関連する報告書
      1991 実績報告書
  • [文献書誌] M.Jimbo: "Measurement of the High Freaguency Permeability of soft Magnetic Single and Multilayer Films" 13th International Colloguium on Magnetic Films and Surfaces. 56-57 (1991)

    • 関連する報告書
      1991 実績報告書

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公開日: 1991-04-01   更新日: 2016-04-21  

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