| 研究概要 |
低エネルギー電子と分子の衝突過程では、電子が一時的に分子に捕えられ、短寿命負イオン状態(共鳴状態)を形成する事がある。この過程は、衝突電子のエネルギーに強く依存し、分子の振動状態と深く関わり、分子の解離付着過程に大きな効果をもたらす。本研究は孤立分子系と、固体表面上に吸着した分子系とにおける、短寿命負イオン状態生成の比較を行うことを目的にした。
孤立分子系については、GeH_4,Si_2H_6,C_3H_6,C_3H_4,C_2F_6,NF_3,の各気相分子と低エネルギー電子衝突で、分子の振動励起断面積に、短寿命負イオン状態が、共通に現われることを観測することに成功した。また、分子の対称性、角相関理論を適用することで、それら負イオン状態の電子状態を組織的に解析し、負イオン状態生成機構で多くの新しい知見を得ることができた。結果は、論文として発表した。
吸着分子系については、既存の装置に本年度の計画に従い、装置の増設、改良を行った。代表的なエッチング分子NF_3について予備実験を現在進めており、途中経過を日本物理学会で発表する。
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