| 研究課題/領域番号 |
03650039
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| 研究種目 |
一般研究(C)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
物理計測・光学
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| 研究機関 | 早稲田大学 |
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研究代表者 |
菊池 順 早稲田大学, 理工学研究所, 教授 (50063665)
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| 研究分担者 |
柏木 利介 早稲田大学, 理工学研究所, 助手 (40202006)
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| 研究期間 (年度) |
1991
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| 研究課題ステータス |
完了 (1991年度)
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| 配分額 *注記 |
2,400千円 (直接経費: 2,400千円)
1991年度: 2,400千円 (直接経費: 2,400千円)
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| キーワード | 真空紫外光 / ホト・ダイオ-ド / ホト・エッチング / メッシュ型電極 / シリコン・ウェハ- |
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| 研究概要 |
我々の研究室でMITから送られて来た90μm間隔10μm幅のメッシュ・マスクを用いてAlメッシュ電極をp型シリコン上にホト・エッチング法で取り付けてその特性を調べてみた所、一応の成果を得たので、その製作方針に基いて20枚分の真空紫外光用メッシュ表面障壁型ホト・ダイオ-ドの製作を、昨年11月にレイチック社に依頼した。3月始めに試作品第一号が出来たので現在それをテスト中である。もしも、良いものができておればこの方針に従って20枚分製作することになっている。完成は4月下旬の予定である。
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