| 研究課題/領域番号 |
04453005
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| 研究種目 |
一般研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
物理化学一般
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| 研究機関 | 東京大学 |
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研究代表者 |
岩澤 康裕 東京大学, 理学部, 教授 (40018015)
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| 研究分担者 |
大西 洋 東京大学, 理学部, 助手 (20213803)
有賀 哲也 東京大学, 理学部, 講師 (70184299)
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| 研究期間 (年度) |
1992
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| 研究課題ステータス |
完了 (1992年度)
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| 配分額 *注記 |
6,800千円 (直接経費: 6,800千円)
1992年度: 6,800千円 (直接経費: 6,800千円)
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| キーワード | 高感度反射赤外分光 / 電子刺激脱離 / 固体表面 / 吸着 / Ru / Mo |
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| 研究概要 |
次世代機能素子や高度表面機能材料の作製には、分子線エピタキシー(MBE)、X線・荷電粒子線リソグラフィ等の極先端技術の確立が重要となっている。そのためには、これらの表面プロセスを支配する化学現象、特に化学反応素過程を理解しなくてはならない。しかし、従来の表面研究手法の多くは、単に組成分析のためだけのものであったり、平衡状態にある安定な表面のみを対象としたものであるため、時々刻々進行する表面反応の素過程を分子レベルで明らかにしうるものではない。本研究では、固体表面上で進行する化学反応の準安定反応中間体を捉えうる新しい表面分光法の開拓をめざし、高感度反射赤外分光法と電子刺激脱離イオン分光法を組合せた手法の開発を行ない、表面反応の基礎過程の解明を目指した。本研究者らが新たに開発した飛行時間フーリェ変換型イオン分光器を完成させた後、やはり新たに製作した超高真空対応2軸回転機構に搭載して、超高真空槽内に設置した。飛行時間フーリェ変換型イオン分光器は静電型分析器の低エネルギーにおける分解能の悪さ、通常の飛行時間型の検出効率の低さを同時に克服するものであり、本研究者らの独自の考案によるものである。また、フーリェ変換型赤外分光光度計を利用して、高感度反射赤外分光装置を設計製作した。この超高真空槽には、ほかに表面構造解析のための低速電子回折装置、昇温脱離測定のための四重極質量分析計、直視型電子刺激脱離装置などが設置されている。予備実験として、Ru(001)上に吸着した一酸化炭素の電子刺激脱離の測定を行った。また、Ru(001)表面上における一酸化炭素とメチルアミン、アセチレンなどとの共吸着過程、Mo(112)表面の酸素による化学修飾に関する研究を進めた。
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