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クーロン・ブロッケードを利用したナノパワー超高速エレクトロニクスの研究

研究課題

研究課題/領域番号 05302035
研究種目

総合研究(A)

配分区分補助金
研究分野 電子デバイス・機器工学
研究機関東洋大学

研究代表者

菅野 卓雄  東洋大学, 工学部, 教授 (50010707)

研究分担者 谷口 研二  大阪大学, 工学部, 助教授 (20192180)
佐々木 昭夫  京都大学, 工学部, 教授 (10025900)
長谷川 英機  北海道大学, 工学部, 教授 (60001781)
青柳 克信  理化学研究所, 半導体工学研究室, 主任研究員 (70087469)
村山 洋一  東洋大学, 工学部, 教授 (40057956)
研究期間 (年度) 1993 – 1994
研究課題ステータス 完了 (1994年度)
配分額 *注記
4,800千円 (直接経費: 4,800千円)
1994年度: 1,700千円 (直接経費: 1,700千円)
1993年度: 3,100千円 (直接経費: 3,100千円)
キーワードクーロン・ブロッケード / ナノ・パワー・エレクトロニクス / 超高速エレクトロニクス / 単電子トランジスタ / 単電子エレクトロニクス / トンネル現象 / シングル・エレクトロニクス
研究概要

平成5年度、6年度を通じ合計8回の研究会を開催し、クーロンブロッケードを利用した電子デバイス、及びそれを用いて構成させる集積回路の特性、特に消費電力と信号伝搬時間について検討を行った。その結果、従来提案されていた単電子トランジスタの構造では室温動作を可能にし、且つファン・アウトを大きくとるために利得を大きくとろうとすると、電極寸法が極めて小さくなって実現不可能な寸法になるが、2重障壁構造を有する単電子トランジスタにすることにより、この問題点が解決できる見通しのあることが判明した。またこの構造を用いることにより、cotunellingの確率も小さくなり、単電子トランジスタの動作を信頼性の高いものとすることも期待されることが明らかになった。
尚利得の問題は信号の担体がそれ自身で信号の伝達経路も決定していく、現在の論理回路の構成に問題があることに鑑み、単電子信号を信号のメッセンジャとする2分決定グラフのデバイス化により、この問題が解決できると共に、単電子回路としてユニークな構成をとり得ることが判明した。
これらの結果を総合することにより、電子のトンネル現象のクーロンブロッケードを利用したナノ・パワー・エレクトロニクスについて、具体的な新しい展望をもつことが可能になった。
また、トンネル現象の動的特性について、誘起電荷も考えることにより、金属電極で狭まれたトンネル障壁と半導体電極で狭まれたトンネル障壁とで異なった特性が生ずることも明らかになり、また、量子ドットを含む系に磁界を加えることにより、Magneto-Coulomb振動も観測できることも明らかになった。
これらの物理的な基礎研究は単電子トランジスタの動的特性の理解に役立つと考えられる。

報告書

(3件)
  • 1994 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 1993 実績報告書
  • 研究成果

    (58件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (58件)

  • [文献書誌] Y.Ochiai: "Interference Area of Umiversal Conductance Fluctuation in Narrow GaAs/AlGaAs Wires" Jpn.J.Apple.Phys.32. 528-531 (1993)

    • 関連する報告書
      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Onishi: "Conducttance fluctuations in a quasi-ballistic narrow wire confined by split metal gates" Physica B. 184. 351-354 (1993)

    • 関連する報告書
      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Onishi: "Scaling properties of universal conductance fluctuations in quasi-ballistic split gate wires:Probing geometory effects" Phys.Rev.B48(16). 12353-12356 (1993)

    • 関連する報告書
      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Ishibashi: "Transmission Properties of Quantum Dots at High Magnetic Fields" Jpn.J.Appl.Phys.32/12B. 6246-6250 (1993)

    • 関連する報告書
      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] J.P.Bird: "Experimental Studies of Electronic Transport in Semiconductor Quantum Dot Structures" Solid State Electronics. 37. 709-712 (1994)

    • 関連する報告書
      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] J.P.Bird: "Magneto-Coulomb Oscillations" Phys.Rev.B49. 11488-11491 (1994)

    • 関連する報告書
      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 谷口 研二: "単一電子トンネル現象を用いた電子デバイスの可能性" 電気学会誌. 114. 371-375 (1994)

    • 関連する報告書
      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Hashizume: "Process-Induced Defects in InP Caused by Chemical Vapor Deposition of Surface Passivation Dielecrics" Jpn.J.Appl.Phys.33/1B. 727-733 (1994)

    • 関連する報告書
      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] G.Schweeger: "Fabrication and Characterisation of Direct Schottky Contacts to Two-Dimensional Electron Gas in GaAs/AlGaAsQuantum Wellls." Jpn.J.Appl.Phys.33/1B. 779-785 (1994)

    • 関連する報告書
      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] N.-J.Wu: "Formation of Oxide-Free Nearly Ideal Pt/GaAs Schottky Barriers by Novel In Situ Photopulse-Assisted Electrochemical Process" Jpn.J.Appl.Phys.33/1B. 936-941 (1994)

    • 関連する報告書
      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Hashizume: "A Novel In-situ Electrochemlical Technology for Formation of Oxide-and Defect-Free Contacts to GaAs and Related Low-Dimensional Structures" J.Vacuum Science & Technology B. 12-4. 2660-2666 (1994)

    • 関連する報告書
      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Y.Ishikawa: "Macroscopic Electronic Behavior and Atomlic Arrangements of GaAs Surfaces Immersed in HCl Solution" J.Vacuum Science & Technology B Second Series. 12-4. 2713-2719 (1994)

    • 関連する報告書
      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] J.P.Bird: "Observation of Aharonov-Bohm Oscillation in the Magnetoresistance of a GaAs/AlGaAs Quantum Dot" Jpn.J.Appl.Phys. 2509-2510 (1994)

    • 関連する報告書
      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] J.P.Bird: "Coulomb Blockade of the Aharonov-Bohm effect in GaAs/AlGaAs Quantum Dot" Phys.Rev.B50. 14983-14990 (1994)

    • 関連する報告書
      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] J.P.Bird: "The Spectral Characteristics of Conductance Fluctuations in Ballistic Quantum Dots" Phys.Rev.B50. 18678-18681 (1994)

    • 関連する報告書
      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Stopa: "Magneto-Coulomb Oscillations in GaAs-AlGaAs Quantum Dot Structures" Superlattices and Microstructures22GD16:15. 99-103 (1994)

    • 関連する報告書
      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] J.P.Bird: "Giant Backscattering Resonances in the Magncto-resistance of GaAs/AlGaAs Quantum Dots" Superlattices and Microstructures22GD17:16. 161-164 (1994)

    • 関連する報告書
      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 桑野 信博: "単一電子論理回路のシュミレーション" 電子情報通信学会論文誌C-II IEICE77-C-II. 221-228 (1994)

    • 関連する報告書
      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 桑村信博: "単-電子論理回路のシミュレーション" 電子情報通信学会論文誌C-ll IEICE77-C-ll. NO.5. 221-228 (1994)

    • 関連する報告書
      1994 実績報告書
  • [文献書誌] 谷口研二: "単一電子トンネル現象を用いた電子デバイスの可能性" 電気学会誌. 114. 371-375 (1994)

    • 関連する報告書
      1994 実績報告書
  • [文献書誌] J.P.Bird: "Experimental Studies of Electronic Transport in Semiconductor Quantum Dot Structures" Solid State Electronics. 37. 709-712 (1994)

    • 関連する報告書
      1994 実績報告書
  • [文献書誌] J.P.Bird: "Magneto-Coulomb Oscillations" Phys.Rev.B49. 11488-11491 (1994)

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      1994 実績報告書
  • [文献書誌] J.P.Bird: "Observation of Aharonov-Bohm Oscillation in the Magnetoresistance of a GaAs/A1GaAs Quantum Dot" Jpn.J.Appl.Phys. 2509-2510 (1994)

    • 関連する報告書
      1994 実績報告書
  • [文献書誌] J.P.Bird: "Coulomb Blockade of the Aharonov-Bohm effect in GaAs/A1GaAs Quantum Dot" Phys.Rev.B50. 14983-14990 (1994)

    • 関連する報告書
      1994 実績報告書
  • [文献書誌] J.P.Bird: "The Spectral Characteristics of Conductance Fluctuations in Ballistic Quantnm Dots" Phys.Rev.B50. 18678-18681 (1994)

    • 関連する報告書
      1994 実績報告書
  • [文献書誌] M.Stopa: "Magneto-Coulomb Oscillations in GaAs-A1GaAS Quantum Dot Strucures" Superlattices and Microstructures. 15. 99-103 (1994)

    • 関連する報告書
      1994 実績報告書
  • [文献書誌] J.P.Bird: "Giant Backscattering Resonances in the Magneto-resistance of GaAs/A1GaAs Quantum Dots" Superlattices and Microstructures. 16. 161-164 (1994)

    • 関連する報告書
      1994 実績報告書
  • [文献書誌] T.Hashizume: "Process-Induced Defects in InP Caused by Chemical Vapor Deposition of Surface Passivation Dielectries" Jpn.J.Appl.Phys.33/IB. 727-733 (1994)

    • 関連する報告書
      1994 実績報告書
  • [文献書誌] G.Schweeger: "Fabrication and Characterisation of Direct Schottky Contacts to Two-Dimensional Electron Gas in GaAs/A1GaAs Quantum Wells." Jpn.J.Appl.Phys.33/1B. 779-785 (1994)

    • 関連する報告書
      1994 実績報告書
  • [文献書誌] N.-J.Wu: "Formation of Oxide-Free Nearly Ideal Pt/GaAs Schottky Barriers by Novel In Situ Photopulse-Assisted Electrochemical Process" Jpn.J.Appl.Phys.33/1B. 936-941 (1994)

    • 関連する報告書
      1994 実績報告書
  • [文献書誌] T.Hashizume: "A Novel In-situ Electrochemical Technology for Formation of Oide-and Defect-Free Contactsto GaAs and Related Low-Dimensional Structures" J.Vacuum Science&Technology B. 12-4. 2660-2666 (1994)

    • 関連する報告書
      1994 実績報告書
  • [文献書誌] Y.Ishikawa: "Macroscopic Electronic Behavior and Atomic Arrangements of GaAs Surfaces Immersed in HCI Solution" J.Vacuum Science&Technology B Second Series. 12-4. 2713-2719 (1994)

    • 関連する報告書
      1994 実績報告書
  • [文献書誌] R.Notzel: "Atomic Force Microscopy Study of Strained In GaAs Quantum Disks Selforganizing on GaAs (nll)B Substrates" Appl.Phys.Leet.65. 2854-2856 (1994)

    • 関連する報告書
      1994 実績報告書
  • [文献書誌] T.Sugano: "Future Prospects of MOS Devies for LSI." IEICE Trans.Electronics. E76-C. 1029-1033 (1993)

    • 関連する報告書
      1993 実績報告書
  • [文献書誌] Y.Murayama: "Structures of Au and Ti thin films formed at the interface with Si by the plasma process." Thin Solid Films. 228. 105-108 (1993)

    • 関連する報告書
      1993 実績報告書
  • [文献書誌] M.Ishii: "Digital Etching Using Kr F Excimer Laser" Jpn J.Appl.Phys.32. 6178-6181 (1993)

    • 関連する報告書
      1993 実績報告書
  • [文献書誌] 石橋幸治: "半導体ナノ構造における電子輸送" 応用物理. 63. 104-115 (1994)

    • 関連する報告書
      1993 実績報告書
  • [文献書誌] K.Ishibashi: "Transmission properties of quantum dots at high magnetic field" Jpn.J.Appl.Phys. 32. 6246-6250 (1993)

    • 関連する報告書
      1993 実績報告書
  • [文献書誌] H.Hasegawa: "In Situ Characterization and Control of Compound Semiconductor Interfaces" Phil.Trans.R.Soc.Lond.A. 344. 587-595 (1993)

    • 関連する報告書
      1993 実績報告書
  • [文献書誌] T.Ohmi: "Evaluating the Large Electromigration Resistance of Cupper Inter-connect Employing a Newly Developed Accelerated Life-Test Method" Journal of Electrochemical Society. 140. 1131-1137 (1993)

    • 関連する報告書
      1993 実績報告書
  • [文献書誌] G.Schweeger: "Fabrication and Characterisation of Direct shottky Contacts to two-Dimensional Electron Gas in GaAs/AlGaAs Quantum Wells." Jpn.J.Appl.Phys.Vol.33 Part1 No18. 779-785 (1994)

    • 関連する報告書
      1993 実績報告書
  • [文献書誌] S.Koshiba: "Formation of GaAs ridge quantum wire structures by molecular beam epitax on patterned substrates" Apply Physics Letters. 64(3). 363-365 (1994)

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      1993 実績報告書
  • [文献書誌] T.Inoshita: "Correlated electron transport though a quantum dot:the multi-level effect" physical Revew B. 48(19). 14725-14728 (1993)

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      1993 実績報告書
  • [文献書誌] K.Tsutsul,E.L.Hu and C.D.W.Wilkinson: ""Controlling the profile of nanostructures"" J.Vacuum Science & Technology. B11. 2233-2236 (1993)

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      1993 実績報告書
  • [文献書誌] M.Takakuwa: "The analysis of waveguideing effects on the minimumtransferagle linewith of an Ultragine X-raymasK" IEICE Trans.Electron.E76-C. 594-599 (1993)

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      1993 実績報告書
  • [文献書誌] H.Iwano: "Fabrication and carrier transport phenomena of one-dimensional quantum wires of p-type Si." J.Vac.Sci.Technol.1. 61-65 (1993)

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      1993 実績報告書
  • [文献書誌] Y.Nabetani: "Intial Growth Stage and Optical Property of 3D InAs Structuer on GaAs" Journal of Applied Physics.(1994)

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      1993 実績報告書
  • [文献書誌] M.Yamaguchi: "Novel Method of Modulation Spectroscopy for Heterostructures: Electro-Photoreflectrance" Japanese Journal of Applied Physics. 32. 1259-1261 (1993)

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      1993 実績報告書
  • [文献書誌] 桑村,信博: "単一電子論理回路のシュミレーション" 電子情報通信学会論文誌. J77. (1994)

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      1993 実績報告書
  • [文献書誌] J.Yamamoto: "Digital etching study and fabrication of fine Si lines and dots" Thin Soid Films. 225. 124-129 (1993)

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      1993 実績報告書
  • [文献書誌] M.Lutwyche: "Estimate of Ultimate Performance of the Single Electron Transistor" J.Appl.Plup.(1994)

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      1993 実績報告書
  • [文献書誌] H.Matsuoka: "Coulomb blockade in the inversion layer of a Si metal-oxide-semiconductorfield-effect transistor with a dual-gate structure" Applied Physics Letters. 64. 586-588 (1994)

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      1993 実績報告書
  • [文献書誌] S.Iwabuchi: "Coulomb Blockade in Ultrasmall Double Tunnel Junctions with External Circuits" (1994)

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      1993 実績報告書
  • [文献書誌] K.Nomoto: "Novel Logic Divice Using Coupled Quantum Dots" Electronics Letters. 1380-1381 (1993)

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      1993 実績報告書
  • [文献書誌] 難波進編: "メゾスコピック現象の基礎" オーム社, 323 (1994)

    • 関連する報告書
      1993 実績報告書
  • [文献書誌] T.Sakamato: "Proceedings of JRDC Internation Symposium on Nanostructures & Quantum Effects" Springer-verlag, (1994)

    • 関連する報告書
      1993 実績報告書
  • [文献書誌] 榊裕之共著: "先端デバイス材料ハンドブック" 電子情報通信学会, 700 (1993)

    • 関連する報告書
      1993 実績報告書
  • [文献書誌] H.Noguchi: "Phonons in Semiconductor Nanoctructures" Kluer Academic Publishers(Netherlands), 509 (1993)

    • 関連する報告書
      1993 実績報告書

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公開日: 1993-04-01   更新日: 2016-04-21  

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