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走査型反射電子線ホログラフィー電子顕微鏡法(SREHM)の開発

研究課題

研究課題/領域番号 05402028
研究種目

一般研究(A)

配分区分補助金
研究分野 応用物理学一般
研究機関大阪大学

研究代表者

志水 隆一  大阪大学, 工学部, 教授 (40029046)

研究分担者 生田 孝  大阪電気通信大学, 応用電子工学科, 教授 (20103343)
木村 吉秀  大阪大学, 工学部, 助手 (70221215)
高井 義造  大阪大学, 工学部, 助教授 (30236179)
研究期間 (年度) 1993 – 1994
研究課題ステータス 完了 (1994年度)
配分額 *注記
16,700千円 (直接経費: 16,700千円)
1994年度: 2,400千円 (直接経費: 2,400千円)
1993年度: 14,300千円 (直接経費: 14,300千円)
キーワード反射電子顕微鏡 / ホログラフィー顕微鏡 / ミクロ表面物性 / 反射電子回折 / 表面電位 / 表面トボグラフィー / 反射電子顕微鏡法 / 表面反応の動的観察 / 反射電子線ホログラフィー / 高輝度電子銃 / 超高真空試料ホルダー / 表面再構成 / 表面トポグラフィー
研究概要

超高真空反射電子顕微鏡を開発し、白金表面の結晶構造の解析と反射電子顕微鏡像の観察に成功した。成果の一部は論文(2)に発表している。これは超高真空中で作製したPt(100)におけるreconstracted domainsを観察したもので、昨年来日したドイツのLempfuhl教授より激賞されたものである。
さらに試料表面の微細構造を調べるために、新たに超高真空二軸独立回転試料ホルダーの設計、試作を行った。この試料ホルダーにより試料のX、Y軸方向の平行移動(Z軸が光軸)と入射角と方位角の高精度設定が可能となり、走査型反射電子線ホログラフィー電子顕微鏡観察実現へ大きく前進した。この試料ホルダーの試作および性能については論文(3)に発表した。ホログラフィー電子顕微鏡像を観察するためには、高輝度電子銃が不可欠である。このためW(100),T.F.Emitterを用いて超伝導材料表面のミクロな電位分布変化についてのホログラフィー観察を試みた。この結果、電場変化は電子線ホログラフィーによる干渉縞の観測により定量的に評価できることを確認でき、その成果を論文(4)に発表した。さらにZi-O/W(100)エミッターを電子銃にとりつけて、超高真空中で赤外線加熱が出来るように改造を行い、本格的な走査型反射電子線ホログラフィー顕微鏡観察が可能になった。その成果の一部を論文(5)に発表した。
発表論文
(1)K.Ogai,et al.Japan J.Applied Plapics 32 (1993)5988
(2)T.Akita,M.Takaguchi,R.Shinizas : Jpn J.Appl. Plmp 32 (1993) L1631
(3)T.Akita,H.Matsue,Y.Kimura,and R.Shimizu,J.Electun Mcomcapy 43 (1994) 332
(4)K.Ogai,Y.Kimura and R.Shimizu ; Ultramicrossepy 54 (1994) 345
(5)T.Akita,T.Nagata,Y.Kimura and R.; Techo Repts Osaka University (1966) in press

報告書

(3件)
  • 1994 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 1993 実績報告書
  • 研究成果

    (18件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (18件)

  • [文献書誌] K.Ogai,S.Matsui,Y.Kimura,R.Shimizu: "An Approach for Nanolithography Using Electron Holograpy" Japan J. Appl.Phys.32. 5988-5992 (1993)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Akita,M.Takeguchi,R.Simizu: "Observation of Reconstructed Pt (001) Surfacely Reflection Electron Microscopy" Japan J.Appl.Phys.32. L1631-L1634 (1993)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Akita,H.Matsuo,Y.Kimura,R.Shimizu: "A New Specimen Holder for UHV-Reflection Electron Microscopy" J.Ekectrib Microsc.43. 332-336 (1994)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Ogai,Y.Kimura,R.Shimizu: "Dynamic Observation of Microelectric Field in Oxide Superconducting Material by Electron Interference Microscopy" Ultramicroscopy. 54. 345-350 (1994)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Akita,T.Nagata,Y.Kimura,R.Shimizu: "Construction of IR Sample Heating System for UHV-Reflection Holography Electron Microscopy" Technol.Repts.Osaka University. (in press).

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Ogai, S.Matsui, Y.Kimura and R.Shimizu: ""An Approach for Nanolithography Using Electron Holography"" Japan J.Appl. Phys.32. 5988 (1993)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Akita, M.Takeguchi and R.Shimizu: ""Observation of Reconstructed Pt(001) Surfacely Reflection Electron Microscopy"" Jpn. J.Appl. Phys.32. L1631-L1634 (1993)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Akita, H.Matsuo, Y.Kimura and R.Shimizu: ""A New Specimen Holder for UHV-Reflection Electron Microscopy"" J.Electron Microsc.43. 332-336 (1994)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Ogai, Y.Kimura, and R.Shimizu: ""Dynamic Observation of Microelectric Field in Oxide Superconducting Material by Electron Interference Microscopy"" Ultramicroscopy. 54. 345 (1994)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Akita, T.Nagata, Y.Kimura and R.Shimizu: ""Construction of IR Sample Heating System for UHV-Reflection Holography Electron Microscopy"" Technol. Repts. Osaka University. (in press.). (1996)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      1994 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Akita,H.Matsuo,Y.kimura,R.Shimizu: "A New Specimen Holder for UHV-REM" J.Electron Microscopy. 43. 332-336 (1994)

    • 関連する報告書
      1994 実績報告書
  • [文献書誌] K.Ogai. Y.Kimura R.Shimizu: "Dynamic Observation of Microelectric field in an Oxide superconducting material by Electron Interfer ence microscopy" Ultra microscopy. 54. 345-350 (1994)

    • 関連する報告書
      1994 実績報告書
  • [文献書誌] Y.Kimura,Y.Taniguchi T.Ando.R.Shimizu: "a pratical method for modulation of accelerating voltage for active modulation image precessing electron microscopy" Optik. 95. 185-186 (1994)

    • 関連する報告書
      1994 実績報告書
  • [文献書誌] 秋田知樹,志水隆一: "Observation of Reconstructed Pt(100) Surface by Reflection Electron Microscopy" Jpn.J.Appl.Phys.35(in press). (1994)

    • 関連する報告書
      1993 実績報告書
  • [文献書誌] 松尾浩,秋田知樹,木村吉彦,志水隆一: "A New Type Sample-holder for UHV Reflection Electron Microscope" Technol.Repts.Osaka University. 44(in press). (1994)

    • 関連する報告書
      1993 実績報告書
  • [文献書誌] 小粥啓子,木村吉秀,志水隆一: "Dynamic Observation of Microscopic Fields in Oxide Super conducting" Ultramicroscopy. 44(in press). (1994)

    • 関連する報告書
      1993 実績報告書
  • [文献書誌] 白永煥,関敬烈,井上雅彦,木内正人,志水隆一: "Reflection High Energy Electron Diffraction Observation of Dynamic Ion Beam Process in Titanium Nitride Crystal Growth" Jpm.J.Appl.Phys.32. 4714-4717 (1993)

    • 関連する報告書
      1993 実績報告書
  • [文献書誌] 秋田知樹,竹口雅樹,志水隆一: "Observation of Reconstructed Pt(100) Surface by Reflection Electron Microscopy" Jpm.J.Appl.Phys.32. L1631-L1634 (1993)

    • 関連する報告書
      1993 実績報告書

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公開日: 1993-04-01   更新日: 2016-04-21  

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