| 研究課題/領域番号 |
04402020
|
|---|
| 研究種目 |
一般研究(A)
|
| 配分区分 | 補助金 |
|---|
| 研究分野 |
応用物理学一般
|
|---|
| 研究機関 | 名古屋工業大学 |
|---|
研究代表者 |
奥山 文雄 名古屋工業大学, 工学部, 教授 (30024235)
|
|---|
| 研究分担者 |
種村 眞幸 名古屋工業大学, 工学部, 講師 (30236715)
北 重公 名古屋工業大学, 工学部, 助教授 (60006153)
|
|---|
| 研究期間 (年度) |
1992 – 1993
|
| 研究課題ステータス |
完了 (1993年度)
|
| 配分額 *注記 |
15,800千円 (直接経費: 15,800千円)
1993年度: 1,100千円 (直接経費: 1,100千円)
1992年度: 14,700千円 (直接経費: 14,700千円)
|
|---|
| キーワード | クラスター / 新材料 / 質量分析 / 薄膜 |
|---|
| 研究概要 |
本研究は、質量分離された金属クラスター堆積システムの試作を行ったものである。成果の概要は以下の通りである。
1.全体システムの試作:本システムは、イオン源、クラスター源、四十極質量分析計、イオン検出系及び差動排気から成り、主要部は、ベークアント可能なステンレススチール製である(Fig.1)。
2.FI質量スペクトルの測定:クラスター膜堆積の成果は、クラスターの電界電離(FI)と質量スペクトルが測定されるか否かにかかる。上記装置により、LiクラスターとZnクラスターのFI質量測定を行い、次の画期的な成果が得られた。1)存在しないとされているLi_3(トリマー)の存在が確認された。2)Znダイマー群のシグナル強度分布は、Znの同位体相対存在量から予測される理論分布と異なる。特に、後者は、ダイマー形成時における同位体の組み合せに選択性があることを示唆し、科学的に極めて重要な意味をもつ。
3.Znクラスター膜の堆積:質量分離されたZn_2^+イオンをエポキシ薄膜上に堆積させることに成功した。このZn膜の構造は非晶質であり、モノマー堆積膜の多結晶構造とは基本的に異なる。クラスター堆積により、特異な構造をもつ薄膜の得られることが期待される。
|
