| 研究概要 |
本研究の目的は、エキシマーレーザーアブレーションによって物質表面から瞬間的に各種ラジカルビームが発生することに着目し、それにレーザー誘起蛍光法(LIF)を適用して、発生したビームを表面との相互作用の研究を行なうものである。これまで我々はYBCO高温超伝導膜生成プロセスに適用し、Y,Ba,Cu,YO,BaO,CuO等のビームのふるまいについて研究してきた。これらの成果をもとに、各種ラジカルビームの生成に本方法を適用してゆく。本年度行なった研究は以下の通りである。
1)YBCOアブレーションプロセスについては、YOラジカルビームについてO_2緩衡ガスとの衝突のダイナミックス、基板との相互作用、微粒子の発生についてより詳細な観測を行なった。
2)アルミナセラミックスをアブレイトした時に発生するAl原子ビームのTOF速度分布計測を行ない、酸素との反応について研究した。
3)各種ポリマーのアブレイトを試みたが今のところC_2ラジカルビームのみしか観測していない。今後はさらに多原子のラジカル(CH,CH2,CF等)の観測を行なってゆきたい。
LIF観測系についても次年度は現在のアレイディテクターからCCDカメラに換え、2次元のTOFイメージングを試みる予定である。
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