| 研究課題/領域番号 |
04J03388
|
|---|
| 研究種目 |
特別研究員奨励費
|
| 配分区分 | 補助金 |
|---|
| 応募区分 | 国内 |
|---|
| 研究分野 |
マイクロ・ナノデバイス
|
|---|
| 研究機関 | 東北大学 |
|---|
研究代表者 |
佐藤 大祐 東北大学, 大学院工学研究科, 特別研究員(DC1)
|
|---|
| 研究期間 (年度) |
2004 – 2006
|
| 研究課題ステータス |
完了 (2006年度)
|
| 配分額 *注記 |
2,800千円 (直接経費: 2,800千円)
2006年度: 900千円 (直接経費: 900千円)
2005年度: 900千円 (直接経費: 900千円)
2004年度: 1,000千円 (直接経費: 1,000千円)
|
|---|
| キーワード | マイクロリアクタ / マイクロエゼクタ / マイクロバルブ / CFD / 感圧塗料 / 静電バルブ / 低圧力損失 / 水蒸気改質 |
|---|
| 研究概要 |
本研究では半導体微細加工技術を用いて実現したマイクロリアクタでブタンを水素に改質するシステムを研究する。本年度は自立マイクロリアクタの要素のマイクロエゼクタ、マイクロバルブについて研究を行った。
マイクロエゼクタはエゼクタの出口の圧力が大気圧から数十Pa上昇すると空気供給能力が急激に低下する問題がある。この問題を解決するため感圧塗料を用いてエゼクタ内の流れを観察し、それを基にしてCFDによる解析を行う。感圧塗料は、気体中の酸素濃度によって発光強度が変化するという特徴を有している。そのため、ブタンガスの濃度が高くなると混合ガス中の酸素濃度は変化することから混合状態を観察できる。今回は、感圧塗料を使用してエゼクタ内の酸素濃度圧を観察した。実験により、ノズル内の酸素濃度画像を得ることができた。得られた画像および実験結果とCFD解析の解析結果の比較により、マイクロエゼクタのCFD解析の解析モデルには層流モデルが適していることがわかった。感圧塗料によって得られた解析モデルを使用してマイクロエゼクタの解析を行った。解析結果から、マイクロエゼクタは25%の性能向上が見込める。
マイクロバルブはコルゲートダイヤフラム、静電バルブによって構成されている。本年度は静電バルブの改良を行った。静電バルブはストッパーがシリコンのエッチング中に剥離、電圧を印加すると放電する問題があった。そこで、ストッパーにアルカリエッチング保護膜を成膜した。保護膜によってストッパーの剥離は起きなくなった。また、電極を金属からITOにすることで放電しにくくした。
|
