| 研究分担者 |
古谷 克司 豊田工業大学, 工学部, 助手 (00238685)
吉本 成香 東京理科大学, 工学部, 助教授 (80096718)
内田 悦行 愛知工業大学, 工学部, 教授 (20023187)
清水 茂夫 明治大学, 理工学部, 教授 (50061982)
諸貫 信行 東京都立大学, 工学部, 助教授 (90166463)
青山 尚之 静岡大学, 工学部, 助教授 (40159306)
吉村 靖夫 東京工専, 教授 (20042682)
白石 昌武 茨城大学, 工学部, 教授 (10091860)
十合 晋一 東北学院大, 工学部, 教授 (90221431)
井澤 實 明治大学, 理工学部, 教授 (90061720)
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| 研究概要 |
1.送り要素について
(1)ボールねじ ナットの予圧制御に関して,実機への応用を可能とする基礎データを得た(深田).(2)摩擦駆動 駆動部に存在する非線形ばね特性がテーブル位置より変動する理由を明らかにした(大塚).位置決め動作をシミュレーションし,装置の設計方法を確立した(清水弘).
2.案内要素について
(1)転がり案内 各種案内が持つ位置決め特性を明らかにした(井澤).レールにミスアライメントが生じたときのテーブルの姿勢変化と摩擦特性を明らかにした(清水茂).(2)空気静圧案内 2段絞り軸受を提案し,これが無限剛性化に有効であることを理論・実験より明らかにした(十合,斎藤).サブミクロン隙間で動作する軸受を提案し,その動特性を求めた(吉本).
3.平行ばねについて
機械的な拡大機構を作成し,その特性を明らかにした(吉村).
4.センシングについて
回析モアレ法を用いた位置決め角度設定について,ハードとソフトの適正配分による精度の最適設計指針を見出した(内田).センサフュージョン法を工作機械に応用し,有効な結果を得た(白石).
5.位置決め装置
以上の研究をもとにして装置を作成し,次のような100nm(0.1μm)精度以下の高性能・超精密位置決めを達成した.
空気浮上電磁駆動リニアパルスモータの位置決め特性を得た(内田).テーブルの加速度の2階積分による位置決めが可能であることを確認した(深田).回転する超精密3自由度(z,σ,φ)位置決め機構の回転面振れ誤差を,センサ分解能まで補償しえた(青山).ナノメータ研削盤の加工点制御型微小変位台を試作し,静剛性無限大,位置決め分解能5nm,帯域80Hzを得た(古谷,大塚).サーボモータ,ボールガイド,ボールねじのオープンループ位置決め装置で,0.1μm位置決め分解能を得た(清水茂).
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