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電気化学堆積法による化合物半導体のエピタキシャル成長

研究課題

研究課題/領域番号 04650021
研究種目

一般研究(C)

配分区分補助金
研究分野 応用物性
研究機関鳥取大学

研究代表者

松浦 興一  鳥取大学, 工学部, 助教授 (70029122)

研究期間 (年度) 1992 – 1993
研究課題ステータス 完了 (1993年度)
配分額 *注記
2,100千円 (直接経費: 2,100千円)
1993年度: 500千円 (直接経費: 500千円)
1992年度: 1,600千円 (直接経費: 1,600千円)
キーワード化合物半導体 / セレン化亜鉛 / 硫化亜鉛 / 電気化学堆積 / 単結晶成長 / エピタキシャル成長 / 発光ダイオード / アモルファス / 電気化学堆積法 / 自由励起子エネルギー / X線光電子分光 / X線回折 / サイクリックボルタンメトリー / 還元電位
研究概要

1昇華法によるZnSe単結晶成長
necked-ampouleの先端部に細管を取り付けることにより、核形成を容易になることが分かった。これを用いて、11×11×10mm^3のZnSe単結晶を成長させた。(400)面の二結晶X線ロッキング曲線の半値幅は14秒で、きわめて良質の結晶が成長し,エピタキシャル成長基板として用いることができる。
2ZnS単結晶成長
ヨウ素輸送法で、2.8gの立方晶バルク単結晶成長に成功した。自由励起子エネルギーの温度依存性は、E=3.8044-9.0×10-^4T^2/(T+450.8)で表されることが明らかになった。
3電気化学堆積法によるZnSe膜堆積
(1)Se溶液とZn-NTA溶液あるいはZn-EDTA溶液の混合溶液で、カソード電極のTi金属あるいはn-ZnSe単結晶基板にZnSeを堆積した。
Znの還元電位(約-1.3〜-1.4V vs Ag/AgCl)より負側の電位でZnSeが堆積する。
(2)Ti金属上での堆積膜は、アモルファス状態である。
(3)n-ZnSe基板にZnSeを堆積して、室温で青色発光する発光ダイオードを作製した。堆積膜は、高品質のZnSe結晶で、エピタキシャル成長の可能性がある。

報告書

(3件)
  • 1993 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 1992 実績報告書
  • 研究成果

    (14件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (14件)

  • [文献書誌] 古城秀彦: "ヨウ素輸送法によるZnS結晶成長" 日本結晶成長学会誌. 19. 48-48 (1992)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1993 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 松浦興一: "電気化学堆積法によるZnSe膜の成長と青色発光ダイオードの作製" 日本結晶成長学会誌. 19. 56-56 (1992)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1993 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 中野紀夫: "MOCVDによるZnSe/GaAs(100)の表面欠陥の構造" 日本結晶成長学会誌. 19. 62-62 (1992)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1993 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 松浦興一: "立方晶ZnS結晶成長とその光学的測定" 日本結晶成長学会誌. 20. 47-47 (1993)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1993 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 松浦興一: "電気化学堆積法によるZnSe膜成長-サイクリック・ボルタモグラムによる研究-" 日本結晶成長学会誌. 20. 108-108 (1993)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1993 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Kojyou, S.Iose, H.Ueta, N.Nakano, K.Matsuura and Y.Ohnishi: "ZnS Crystal Growth by I_2-Transport Method" Jurnal of Japanese Association of Crystal Growth. 19-1. 48-48 (1992)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1993 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Matsuur, H.Watanabe and F.Takeda: "Growth of ZnSe Films and Fabriction of Diodes Emitting Blue Light by Electrochemical Deposition" Jurnal of Japanese Associatin of Crystal Growth. 19-1. 56-56 (1992)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1993 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] N.Nakano, T.Nishikubo, k.Matsuura and H.Ishihara: "Structure of Surface Defects of ZnSe/GaAs (100) by MOCVD" Journal of Japanese Association of Crystal Growth. 19-1. 62-62 (1992)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1993 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Matsuura, H.Kojyou and N.Nakano: "Crystal Growth of Cubic ZnS and Their Optical Properties" Journal of Japanese Association of Crystal Growth. 20-2. 47-47 (1993)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1993 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Matsuura, H.Ishihara and N.Nakano: "Growth of ZnSe Films by Electrochemical Deposition - Study by Cyclic Voltammogram -" Journal of Japanese Association of Crystal Growth. 19-1. 108-108 (1993)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1993 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 松浦興一: "立方晶ZnS結晶成長とその光学的測定" 日本結晶成長学会誌. 20. 47-47 (1993)

    • 関連する報告書
      1993 実績報告書
  • [文献書誌] 松浦興一: "電気化学堆積法によるZnSe膜成長-サイクリックボルタモグラムによる研究-" 日本結晶成長学会誌. 20. 48-48 (1993)

    • 関連する報告書
      1993 実績報告書
  • [文献書誌] 古城 秀彦: "ヨウ素輸送法によるZnS結晶成長" 日本結晶成長学会誌. 19. 49-49 (1992)

    • 関連する報告書
      1992 実績報告書
  • [文献書誌] 松浦 興一: "電気化学堆積法によるAnSe膜の成長と青色発光ダイオードの作製" 日本結晶成長学会誌. 19. 56-56 (1992)

    • 関連する報告書
      1992 実績報告書

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公開日: 1992-04-01   更新日: 2016-04-21  

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