| 研究課題/領域番号 |
04302024
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| 研究種目 |
総合研究(A)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
応用物理学一般
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| 研究機関 | 北海道大学 |
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研究代表者 |
田頭 博昭 北海道大学, 工学部, 教授 (10001174)
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| 研究分担者 |
藤本 孝 京都大学, 工学部, 教授 (90026203)
橘 邦英 京都工芸繊維大学, 工芸学部, 教授 (40027925)
籏野 嘉彦 東京工業大学, 理学部, 教授 (90016121)
武部 雅汎 東北大学, 工学部, 教授 (30005392)
真壁 利明 慶応義塾大学, 理工学部, 教授 (60095651)
中村 義春 慶応義塾大学, 理工学部, 教授 (90051763)
林 眞 気体エレクトロニクス研究所(研究担当), 所長 (40024179)
近藤 敬一 阿南工業高等専門学校, 教授 (10043978)
生田 信皓 徳島大学, 工学部, 教授 (30035802)
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| 研究期間 (年度) |
1992 – 1993
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| 研究課題ステータス |
完了 (1993年度)
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| 配分額 *注記 |
3,700千円 (直接経費: 3,700千円)
1993年度: 3,700千円 (直接経費: 3,700千円)
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| キーワード | スゥオーム / 電子スゥオーム / イオンスゥオーム / 衝突断面積 / 解離 / 電子エネルギー分布 / 誘導結合プラズマ / プラズマディスプレイ / 気体エレクトロニクス / 電子スオーム / イオンスオーム / クーロン相互作用 / 緩和現象 / rf非平衡プラズマ / 電子衝突断面積 / 電子衝突 / 原子衝突 / 運動量移行断面積 / 電子-電子衝突 / 過渡特性 / 緩和特性 |
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| 研究概要 |
本研究は『電子およびイオンスゥオーム』すなわち、電界または磁界が加えられた気体中を、気体を構成する原子や分子との衝突・散乱を受けながら運動する電子あるいはイオンの夥しい数を擁する群(swarm)とその応用について解明したものである。
本研究では、研究代表者・分担者は現に携わっているそれぞれの研究を進めながら、直面する問題点を持ち寄って研究会を開催し討論を行なう形で進められた。その主要な成果はつぎのように要約される。
スゥオームを論じる場合の基礎データである衝突については、ヘリウムの電離断面積の大きさ、超励起水素分子の解離を伴う励起解消過程、プラズマ中の水素分子の解離と電離両過程の電子密度依存性が研究された。また、スゥオームパラメータから二酸化炭素、エタン、酸素の各分子の電子衝突断面積が電子エネルギーの関数として求められた。
スゥオーム特性の研究としてはラムザウァ気体中の電子エネルギー分布が二重極大をもつ条件の探求、ボルツマン方程式の衝突項の取扱い、ボルツマン方程式のマトリクス数値解析法の開発と初期緩和過程および高周波電界への適用、フライトタイムインテグラル法によるスゥオームの解析、パルスレーザ誘起光電子法による電子スゥオームパラメータの測定、トランスバースフロードリフト法や高周波フイルタ法など新しい方法によるイオンの同定、モンテカルロ法によるモノシラン中のイオンスゥオームのスゥオームパラメータの導出が行なわれた。
スゥオーム特性を応用した研究としては、誘導結合型プラズマのレラクセーションコンティニゥムモデルによる時空間特性の決定、パルス高周波放電発達の観測と解析、顕微レーザー分光法によるプラズマディスプレイパネル用放電セル中の励起原子密度の時空間分解測定、シラン系ラジカルの反応速度定数の測定が行なわれた。
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