Si単結晶薄膜成長中における光電子スペクトル強度の振動に関する基礎的研究

• 研究課題/領域番号: 04750002
• 研究種目: 奨励研究(A)
• 配分区分: 補助金
• 研究分野: 応用物性
• 研究機関: 東北大学
• 研究代表者: 遠田 義晴 東北大学, 電気通信研究所, 助手
• 研究期間 (年度): 1992
• 研究課題ステータス: 完了 (1992年度)
• 配分額: 1,100千円 (直接経費: 1,100千円); 1992年度: 1,100千円 (直接経費: 1,100千円)