| 研究課題/領域番号 |
03555078
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| 研究種目 |
試験研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
電子機器工学
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| 研究機関 | 東京大学 |
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研究代表者 |
藤井 陽一 東京大学, 生産技術研究所, 教授 (00013110)
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| 研究分担者 |
尾崎 政男 東京大学, 生産技術研究所, 助手 (50194543)
荒川 泰彦 東京大学, 生産技術研究所, 助教授 (30134638)
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| 研究期間 (年度) |
1991 – 1992
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| 研究課題ステータス |
完了 (1992年度)
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| 配分額 *注記 |
7,900千円 (直接経費: 7,900千円)
1992年度: 3,300千円 (直接経費: 3,300千円)
1991年度: 4,600千円 (直接経費: 4,600千円)
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| キーワード | 表面粗さ測定系 / 3次元プロファイリング・システム / 光ファイバ干渉計 / 温度センサ / 光ファイバループ共振器 / マイケルソン干渉計 / 光位相センシング / 位相コントラスト / 表面形状形測 / 表面粗さ計測 / 光ファイバ干渉センサ / 表面プロファイル測定 / 光センサ / 光ファイバ / 光ヘテロダイン / 光干渉計 / 表面粗さ |
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| 研究概要 |
本研究の目的は、試料の表面形状を超高精度で計測し、さらには、高精度多点型の光ファイバ温度計測、光ヘテロダイン効果を用いた物体の高コントラスト3次元計測等へと発展する光ファイバ計測を技術を新たに展開することである。
この表面粗さ計測システムは、単一モード光ファイバカップラにより干渉計を構成、機械走査装置により、試料を三次元に移動し、更に、データ情報処理装置により、計測結果を自動的に出力し、0.3nmの深さ方向分解能、1μmの横方向分解能を持ち、実用的に十分な安定性を有する測定系が得られる。
更に、この研究は、光ファイバ干渉センサの計測応用の実用化をめざすものであって、とくに、単純マイケルソン干渉系と光位相センシングと同期検出システムを用いて、超高感度の表面プロファイル測定システムを実用化することを目的とする。
更に、光ファイバを用いて、多点型の温度センサをつくることができた。これは、光ファイバのループ共振器を多段に接続して得られる光ファイバ回路素子を基本してするものであるが、温度の変化に応じてその共振周波数が変動する。この変動は、光ファイバループ共振器の共振周波数を変動させるので、この情報を検出して、ファイバループの温度、引いては、そのファイバの周囲の温度を計測することができる。
このほかにも、新たに、光ファイバ共振器を利用した圧力、音響のセンサ等の新しい光ファイバセンサを開発改良する計画が新古している。
このように、この試験研究は、所期の目的を越えて、新しい光ファイバセンサの開発をおこない、その有効性を確かめたものであるということができる。
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