| 研究課題/領域番号 |
04555154
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| 研究種目 |
試験研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
金属物性
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| 研究機関 | 東北大学 |
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研究代表者 |
宝野 和博 東北大学, 金属材料研究所, 助手 (60229151)
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| 研究分担者 |
桜井 利夫 東北大学, 金属材料研究所, 教授 (20143539)
君島 文雄 日本真空技術, 超高真空事業部, 事業部長
BABU Suresh 東北大学, 金研, 助手 (30241574)
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| 研究期間 (年度) |
1992 – 1994
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| 研究課題ステータス |
完了 (1994年度)
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| 配分額 *注記 |
14,700千円 (直接経費: 14,700千円)
1994年度: 300千円 (直接経費: 300千円)
1993年度: 1,300千円 (直接経費: 1,300千円)
1992年度: 13,100千円 (直接経費: 13,100千円)
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| キーワード | アトムプローブ / 電界イオン顕微鏡 / FIM / APFIM / 三次元アトムプローブ / ナノ構造 |
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| 研究概要 |
金属材料中の合金元素を原子レベルの空間分解能をもって三次元マップとして表示し、かつその任意の超微細領域の定量分析を行なうことのできるユニークな分析装置である三次元アトムプローブFIMを試作し、その性能を評価した。まず高い質量分解能で質量分析を行うことにできるリフレクトロンタイプの飛行時間型アトムプローブFIMを試作し、この鏡体に位置敏感型検出器を取り付け、さらに三次元アトムプローブとして作動させるためのエレクトロニクスならびにソフトウエアーの開発を行い、複合型の三次元アトムプローブを完成させた。標準試料を用いて装置の性能評価を行った後、この装置を直ちにCo-Cr磁性薄膜やFe-Zr-Bナノ結晶材料の微細構造解析に応用し、微細構造に関する多くの重要な知見を得た。特にCo-Cr合金薄膜の解析においてはナノメーターレベルの強磁性相の形態を三次元的に可視化し、さらにその部分の濃度を定量的に解析することに成功し、Co-Cr薄膜成長過程における微細組織形成のメカニズムを明らかにした。またFe-Zr-Bナノ結晶磁性材料においては非晶質相の結晶化により溶質原子が異相間に分配される様子を定量的に解析し、ナノ結晶形成のメカニズムを解明した。さらに巨大磁気抵抗をしめすグラニュラー型Cr-Fe合金の微細組織を解析し、これにより、磁気抵抗発現のメカニズムを解明した。現在この装置を用いてさらに多くの実用金属材料のナノレベルでの微細組織解析を進めている。
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