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差分干渉計測法

研究課題

研究課題/領域番号 04452100
研究種目

一般研究(B)

配分区分補助金
研究分野 物理計測・光学
研究機関千葉大学

研究代表者

岡田 勝行 (1993)  千葉大学, 工学部, 助教授 (00160672)

辻内 順平 (1992)  千葉大学, 工学部, 教授 (90016254)

研究分担者 本田 捷夫  千葉大学, 工学部, 教授 (10016503)
岡田 勝行  千葉大学, 工学部, 助教授 (00160672)
研究期間 (年度) 1992 – 1993
研究課題ステータス 完了 (1993年度)
配分額 *注記
6,900千円 (直接経費: 6,900千円)
1993年度: 2,300千円 (直接経費: 2,300千円)
1992年度: 4,600千円 (直接経費: 4,600千円)
キーワード干渉計測 / 精密計測 / 差分測定 / ゾーンプレート干渉計 / 絶対形状測定 / 曲率半径測定 / 球面鏡 / 絶対計測
研究概要

干渉計測法は高い精度で形状測定が行えるが、それにより得られる値は測定面の形状と参照面の形状の差である。このため、超高精度の測定を行う際などにおいて参照面の精度保持が問題である。これを解決する1つの方法として本研究では差分干渉計測法を提案した。この方法では、測定面を移動するなど条件を変えて2回測定しそれらの位相データの差をとることで参照面の影響を差し引いてしまい、絶対計測を行う方法である。この方法によれば参照面の精度によらず高い精度で測定を行える。
安定な測定のために干渉計としてゾーンプレート干渉計を採用し、特に絶対測定が重要な応用として球面の曲率半径の計測と、非球面の形状計測に関して研究を行った。その結果、以下のような成果を得た。
1、本研究で考案した、被験面移動装置にもう1つ干渉計を付加して移動の際の被験体の傾きを測定し、その値を用いて測定値を補正する新しい計測法を用いて、実験的に高精度測定が実現できることを示した。
2、差分測定において、2回の測定の際の条件を変える方法として、被験面を光軸に垂直方向に移動するのと平行に移動する場合における精度の比較と適用限界の確認を行なった結果、後者の方が移動の際の被測定面の傾きの影響がなく、移動可能な距離も長いため測定精度が向上する事が分かった。
3、球面に近い非球面形状(たとえば放物面鏡)の形状と球面の差を高精度に絶対計測するために、2回の測定の間に被測定面を、その曲率中心を中心として微少に回転させるように移動する方法を考案し、それら2回の測定の差から形状を求める方法を示した。
4、以上の研究により、実験的に1m程度の球面の半径を0.1%程度の精度で測定できることを示した。

報告書

(3件)
  • 1993 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 1992 実績報告書
  • 研究成果

    (28件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (28件)

  • [文献書誌] Katsuyuki Okada: ""Large plain surface measurement by connecting separately measured interferograms"" Proceedings of the SPIE. 1983. 953-954 (1993)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1993 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Masashi Otsubo: "Measurement of large plane surface shapes by connecting small-aperture interferograms" Optical Engineering. 33. 608-613 (1994)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
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      1993 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 本田 捷夫: "「すばる」望遠鏡の光学的測定" 精密工学会誌. 58. 37-40 (1993)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1993 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 川端 茂樹: "干渉計測における位相計算法の比較" 光学シンポジウム'93論文集. 93. 3-4 (1993)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1993 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Katsuyuki Okada: "Aberration measurement of a graded index micro cylindrical lens from the intensity distribution of a passing light beam" Optics Communications. 95. 5-10 (1993)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1993 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 劉 志強: "干渉計による球面半径の測定-誤差分析-" 光学連合シンポジウム'93論文集. 93. 9-10 (1993)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1993 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Z-Q Liu: "Measurement of radius of concave mirror by zone plate interferometer" International Commission for Optics Topical Meeting '94 Extended Abstract. (in press). (1994)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1993 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 劉 志強: "干渉計による球面半径の絶対計測" 光計測シンポジウム'94論文集. (in press). (1994)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1993 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Z-Q Liu: "Measurement of radius of concave mirrors by a zone plate intereferometer" Optics Review. (in press). (1994)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1993 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Katsuyuki Okada: ""Large plain surface measurement by connecting separately measured interferograms"" Proceedings of the SPIE. Vol.1983. 953-954 (1993)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1993 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Masashi Otsubo: ""Measurement of large plane surface shapes by connecting small-aperture interferograms"" Optical Engineering. 33. 608-613 (1994)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1993 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Katsuyuki Okada: ""Aberration measurement of a graded index micro cylindrical lens from the intensity distribution of a passing light beam"" Optics Communications. 95. 5-10 (1993)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1993 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Z-Q Liu: ""Measurement of radius of concave mirror by zone plate interferometer"" Proceedings of ICO'94. (in press).

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1993 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Z-Q Liu: ""Measurement of radius of concave mirror by a zone plate interferometer"" Optics Review, 1. (in press).

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1993 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Katsuyuki Okada: ""Large plain surface measurement by connecting separately measured interferograms"" Proceedings of the SPIE. 1983. 953-954 (1993)

    • 関連する報告書
      1993 実績報告書
  • [文献書誌] Masashi Otsubo: "Measurement of large plane surface shapes by connecting small-aperture interferograms" Optical Engineering. 33. 608-613 (1994)

    • 関連する報告書
      1993 実績報告書
  • [文献書誌] 本田 捷夫: "「すばる」望遠鏡の光学的測定" 精密工学会誌. 58. 37-40 (1993)

    • 関連する報告書
      1993 実績報告書
  • [文献書誌] 川端 茂樹: "干渉計測における位相計算法の比較" 光学連合シンポジウム'93論文集. 93. 3-4 (1993)

    • 関連する報告書
      1993 実績報告書
  • [文献書誌] Katsuyuki Okada: "Aberration measurement of a graded index micro cylindrical lens from the intensity distribution of a passing light beam" Optics Communications. 95. 5-10 (1993)

    • 関連する報告書
      1993 実績報告書
  • [文献書誌] 劉 志強: "干渉計による球面半径の測定-誤差分析-" 光学連合シンポジウム'93論文集. 93. 9-10 (1993)

    • 関連する報告書
      1993 実績報告書
  • [文献書誌] Z-Q Liu: "Measurement of radius of concave mirror by zone plate interferometer" International Commission for Optics Topical Meeting '94 Extended Abstract. (in press). (1994)

    • 関連する報告書
      1993 実績報告書
  • [文献書誌] 劉 志強: "干渉計による球面半径の絶対計測" 光計測連合シンポジウム'94論文集. (in press). (1994)

    • 関連する報告書
      1993 実績報告書
  • [文献書誌] Z-Q Liu: "Measurement of radius of concave mirrors by a zone plate interferometer" Optics Review. (in press). (1994)

    • 関連する報告書
      1993 実績報告書
  • [文献書誌] Masashi Otsubo,Katsuyuki Okada and Jumpei Teujiuchi: ""Measurement of large plane surface shape with interferometric aperture synthesis"" Technical digest of the Symposium on Optical Fabrication,'92. 52 (1992)

    • 関連する報告書
      1992 実績報告書
  • [文献書誌] Z.Q.Liu,Katsuyuki Okada and Jumpei Tsujiuchi: ""Measurement of radius of concave mirror by zone-plate interferometer"" Technical digest of the Symposium on Optical Fabrication,'92. 53 (1992)

    • 関連する報告書
      1992 実績報告書
  • [文献書誌] Katsuyuki Okada and Jumpei Tsujiuchi: ""Aberration measurement of a graded index micro cylindrical lens from the intensity distribution of a passing light beam"" Optics Communications. 95. 5-10 (1993)

    • 関連する報告書
      1992 実績報告書
  • [文献書誌] Masashi Otsubo,Katsuyuki Okada and Jumpei Tsujiuchi: ""Measurement of large plane surface shape with interferometric aperture synthesis"" Proceedings of SPIE. 1720. 444-447 (1992)

    • 関連する報告書
      1992 実績報告書
  • [文献書誌] Z.Q.Liu,Katsuyuki Okada and Jumpei Tsujiuchi: ""Measurement of radius of concave mirror by zone-plate interferometer"" Proceedings of SPIE. 1720. 448-451 (1992)

    • 関連する報告書
      1992 実績報告書

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公開日: 1992-04-01   更新日: 2016-04-21  

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