| 研究課題/領域番号 |
04234106
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| 研究種目 |
重点領域研究
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究機関 | 筑波技術短期大学 |
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研究代表者 |
堀越 源一 筑波技術短期大学, 電子情報学科, 教授 (90023697)
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| 研究分担者 |
松田 七美男 東京電機大, 工学部, 講師 (90181734)
久保田 雄輔 核融合科学研究所, 助手 (50023726)
赤石 憲也 核融合科学研究所, 助教授 (90023720)
小川 雄二郎 高エネルギー物理学研究所, 放射光実験施設, 助手 (70177145)
斉藤 芳男 高エネルギー物理学研究所, 放射光実験施設, 助教授 (00141979)
成島 勝也 高エネルギー物理学研究所, 助教授 (80092493)
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| 研究期間 (年度) |
1992
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| 研究課題ステータス |
完了 (1992年度)
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| 配分額 *注記 |
4,000千円 (直接経費: 4,000千円)
1992年度: 4,000千円 (直接経費: 4,000千円)
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| キーワード | 重力波 / レーザー干渉系 / 超高真空系 / 表面コーティング |
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| 研究概要 |
前年度はいくつかの試験用テストパイプについての、真空排気特性を比較するのに、排気時間を推定するための目安として、大気圧から10^<-5>Paに達する迄の時間(T_<-5>)を定義し、その妥当性を確認した後、各種材料と処理を変えることによって、2種類のテストパイプについてT_<-5>を測定し、材料や処理法の優劣を表すことができることの確認を行った。テストパイプのサイズは、直径150mm、長さ1000mmである。今年度は、同サイズのものを、高性能を期待されている真空溶解無酸素銅(クラス1)とステンレス銅、(SUS-316)にTiNコーティングを施したものについて用意し、これらについてガス放出特性の評価を行った。特にTiNコーティング処理は、実験室的規模では均一な特性のよい膜が得られているが、実用的なサイズのパイプの全内面に高性能のTiNを得るには、広範囲に一様な膜厚を能率良く実現すること等、技術的にも困難な問題がある。このため、専用の真空装置を用いて、装置内で対象とするパイプを一定の速度で移動させて、得られるコーティング膜厚の一定化を図った。多くの試行錯誤の結果、ほぼ一様な膜厚のコーティングが得られ、排気特性が調べられた。本年度は、上記のTiNコーティングのステンレスパイプの他、無酸素銅(クラス1)についていくつかの処理を施してテストが行われた。結果は、いずれも既に試験済みのものに比べ約%以上T_<-5>短縮され、排気性能の良さが確認された。特にTiNコーティングされた試料は最も良く、ベーキング処理なしで、無酸素銅(クラス1)をベーキング処理したものと結果とほぼ同程度であった。無処理のSUS-316パイプと比較すれば、TiNコーティングされたSUS-316パイプは、約40%のT_<-5>の減少が確認される。一方、BN表面層を形成する方法も有望であり、目下検討中である。
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