| 研究概要 |
1.静圧気体潤滑直進案内面の運動精度特性の理論解析法の確立
うねり製作誤差が存在する対向レール面上を静圧気体潤滑直進案内面パッドが移動するときの,各パッド位置でのパッド浮上量および傾き角を求めて,パッドの運動をシミュレーションする計算機プログラムを作成した。また,等価すきまの概念を導入して,計算時間を大幅に節約でき,さらにうねりのピッチが小さくなった場合等にも対応できるような理論解析モデルを確立した。
2.直進案内面の運動精度特性の理論解析
対向レール面のうねりのピッチの大きさに注目して,静圧気体潤滑直進案内面パッドの運動精度特性を理論的に解析した。その結果,うねりのピッチとパッド長さの比が運動精度特性に大きく影響すること,この比の値の変化とともに平行変位の振れが大きくなる場合と角度変位の振れが大きくなる場合が交互に現われること,うねりのピッチが小さくなってもパッドの振れは残ること等を明らかにした。
3.直進案内面の運動精度特性の実験的検討
静圧気体潤滑直進案内面実験装置を試作し,運動精度特性を実験的に検討した。レール面には,うねり製作誤差を模擬して,ステップを設けた。ステップのピッチ,絞りの形式等を変化させて行った実験結果は理論結果とよく一致し,理論解析手法の妥当性を確認できた。
4.静圧気体潤滑直進案内面の運動精度特性に関与する製作誤差特性量の抽出
すきま内流れの特性の本質を捉えたパッド運動精度特性簡易解析モデルをもとにして,パッドの運動精度を支配する特性量を抽出することを試みた。そして,すきま分布が与えられれば,定性的なパッド運動精度特性はこの特性量から推定できることを確認した。
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