| 研究課題/領域番号 |
04352020
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| 研究種目 |
総合研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
応用物理学一般
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| 研究機関 | 名古屋工業大学 |
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研究代表者 |
奥山 文雄 名古屋工業大学, 工学部, 教授 (30024235)
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| 研究分担者 |
森川 浩志 名古屋工業大学, 工学部, 助教授 (90024314)
寺尾 光身 名古屋工業大学, 工学部, 教授 (30016109)
山本 雅彦 大阪大学, 工学部, 教授 (30029160)
蒲生 健次 大阪大学, 基礎工学部, 教授 (70029445)
長村 光造 京都大学, 工学部, 教授 (50026209)
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| 研究期間 (年度) |
1992
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| 研究課題ステータス |
完了 (1992年度)
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| 配分額 *注記 |
1,700千円 (直接経費: 1,700千円)
1992年度: 1,700千円 (直接経費: 1,700千円)
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| キーワード | イオン放射 / 電子放射 / 表面科学 / 微細材料分析 / 真空マイクロエレクトロニクス / イオン顕微鏡 / アトムプローブ |
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| 研究概要 |
本研究の目的は、国際電界放射シンポジウムの企画に要する調査研究を行うことである。
近年の電界放射(Field Emission,FE)は、物理学、化学、電子工学、材料工学等の多分野にまたがる“学際領域"の様相を呈し、関連する論文のあらわれる学術誌も多岐にわたる。このため、特定分野に偏ることなく広範囲のテーマを網羅し、また現実に則しかつ新たな展開も期待できるシンポジウムを心がけるためには、実際の企画に先立って、各種分野に活躍する研究による、それぞれの分野の動向を事前調査し、その結果を総合的に検討しなければならない。この点を踏まえ、本研究ではまず、名古屋工大を中心とする第1回会合(平成4年6月15日)において、当初調査テーマである、1.トンネル現象の理論及び実際研究の現状、2.既存FE技術の実際応用事例、3.新しいFE関連先端技術開発の現状、4.新たな関連分野の発掘、につき、具体的な取り組み方を検討すると共に、各分担研究者に、その結果を踏まえた調査研究を依頼した。次いで、平成4年12月26、27日、第2回の会合(出席人数:8人)において、それぞれの調査結果を総合的に検討し、本シンポジウムにおける主要課題ならびに重点討論項目を以下のように決定した。
1.主要テーマ
(1)電界電子顕微鏡、(2)電界イオン顕微鏡、(3)アトムプローデ質量分析、(4)走査型トンネル顕微鏡(STM)、(5)高輝度点イオン源と電子源、(6)真空マイクロエレクトロニクス(VME)、(7)光電子放射顕微鏡、ナノプローブオージェ等の隣接領域。
2.ワークショップ
超微細表面解析
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